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本实用新型公开了一种离子枪温度监控系统及离子刻蚀机，涉及半导体刻蚀技术领域，离子枪温度监控系统包括：真空腔室；离子枪，位于真空腔室内；冷却流路，用于为离子枪降温，且冷却流路设置有流量计，流量计用于实时检测冷却流路内的流量；温度检测器，设置于...
该专利属于山东百利通亚陶科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东百利通亚陶科技有限公司授权不得商用。

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