下载电子探测器及电子探测系统的技术资料

文档序号:35760779

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本发明提供一种电子探测器及电子探测系统。该电子探测器包括:法拉第笼,用于收集二次电子;固定于屏蔽外筒的电子倍增器,用于基于电子倍增器输入端的第一电压和电子倍增器输出端的第二电压对二次电子进行一级倍增放大;分别与电子倍增器输入端和电子倍增器输...
该专利属于纳克微束(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过纳克微束(北京)有限公司授权不得商用。

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