下载一种晶圆编码识别装置的技术资料

文档序号:38935743

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本实用新型提供一种晶圆编码识别装置,设有晶圆编码的晶圆面具有第一朝向和第二朝向,识别装置包括:支撑部件以及设置在支撑部件上的第一识别元件和第二识别元件,第一识别元件用于识别在第一朝向时的晶圆编码,第二识别元件用于识别在第二朝向时的晶圆编码。...
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