一种离子枪温度监控系统及离子刻蚀机技术方案

本实用新型专利技术公开了一种离子枪温度监控系统及离子刻蚀机，涉及半导体刻蚀技术领域，离子枪温度监控系统包括：真空腔室；离子枪，位于真空腔室内；冷却流路，用于为离子枪降温，且冷却流路设置有流量计，流量计用于实时检测冷却流路内的流量；温度检测器，设置于真空腔室内，用于实时检测离子枪的温度。本实用新型专利技术中的离子枪温度监控系统可有效避免因零部件异常引起的高温对刻蚀机造成损坏，有利于及时发现离子枪的温度过高的情况，并及时作出反应；同时针对因流量引起的高温可以针对冷却流路的流量情况及时作出调整，可有效避免因离子枪温度过高而影响刻蚀机的正常工作，有效提高离子刻蚀过程中的安全性，延长离子枪的使用寿命。延长离子枪的使用寿命。延长离子枪的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种离子枪温度监控系统及离子刻蚀机


[0001]本技术涉及半导体刻蚀
，更具体地说，涉及一种离子枪温度监控系统，此外，本技术还涉及一种包括上述离子枪温度监控系统的离子刻蚀机。

技术介绍

[0002]现有技术中，离子刻蚀机持续长时间运行时，位于真空腔室内的离子枪会持续的发热，当冷却系统不能及时降温时，会致使离子枪及真空腔室内温度过高，易造成与离子枪接触的底座的受热融化，甚至影响设备的正常工作，并且高温会影响离子枪的使用寿命；处理不当还会造成维修人员烫伤。
[0003]综上所述，如何提高离子刻蚀过程中的安全性，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术的目的是提供一种离子枪温度监控系统，通过流量计对冷却流路的流量进行实时检测，同时，通过温度检测器对离子枪的温度进行实时检测，有利于及时发现离子枪的温度过高的情况，并及时作出反应，可有效避免因离子枪温度过高而影响刻蚀机的正常工作，有效提高离子刻蚀过程中的安全性。
[0005]此外，本技术还提供了一种包括上述离子枪温度监控系统的离子刻本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子枪温度监控系统，其特征在于，包括：真空腔室(1)；离子枪(2)，位于所述真空腔室(1)内；冷却流路(3)，用于为所述离子枪(2)降温，且所述冷却流路(3)设置有流量计(5)，所述流量计(5)用于实时检测所述冷却流路(3)内的流量；温度检测器(4)，设置于所述真空腔室(1)内，用于实时检测所述离子枪(2)的温度。2.根据权利要求1所述的离子枪温度监控系统，其特征在于，还包括：控制器，所述流量计(5)和所述温度检测器(4)均与所述控制器连接，所述控制器用于接收所述流量计(5)所测的流量信息以及所述温度检测器(4)所测的温度信息，并控制警示装置发出警示信息；警示装置，与所述控制器连接，用于在所述流量计(5)所测流量小于预设流量范围，和/或所述温度检测器(4)所测温度高于预设温度范围时发出警示信息。3.根据权利要求1所述的离子枪温度监控系统，其特征在于，还包括：显示装置，安装于所述真空腔室(1)外侧，所述显示装置用于实时显示所述流量计(5)所检测的所述冷却流路(3)的流量信息和所述温度检测器(4)所检测的温度信息。4.根据权利要求1
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3任一项所述的离子枪温度监控系统，其特征在于，所述流量计(5...

【专利技术属性】
技术研发人员：张程，
申请(专利权)人：山东百利通亚陶科技有限公司，
类型：新型
国别省市：