本实用新型专利技术公开了一种扫描电镜背散射探头的安装结构和具有其的扫描电镜，所述扫描电镜背散射探头的安装结构包括：下极靴；第一安装板，所述第一安装板与所述下极靴的下表面贴合；第二安装板，所述第二安装板可拆卸地安装在所述第一安装板上；探头，所述探头设在所述第一安装板和所述第二安装板之间；弹性件，所述弹性件分别与所述下极靴和所述第一安装板相连，所述弹性件常驱动所述第一安装板贴合所述下极靴的下表面。根据本实用新型专利技术实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构具有拆装方便、可靠性强等优点。靠性强等优点。靠性强等优点。
【技术实现步骤摘要】
扫描电镜背散射探头的安装结构和具有其的扫描电镜
[0001]本技术涉及电子显微镜
，具体而言，涉及一种扫描电镜背散射探头的安装结构和具有所述扫描电镜背散射探头的安装结构的扫描电镜。
技术介绍
[0002]扫描电镜的工作原理为，在高真空的镜筒中，由电子枪产生的电子束经电子会聚透镜聚焦成细束后，在样品表面逐点进行扫描轰击，产生一系列电子信息(二次电子、背反射电子、透射电子、吸收电子等)，由探测器将各种电子信号接收后经电子放大器放大后输入由显像管栅极控制的显像管，聚焦电子束对样品表面扫描时，由于样品不同部位表面的物理、化学性质、表面电位、所含元素成分及凹凸形貌不同，致使电子束激发出的电子信息各不相同，导致显像管的电子束强度也随着不断变化，最终在显像管荧光屏上可以获得一幅与样品表面结构相对应的图像。
[0003]相关技术中的扫描电镜的背散射探头，安装和更换非常不便，而且安装时难以保证探头安装到位。
技术实现思路
[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种扫描电镜背散射探头的安装结构，该扫描电镜背散射探头的安装结构具有拆装方便、可靠性强等优点。
[0005]本技术还提出一种具有所述扫描电镜背散射探头的安装结构的扫描电镜。
[0006]为实现上述目的，根据本技术的第一方面的实施例提出一种扫描电镜背散射探头的安装结构，所述扫描电镜背散射探头的安装结构包括：下极靴；第一安装板，所述第一安装板与所述下极靴的下表面贴合；第二安装板，所述第二安装板可拆卸地安装在所述第一安装板上；探头，所述探头设在所述第一安装板和所述第二安装板之间；弹性件，所述弹性件分别与所述下极靴和所述第一安装板相连，所述弹性件常驱动所述第一安装板贴合所述下极靴的下表面。
[0007]根据本技术实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构，具有拆装方便、可靠性强等优点。
[0008]另外，根据本技术上述实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构还可以具有如下附加的技术特征：
[0009]根据本技术的一个实施例，所述第一安装板的下表面和所述第二安装板的上表面共同限定出定位槽，所述探头配合在所述定位槽内。
[0010]根据本技术的一个实施例，所述第一安装板上设有通孔，所述通孔在水平方向上位于所述下极靴的下端面的中心处。
[0011]根据本技术的一个实施例，所述第一安装板的上表面设有卡槽，所述下极靴的下端卡合在所述卡槽内。
[0012]根据本技术的一个实施例，所述弹性件为拉簧且为两个，两个所述拉簧的下端分别与所述第一安装板的两端相连且两个所述拉簧的上端均与所述下极靴相连，两个所述拉簧的上端与所述下极靴的连接处在所述下极靴的周向上相对。
[0013]根据本技术的一个实施例，所述下极靴上设有两个挂钩，所述第一安装板上设有凸耳，所述拉簧的上端钩挂所述挂钩且下端钩挂所述凸耳。
[0014]根据本技术的一个实施例，所述第二安装板为用于阻挡和/或吸收电子的绝缘板。
[0015]根据本技术的一个实施例，所述探头包括探头主体和电路板，所述第二安装板上设有避让口，所述探头主体从所述避让口露出。
[0016]根据本技术的一个实施例，所述第二安装板通过螺纹紧固件安装在所述第一安装板上。
[0017]根据本技术的第二方面的实施例提出一种扫描电镜，所述扫描电镜包括根据本技术的第一方面的实施例所述的扫描电镜背散射探头的安装结构。
[0018]根据本技术实施例的扫描电镜，通过利用根据本技术的第一方面的实施例所述的扫描电镜背散射探头的安装结构，具有拆装方便、可靠性强等优点。
[0019]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0020]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0021]图1是根据本技术实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构的结构示意图。
[0022]图2是根据本技术实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构的结构示意图。
[0023]图3是根据本技术实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构的剖视图。
[0024]图4是根据本技术实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构的爆炸图。
[0025]图5是根据本技术实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构的爆炸图。
[0026]附图标记：扫描电镜背散射探头的安装结构1、下极靴10、挂钩11、配合部12、挂钩螺栓13、第一安装板20、通孔21、卡槽22、弹性槽23、凸耳24、定位环台25、第二安装板30、避让口31、探头40、探头主体41、电路板42、定位槽43、定位孔44、过孔45、弹性件50、螺纹紧固件60。
具体实施方式
[0027]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0028]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位
或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0029]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0030]下面参考附图描述根据本技术实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构1。
[0031]如图1
‑
图5所示，根据本技术实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构1包括下极靴10、第一安装板20、第二安装板30、探头40和弹性件50。
[0032]第一安装板20与下极靴10的下表面贴合(上下方向如图中的箭头所示且仅为了便于表述，并非对于实际设置方向的限定)。第二安装板30可拆卸地安装在第一安装板20上。探头40设在第一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，包括：下极靴；第一安装板，所述第一安装板与所述下极靴的下表面贴合；第二安装板，所述第二安装板可拆卸地安装在所述第一安装板上；探头，所述探头设在所述第一安装板和所述第二安装板之间；弹性件，所述弹性件分别与所述下极靴和所述第一安装板相连，所述弹性件常驱动所述第一安装板贴合所述下极靴的下表面。2.根据权利要求1所述的扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，所述第一安装板的下表面和所述第二安装板的上表面共同限定出定位槽，所述探头配合在所述定位槽内。3.根据权利要求1所述的扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，所述第一安装板上设有通孔，所述通孔在水平方向上位于所述下极靴的下端面的中心处。4.根据权利要求1所述的扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，所述第一安装板的上表面设有卡槽，所述下极靴的下端卡合在所述卡槽内。5.根据权利要求1所述的扫描电镜背散射探头的安装结构，其特征在于，所述弹性件为拉...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘结春，吴天成，张俊，
申请(专利权)人：国仪量子合肥技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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