本发明专利技术涉及用于除去高度交联的抗蚀剂和蚀刻残留物的半水性组合物及其使用方法。该组合物包含氨基苯磺酸、可与水混溶的有机溶剂和水。
【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种半水性溶脱和清洗组合物，包含： ａ．０．５％至１０％的氨基苯磺酸或其对应的盐， ｂ．３０％至９０％的可与水混溶的有机溶剂，和 ｃ．５％至７０％的水； 其中该组合物的ｐＨ值为６－１１。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：MI埃格比，MW莱格恩扎，DL德拉姆，
申请(专利权)人：气体产品与化学公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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