一种离子枪温度监控系统及离子刻蚀机技术方案

本实用新型专利技术公开了一种离子枪温度监控系统及离子刻蚀机，涉及半导体刻蚀技术领域，离子枪温度监控系统包括：真空腔室；离子枪，位于真空腔室内；冷却流路，用于为离子枪降温，且冷却流路设置有流量计，流量计用于实时检测冷却流路内的流量；温度检测器，设置于真空腔室内，用于实时检测离子枪的温度。本实用新型专利技术中的离子枪温度监控系统可有效避免因零部件异常引起的高温对刻蚀机造成损坏，有利于及时发现离子枪的温度过高的情况，并及时作出反应；同时针对因流量引起的高温可以针对冷却流路的流量情况及时作出调整，可有效避免因离子枪温度过高而影响刻蚀机的正常工作，有效提高离子刻蚀过程中的安全性，延长离子枪的使用寿命。延长离子枪的使用寿命。延长离子枪的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种离子枪温度监控系统及离子刻蚀机


[0001]本技术涉及半导体刻蚀
，更具体地说，涉及一种离子枪温度监控系统，此外，本技术还涉及一种包括上述离子枪温度监控系统的离子刻蚀机。

技术介绍

[0002]现有技术中，离子刻蚀机持续长时间运行时，位于真空腔室内的离子枪会持续的发热，当冷却系统不能及时降温时，会致使离子枪及真空腔室内温度过高，易造成与离子枪接触的底座的受热融化，甚至影响设备的正常工作，并且高温会影响离子枪的使用寿命；处理不当还会造成维修人员烫伤。
[0003]综上所述，如何提高离子刻蚀过程中的安全性，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术的目的是提供一种离子枪温度监控系统，通过流量计对冷却流路的流量进行实时检测，同时，通过温度检测器对离子枪的温度进行实时检测，有利于及时发现离子枪的温度过高的情况，并及时作出反应，可有效避免因离子枪温度过高而影响刻蚀机的正常工作，有效提高离子刻蚀过程中的安全性。
[0005]此外，本技术还提供了一种包括上述离子枪温度监控系统的离子刻蚀机。
[0006]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种离子枪温度监控系统，包括：
[0008]真空腔室；
[0009]离子枪，位于所述真空腔室内；
[0010]冷却流路，用于为所述离子枪降温，且所述冷却流路设置有流量计，所述流量计用于实时检测所述冷却流路内的流量；
[0011]温度检测器，设置于所述真空腔室内，用于实时检测所述离子枪的温度。
[0012]可选地，还包括：
[0013]控制器，所述流量计和所述温度检测器均与所述控制器连接，所述控制器用于接收所述流量计所测的流量信息以及所述温度检测器所测的温度信息，并控制所述警示装置发出警示信息；
[0014]警示装置，与所述控制器连接，用于在所述流量计所测流量小于预设流量范围，和/或所述温度检测器所测温度高于预设温度范围时发出警示信息。
[0015]可选地，还包括：
[0016]显示装置，安装于所述真空腔室外侧，所述显示装置用于实时显示所述流量计所检测的所述冷却流路的流量信息和所述温度检测器所检测的温度信息。
[0017]可选地，所述流量计与所述温度检测器串联连接。
[0018]可选地，所述真空腔室内设置有用于安装所述离子枪的金属安装座，所述温度检
测器安装于所述金属安装座。
[0019]可选地，还包括与所述金属安装座接触的绝缘底座，所述绝缘底座为耐高温材质的绝缘底座。
[0020]可选地，所述真空腔室设置有方便观察的可视窗，所述可视窗为亚克力材质的可视窗。
[0021]可选地，所述可视窗设置有通孔，与所述温度检测器连接的导线由所述真空腔室内经所述通孔穿出，且所述导线与所述通孔之间填充有用于密封的密封胶或密封件。
[0022]可选地，所述流量计安装于所述冷却流路中位于所述真空腔室外部的管路。
[0023]一种离子刻蚀机，包括上述任一项所述的离子刻蚀机。
[0024]在使用本技术提供的离子枪温度监控系统的过程中，工作状态下，流量计对流经冷却流路的流量进行实时检测，同时，温度检测器对离子枪的温度进行实时检测，在流量计所测流量低于预设流量范围，和/或温度检测器所测温度高于预设温度范围时，控制冷却流路调整流量或控制离子刻蚀机停止工作。
