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一种超大电镜真空系统技术方案
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文档序号:45076175
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本发明提供了一种超大电镜真空系统,属于真空系统技术领域。本发明包括真空样品仓;龙门架,设置于真空样品仓内;电子枪,设置于龙门架上,其底端设置有物镜;样品存放处理平台,其设置于真空样品仓内;电子枪能够在龙门架上摆动,样品存放处理平台能够在真空...
该专利属于纳克微束(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过纳克微束(北京)有限公司授权不得商用。
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