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具有动态聚焦的能谱仪制造技术
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文档序号:36179618
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本文公开了一种用于透射电子显微镜(TEM)的具有动态聚焦的能谱仪。示例能谱仪和TEM至少包括:带电粒子柱,所述带电粒子柱包括布置在样品平面之后的投影系统,所述投影系统以第一配置操作;能谱仪,所述能谱仪与所述带电粒子柱联接以获取一个或多个能量...
该专利属于FEI公司所有,仅供学习研究参考,未经过FEI公司授权不得商用。
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