[0025]相比于现有技术，本技术中同时对冷却流路的流量和离子枪的温度进行检测，可以有效避免因零部件异常引起的高温对刻蚀机造成损坏，有利于及时发现离子枪的温度过高的情况，并及时作出反应；同时针对因流量引起的高温可以针对冷却流路的流量情况及时作出调整，可有效避免因离子枪温度过高而影响刻蚀机的正常工作，有效提高离子刻蚀过程中的安全性，延长离子枪的使用寿命。
[0026]此外，本技术还提供了一种包括上述离子枪温度监控系统的离子刻蚀机。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0028]图1为本技术所提供的离子枪温度监控系统的连接关系示意图；
[0029]图2为本技术所提供的离子枪温度监控系统中温度检测器的安装位置示意图；
[0030]图3为本技术所提供的离子枪温度监控系统中冷却流路的进水孔、出水孔设置位置示意图。
[0031]图1
‑
3中：
[0032]1为真空腔室、2为离子枪、3为冷却流路、31为进水孔、32为出水孔、4为温度检测器、5为流量计、6为金属安装座、7为绝缘底座、8为可视窗。
具体实施方式
[0033]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0034]本技术的核心是提供一种离子枪温度监控系统，通过流量计对冷却流路的流量进行实时检测，同时，通过温度检测器对离子枪的温度进行实时检测，可有效避免因零部件异常引起的高温对刻蚀机造成损坏，有利于及时发现离子枪的温度过高的情况，并及时作出调整，有效提高离子刻蚀过程中的安全性。
[0035]此外，本技术的另一核心是提供一种包括上述离子枪温度监控系统的离子刻蚀机。
[0036]请参考图1至图3。
[0037]在一具体实施例中，离子枪温度监控系统包括：真空腔室1；离子枪2，位于真空腔室1内；冷却流路3，用于为离子枪2降温，且冷却流路3设置有流量计5，流量计5用于实时检测冷却流路3内的流量；温度检测器4，设置于真空腔室1内，用于实时检测离子枪2的温度。
[0038]需要进行说明的是，为保证温度检测器4所检测到的温度接近离子枪2的实际温度，可以将温度检测器4安装于靠近离子枪2的位置，或安装于与离子枪2接触的导热良好的结构上，具体根据实际情况确定，在此不做赘述。
[0039]流量计5主要用于检测冷却流路3内的流量，为了方便安装、观察，可以将流量计5安装于冷却流路3中位于真空腔室1外部的管路。以减少由真空腔室1穿出的线路的数量，同时在流量计5需要更换、维修时，方便操作。
[0040]当然，流量计5也可以设置于真空腔室1内，具体根据实际情况确定。
[0041]在使用本具体实施例提供的离子枪温度监控系统的过程中，工作状态下，离子枪2不断产生热量，冷却流路3通过冷却液对离子枪2进行降温；流量计5对流经冷却流路3的流量进行实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子枪温度监控系统，其特征在于，包括：真空腔室(1)；离子枪(2)，位于所述真空腔室(1)内；冷却流路(3)，用于为所述离子枪(2)降温，且所述冷却流路(3)设置有流量计(5)，所述流量计(5)用于实时检测所述冷却流路(3)内的流量；温度检测器(4)，设置于所述真空腔室(1)内，用于实时检测所述离子枪(2)的温度。2.根据权利要求1所述的离子枪温度监控系统，其特征在于，还包括：控制器，所述流量计(5)和所述温度检测器(4)均与所述控制器连接，所述控制器用于接收所述流量计(5)所测的流量信息以及所述温度检测器(4)所测的温度信息，并控制警示装置发出警示信息；警示装置，与所述控制器连接，用于在所述流量计(5)所测流量小于预设流量范围，和/或所述温度检测器(4)所测温度高于预设温度范围时发出警示信息。3.根据权利要求1所述的离子枪温度监控系统，其特征在于，还包括：显示装置，安装于所述真空腔室(1)外侧，所述显示装置用于实时显示所述流量计(5)所检测的所述冷却流路(3)的流量信息和所述温度检测器(4)所检测的温度信息。4.根据权利要求1
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3任一项所述的离子枪温度监控系统，其特征在于，所述流量计(5...

【专利技术属性】
技术研发人员：张程，
申请(专利权)人：山东百利通亚陶科技有限公司，
类型：新型
国别省市：