一种晶圆编码识别装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种晶圆编码识别装置，设有晶圆编码的晶圆面具有第一朝向和第二朝向，识别装置包括：支撑部件以及设置在支撑部件上的第一识别元件和第二识别元件，第一识别元件用于识别在第一朝向时的晶圆编码，第二识别元件用于识别在第二朝向时的晶圆编码。采用本实用新型专利技术，实现了对不同朝向上的晶圆编码进行识别，解决了现有技术中的晶圆编码识别装置无法对不同朝向上的晶圆编码进行识别的问题。对不同朝向上的晶圆编码进行识别的问题。对不同朝向上的晶圆编码进行识别的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆编码识别装置


[0001]本技术涉及半导体加工设备
，特别涉及一种用于识别晶圆编码的装置。

技术介绍

[0002]芯片制造涉及很多工艺，每种工艺需要用到不同的工具和设备，晶圆于各设备间的传送及姿态的调整由晶圆传输系统来完成。
[0003]晶圆预对准系统是晶圆传输系统的重要组成部分，用于实现晶圆加工前的定位和姿态调整。晶圆预对准系统的重复定位精度要求高，其预对准时间直接影响芯片制造的生产效率。晶圆预对准的目的有两个，一是确定晶圆圆心位置，二是确定晶圆缺口方向。操作前晶圆圆心在预对准系统上的位置是未知的，缺口方向也是随机的，预对准的目的就是将晶圆圆心调整到指定位置，将缺口方向调转到指定方向。
[0004]晶圆编码是多位符合国际半导体产业协会标准的一串字符编码。每一片晶圆都拥有自己独立的编码。晶圆编码在晶圆的自动化制造中具有重要的作用。晶圆传输系统通过识别晶圆编码能够准确记录和确认晶圆的信息和对应的加工过程。国际半导体产业协会标准又规定了晶圆编码在晶圆上的相对位置，晶圆编码位于晶圆边缘的位置上。在晶圆传输系统中，目前多以晶圆编码检测相机，通过视觉检测的方式对晶圆的编码进行检测和识别。
[0005]由于晶圆形状为圆形，在晶圆预对准的过程中，通常会使用旋转晶圆并且扫描晶圆外轮廓的方式确认晶圆的形状和中心位置。在晶圆预对准过程中晶圆编码也会随着晶圆的旋转。通常，在晶圆的边缘位置放置一个晶圆编码检测相机，随着晶圆的转动，晶圆编码会出现在晶圆编码检测相机的检测区域内。在晶圆编码出现的过程中晶圆编码检测相机能够有效读取该编码。
[0006]随着科技的进步，近年来在芯片制造的过程中8寸晶圆和12寸晶圆的应用已经变成了主流。随着8寸晶圆和12寸晶圆的需求越来越旺盛，在晶圆传输系统中，8寸晶圆和12寸晶圆兼容的晶圆传输系统也就越来越受到欢迎。
[0007]但是由于制程需求的不同，在晶圆对准过程中，晶圆上的设有晶圆编码的晶圆面的朝向会不同，导致晶圆编码的朝向不同，而现有技术中的晶圆编码识别装置无法对不同朝向的晶圆编码进行识别。

