一种快速扫描系统技术方案

本发明专利技术涉及一种快速扫描系统，属于电子扫描技术领域，能够极大提高产品的检测效率；该系统包括二维图像信息采集模块、高度信息采集模块、高分辨信息采集模块、样品台模块以及与四者连接的控制处理单元；所述二维图像信息采集模块，用于获得样品的二维信息；所述高度信息采集模块，用于获得所述样品的高度信息；所述高分辨信息采集模块，用于标定需要采集的单点信息位置，并聚焦至该点采集该点高分辨信息；所述样品台模块，用于承载所述样品并在扫描采集过程中对其进行移动；所述控制处理单元，用于控制系统各采集模块以及样品台的工作，接收采集的信息并进行分析。本发明专利技术提供的技术方案适用于对样品进行电子扫描分析的过程中。程中。程中。

【技术实现步骤摘要】
一种快速扫描系统


[0001]本专利技术涉及电子扫描
，尤其涉及一种快速扫描系统。

技术介绍

[0002]近年来，随着半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域的快速发展，如何在最短的时间内完成产品的设计、加工和检测，已成为业内最关注的问题。在所有检测技术中，光学非接触式测量在近年来深受欢迎，因其优点在于：1)聚焦物镜聚焦倍率可大可小；2)由于没有接触应力，不会对被测物产生破坏；3)测量速度非常快；4)测量尺寸大。
[0003]但是目前生产厂家为满足产品质量的精密测量以及生产需求，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等数据信息都需要快速获得。这样就需要检测设备的检测效率、操作简单智能化、检测方式多样性、检测结果多样性、结果的快速分析能力进一步提高。而目前二维和三维一体化的成像测量系统无法满足这些要求，其存在的不足包括：1)视野小，甚至只能看样品的一个点；2)单次检测范围小，检测效率不高；3)要得到高本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种快速扫描系统，其特征在于，所述系统包括二维图像信息采集模块、高度信息采集模块、高分辨信息采集模块、样品台模块和控制处理单元；所述二维图像信息采集模块、所述高度信息采集模块、所述高分辨信息采集模块和所述样品台模块均与所述控制处理单元连接；所述二维图像信息采集模块，用于获得样品的二维信息；所述高度信息采集模块，用于获得所述样品的高度信息；所述高分辨信息采集模块，用于标定需要采集的单点信息位置，并聚焦至该点采集该点高分辨信息；所述样品台模块，用于承载所述样品并在扫描采集过程中对其进行移动；所述控制处理单元，用于控制系统各采集模块以及样品台的工作，接收采集的信息并进行分析。2.根据权利要求1所述的快速扫描系统，其特征在于，所述二维图像信息采集模块包括第一光线支路和第二光线支路；所述第一光线支路包括第一光源、第二光源、第一分光镜、第二分光镜、第一镜头和线阵相机；其中，所述第一分光镜、所述第一镜头、所述第二分光镜由下往上依次设于所述样品的正上方；所述第一光源设于所述样品的斜上方且其光线照射在样品表面；所述第二光源设于所述第一分光镜正侧面，且其光线照射在所述第一分光镜上；所述第一分光镜、所述第二分光镜均与水平面呈45度角设置；所述线阵相机设于所述第二分光镜的正侧面；所述第二光线支路包括第三光源、第四光源、第三分光镜和第二镜头；其中，所述第二镜头、所述第三分光镜和所述第四光源由下往上依次设于所述样品正上方；所述第三光源设于所述样品的斜上方且其光线照射在样品表面；所述第三分光镜与水平面呈45度角设置，且设置方向和设置高度均与所述第二分光镜相同。3.根据权利要求1所述的快速扫...

【专利技术属性】
技术研发人员：华四伟，何伟，赵鑫，邱岳进，张子豪，郝荣帅，李静逸，富载歆，
申请(专利权)人：纳克微束北京有限公司，
类型：发明
国别省市：