一种复合离子束检测器制造技术

本实用新型专利技术属于质谱检测装置技术领域，具体涉及一种复合离子束检测器。本实用新型专利技术包括真空腔体，所述真空腔体内部的一端设有离子源，所述离子源前端设有狭缝，所述离子源产生稳定的离子束流，正电荷粒子沿X轴通过狭缝；所述离子束流的飞行路径上设有二次电子倍增器和离子闪烁倍增检测器，所述离子束流的飞行路径的终端设有法拉第杯，所述法拉第杯连接有信号放大器，所述信号放大器用于对采集的离子流信号进行运算放大处理。本实用新型专利技术可以根据离子强度的大小和粒子的特性合理选择相应的检测器，方便检测的同时还能有效提高质谱仪检测器的整体使用寿命，免除频繁更换检测器带来的繁琐操作，便于设备的稳定运行和操作维护。便于设备的稳定运行和操作维护。便于设备的稳定运行和操作维护。

【技术实现步骤摘要】
一种复合离子束检测器


[0001]本技术属于质谱检测装置
，具体涉及一种复合离子束检测器。

技术介绍

[0002]常用的离子强度检测器有法拉第杯、离子闪烁倍增器、二次电子倍增器等。在质谱仪等带有离子束流的设备开发或安装调试中通常需要对离子束进行实时监测，以提高工作效率。
[0003]法拉第杯具有较好的峰形和稳定性，常用于同位素的检测。同时，法拉第杯检测器构造简单，价格相对低廉。但是其灵敏度相对较低，适合用于测量10
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至10
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A范围内的离子信号。
[0004]离子闪烁倍增器用于测量弱离子束。该检测器系统通常在低于200万cps(3x10
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A)的信号强度下工作。由于光电倍增管位于真空系统之外，因此增益不受压力波动的影响，这种波动提高了探测器的长期稳定性。与传统的电子倍增器相比，闪烁光电倍增器有增益更高、更大的动态范围、更好的线性和优越的峰形。
[0005]相对于法拉第杯，二次电子倍增器可以获得105‑
108的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种复合离子束检测器，其特征在于，包括真空腔体，所述真空腔体内部的一端设有离子源(9)，所述离子源(9)前端设有狭缝(10)，所述离子源(9)产生稳定的离子束流，正电荷粒子沿X轴通过狭缝(10)；所述离子束流的飞行路径上设有二次电子倍增器和离子闪烁倍增检测器，所述离子束流的飞行路径的终端设有法拉第杯(7)，所述法拉第杯(7)连接有信号放大器(8)，所述信号放大器(8)用于对采集的离子流信号进行运算放大处理。2.根据权利要求1所述的复合离子束检测器，其特征在于，所述真空腔体由316L型不锈钢加工成，连接部分采用刀口法兰形式进行密封。3.根据权利要求1所述的复合离子束检测器，其特征在于，所述二次电子倍增器包括电子倍增器偏转电极(1)、电子倍增极和电子倍增器(2)，所述离子束流的飞行路径的两侧分别设有电子倍增器偏转电极(1)和电子倍增极，所述电子倍增极与电子倍增器(2)连接。4.根据权利要求3所述的复合离子束检测器，其特征在于，所述电子倍增极材料为铜铍合金。5.根据权利要求1所述的复合离子束检测器，其特征在于，所述离子闪烁倍增检测器包括闪烁体(4)、石英视窗(5)和光电倍增管(6)，所述离...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭冬发，李伯平，刘桂方，崔建勇，吴俊强，汤书婷，熊超，张泽，向波，陈博涛，李黎，刘宇昂，王娅楠，董晨，吴磊，
申请(专利权)人：核工业北京地质研究院，
类型：新型
国别省市：