技术实现思路

[0008]本技术的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种晶圆编码识别装置，能够对不同朝向上的晶圆编码进行识别。
[0009]为了实现以上目的，本技术通过以下技术方案实现：
[0010]一种晶圆编码识别装置，设有晶圆编码的晶圆面具有第一朝向和第二朝向，所述识别装置包括：支撑部件以及设置在所述支撑部件上的第一识别元件和第二识别元件，所述第一识别元件用于识别在第一朝向时的晶圆编码，所述第二识别元件用于识别在第二朝
向时的晶圆编码。
[0011]优选地，所述第一识别元件的识别方向垂直于晶圆面。
[0012]优选地，所述识别装置还包括：设置在所述支撑部件上的反射元件，晶圆编码通过所述反射元件的反射作用被所述第一识别元件或者所述第二识别元件识别到。
[0013]进一步地，所述第二识别元件的识别方向平行于晶圆面，所述反射元件作用的入射方向和反射方向的之间的夹角成90度。
[0014]更进一步地，所述反射元件包括直角棱镜反射镜。
[0015]再进一步地，所述识别装置还包括：设置在所述支撑部件上的微调机构，所述微调机构能够调整直角棱镜反射镜的反射角度。
[0016]再进一步地，所述直角棱镜反射镜的横截面的形状为等腰直角三角形。
[0017]再进一步地，所述微调机构包括：一与所述直角棱镜反射镜连接的旋钮。
[0018]与现有技术相比，本技术具有如下优点：
[0019]采用本技术的晶圆编码识别装置，当设有晶圆编码的晶圆面处于第一朝向时，通过第一识别元件对晶圆编码进行识别，当晶圆面处于第二朝向时，通过第二识别元件对晶圆编码进行识别，从而实现了对不同朝向上的晶圆编码进行识别，解决了现有技术中的晶圆编码识别装置无法对不同朝向上的晶圆编码进行识别的问题。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术的技术方案，下面将对描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一个实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图：
[0021]图1为实施例中的晶圆编码识别装置在一种工作状态下的结构示意图；
[0022]图2为实施例中的晶圆编码识别装置在另一种工作状态下的结构示意图；
[0023]图3为实施例中的反射元件的作用原理示意图；
[0024]图4为实施例中的直角棱镜反射镜通过微调机构安装在支撑部件上的结构示意图；
[0025]图5为实施例中的8寸晶圆和12寸晶圆在晶圆预对准系统中的一种相对位置关系示意图；
[0026]图6为实施例中的晶圆编码识别装置在又另一种工作状态下的结构示意图；
[0027]图7为图6中A部分的放大结构示意图；
[0028]图8为实施例中的识别元件通过安装板安装在支撑部件上的结构示意图；
[0029]图9为实施例中的微调机构在一种视角下的结构示意图；
[0030]图10为实施例中的微调机构在另一种视角下的结构示意图；
[0031]图11为实施例中的8寸晶圆和12寸晶圆在晶圆预对准系统中的另一种相对位置关系示意图；
[0032]图12为现有技术中的晶圆编码识别装置在一种工作状态下的俯视结构示意图；
[0033]图13为图1的俯视结构示意图。
[0034]附图标记说明：
[0035]1：支撑部件；
[0036]2：识别元件；
[0037]210：第一识别元件；
[0038]220：第二识别元件；
[0039]3：反射元件；
[0040]310：直角棱镜反射镜；
[0041]4：微调机构；
[0042]410：旋钮；
[0043]420：安装底座；
[0044]430：夹紧底座；
[0045]431：限位螺钉；
[0046]432：微调螺丝；
[0047]5：固定座；
[0048]6：第一驱动部件；
[0049]610：滑台气缸；
[0050]611：固定部；
[0051]612：活动部；
[0052]7：探测元件；
[0053]710：光电传感器；
[0054]711：第一光电传感器；
[0055]712：第二光电传感器；
[0056]8：遮光板；
[0057]9：安装板；
[0058]901：安装孔；
[0059]910：侧板；
[0060]10：晶圆预对准机构；
[0061]1010：预对准平台；
[0062]1011：对准侧；
[0063]1012：识别侧；
[0064]1110：8寸晶圆；
[0065]112本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆编码识别装置，设有晶圆编码的晶圆面具有第一朝向和第二朝向，其特征在于，所述识别装置包括：支撑部件以及设置在所述支撑部件上的第一识别元件和第二识别元件，所述第一识别元件用于识别在第一朝向时的晶圆编码，所述第二识别元件用于识别在第二朝向时的晶圆编码。2.根据权利要求1所述的晶圆编码识别装置，其特征在于，所述第一识别元件的识别方向垂直于晶圆面。3.根据权利要求1所述的晶圆编码识别装置，其特征在于，还包括：设置在所述支撑部件上的反射元件，晶圆编码通过所述反射元件的反射作用被所述第一识别元件或者所述第二识别元件识别到。4.根据权利要求3所述的晶圆编码识别装...

【专利技术属性】
技术研发人员：王周杰，张明辉，权汉钊，
申请(专利权)人：乐孜芯创半导体设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：