电子探测器及电子探测系统技术方案

本发明专利技术提供一种电子探测器及电子探测系统。该电子探测器包括：法拉第笼，用于收集二次电子；固定于屏蔽外筒的电子倍增器，用于基于电子倍增器输入端的第一电压和电子倍增器输出端的第二电压对二次电子进行一级倍增放大；分别与电子倍增器输入端和电子倍增器输出端连接的供电环，用于向电子倍增器输入端提供第一电压，向电子倍增器输出端提供第二电压；固定于屏蔽外筒的半导体探测器，用于对二次电子施加第三电压和偏置电压以将二次电子进行二级倍增放大后转换为电流信号；与半导体探测器连接的放大器电路，用于将电流信号转换为电压信号；信号放大处理电路，用于将电压信号进行放大后转换为图像信号，可以提高电子探测效率，增强图像信噪比。增强图像信噪比。增强图像信噪比。

【技术实现步骤摘要】
电子探测器及电子探测系统


[0001]本专利技术涉及电子探测领域，具体地，涉及一种电子探测器及电子探测系统。

技术介绍

[0002]扫描电子显微镜设备是利用带电粒子束与物质的相互作用过程，可以获得样品的形貌、成分、能谱、光谱等信息。其中，入射电子束与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子、俄歇电子和X射线外等信息，可以达到物质微观形貌表征和成分表征的目的。
[0003]二次电子是指样品被高能入射电子束轰击出来的核外电子，主要来自于样品表面1
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10nm深度，其能量范围通常在在0
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50eV之间，二次电子能够很好的显示出试样表面的微观形貌。
[0004]主流的扫描电子显微镜的二次电子探测器通常为E
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T(Everhart
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Thornley)二次电子探测器，主要用于镜筒外探测：E
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T二次电子探测器工作原理为利用法拉第笼收集一定角度的二次电子，收集后的二次电子加速撞击到闪烁体(通常为+10Kv高压)转换成一定数量的光子，经过光导介质将产生的光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子探测器，其特征在于，包括：法拉第笼，用于收集二次电子；固定于屏蔽外筒的电子倍增器，用于基于电子倍增器输入端的第一电压和电子倍增器输出端的第二电压对所述二次电子进行一级倍增放大；分别与所述电子倍增器输入端和所述电子倍增器输出端连接的供电环，用于向所述电子倍增器输入端提供第一电压，向所述电子倍增器输出端提供第二电压；固定于屏蔽外筒的半导体探测器，用于对经过一级倍增放大的二次电子施加第三电压和偏置电压以将所述二次电子进行二级倍增放大后转换为电流信号；与所述半导体探测器连接的放大器电路，用于将所述电流信号转换为电压信号；信号放大处理电路，用于将所述电压信号进行放大后转换为图像信号。2.根据权利要求1所述的电子探测器，其特征在于，还包括：固定于所述法拉第笼的第一聚焦透镜，用于对所述二次电子进行聚焦。3.根据权利要求2所述的电子探测器，其特征在于，还包括：绝缘环，所述第一聚焦透镜通过所述绝缘环与所述屏蔽外筒固定。4.根据权利要求3所述的电子探测器，其特征在于，还包括：绝缘筒，所述电子倍增器、所述半导体...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡继闯，何伟，张景龙，郎永辉，牛辉，宋航，张月新，张镇旗，李凤民，张子豪，
申请(专利权)人：纳克微束北京有限公司，
类型：发明
国别省市：