【技术实现步骤摘要】
具有动态聚焦的能谱仪
[0001]本专利技术总体上涉及带电粒子显微镜，并且具体地涉及包括在带电粒子显微镜中的能谱仪，其基于显微镜操作参数的变化提供电子束的动态重新聚焦。
技术介绍
[0002]带电粒子显微镜，如透射电子显微镜，使用一系列检测技术来获取有关样品的各种信息。一种这类技术称为电子能量损失谱法（EELS），其中从样品发出的电子束被分散到能谱中，并且一个或多个能带被单独成像。然而，在当前的EELS迭代中，由于各种问题，如显微镜未对准、色差和意外的透镜效应，能量分辨率会有所损失。所有这些问题加起来会导致EELS检测器的能量分辨率下降。这种分辨率的损失可至少部分地是由于电子束的所需部分由于这些问题而未聚焦在EELS系统的谱平面上。举例来说，由于物镜的色差，透射通过样品的电子束可具有离开物镜的不同焦点。这种沿光轴的焦点变化将转化为电子能量损失谱仪（或简称为“能谱仪”）中交叉平面相对于谱平面的位置变化。这种相对于谱平面的位置变化可导致电子束在EELS检测器上的散焦，从而可影响EELS检测器上的能量分辨率。谱散焦的这些影响可通过...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种设备，其包含：带电粒子柱，其包括布置在样品平面之后的投影系统，所述投影系统以第一配置操作；能谱仪，其与所述带电粒子柱联接以获取一个或多个能量损失谱，所述能谱仪包括：色散元件、偏置管、用于放大能量损失谱和用于校正像差的光学器件以及与所述能谱仪的谱平面共轭布置的检测器，其中所述能谱仪另外包括被电偏置以将能量损失谱的至少一部分重新聚焦到所述检测器上的光学元件，并且其中所述电偏置的值至少部分地基于所述带电粒子柱的所述第一配置。2.根据权利要求1所述的设备，其中所述光学元件由具有两个内部相对板的外壳体形成，并且其中所述两个相对板被电偏置且所述外壳体被电接地。3.根据权利要求2所述的设备，其中所述两个相对板被同等地电偏置。4.根据权利要求1所述的设备，其中所述光学元件由多极光学元件形成。5.根据权利要求1所述的设备，其中所述第一配置包括所述带电粒子柱的放大率设置，所述放大率设置确定所述投影系统的操作参数。6.根据权利要求1所述的设备，其中所述能谱仪被配置为以第二配置操作，所述第二配置设置所述色散元件、所述偏置管和所述光学器件的操作参数。7.根据权利要求6所述的设备，其中所述电偏置的值另外基于所述第二配置。8.根据权利要求1所述的设备，其中所述光学元件以
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10伏至10伏范围内的电压被电偏置。9.根据权利要求1所述的设备，其中所述光学器件包括多个透镜、四极和/或多极，用于调节电子束以进行检测。10.根据权利要求1所述的设备，其中所述光学元件设置在所述偏置管的下游。11.根据权利要求1所述的设备，其中所述光学元件设置在所述偏置管的上游。12....
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