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本发明涉及一种快速扫描系统，属于电子扫描技术领域，能够极大提高产品的检测效率；该系统包括二维图像信息采集模块、高度信息采集模块、高分辨信息采集模块、样品台模块以及与四者连接的控制处理单元；所述二维图像信息采集模块，用于获得样品的二维信息；所...
该专利属于纳克微束（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过纳克微束（北京）有限公司授权不得商用。

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