模块化固态光源加热装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种模块化固态光源加热装置，属于半导体设备技术领域，包括依次层叠设置的电路控制组件、冷却组件和固态光源组件；电路控制组件包括有控制电路板，控制电路中包括有功率控制元件；冷却组件包括有冷却管道，冷却管道的末端设有管路连接器，冷却管道的周围设有快速导热件；固态光源组件包括有光源基板，光源基板通过支架与控制电路板相连接，光源基板背向电路控制组件的一面排布设置有发光二极管，发光二极管通过电路接口与功率控制元件电性连接。本方案装置体积小，结构轻薄，易于加工、拆卸以及后期维修；图案化排布灵活，通用性强；还可调节不同区域的散热效率，满足不同工况下散热需要，显著提高加热装置的整体的热均匀性。匀性。匀性。

【技术实现步骤摘要】
模块化固态光源加热装置


[0001]本专利技术属于半导体设备
，具体地涉及一种模块化固态光源加热装置。

技术介绍

[0002]热处理常见于半导体工业制造流程之中，例如用于快速热处理腔室和低压外延沉积设备，以实现栅极、源极与沟道结构的掺杂、活化、硅化、氧化、结晶及类似转化工艺。随着半导体主要结构的特征尺寸缩小和大尺寸基板的应用，热处理过程中的热预算需要符合更严格的要求。
[0003]现有的热处理设备主要依赖朝向基板的常规卤素灯阵列，这些灯中的灯头材料产生高温辐射，通过定向辐射的方式到达处理基板，同时快速关断电路控制着这些灯传递至处理基板的辐射能量，由此，处理基板可以在真空腔室中被快速、受控加热。但现有的常规卤素灯阵列所使用的灯管体积形状受限于灯管散热、发射功率等要求，其自身结构设计和图案化阵列排布受到极大限制。
[0004]例如申请号为CN201580022142.0的中国专利技术专利所述热处理腔室的光导管阵列结构，其光导管窗结构体积庞大，不易拆卸维修，密集排列的结构容易导致散热困难且图案化排布方式受限。
[0005]因此，需要一种结构轻薄，图案化阵列排布灵活的热处理加热装置。

技术实现思路

[0006]本专利技术所要解决的技术问题在于：提供一种模块化固态光源加热装置，解决现有的常规卤素灯阵列结构体积庞大、不易拆卸维修、排布方式受限的问题。
[0007]依据本专利技术的技术方案，本专利技术提供了一种模块化固态光源加热装置，包括加热模组，加热模组包括依次层叠设置的电路控制组件、冷却组件和固态光源组件；电路控制组件包括有控制电路板，控制电路板上具有控制电路，控制电路中包括有功率控制元件；冷却组件包括有冷却管道，冷却管道的末端设有管路连接器，冷却管道的周围设有快速导热件；固态光源组件包括有光源基板，光源基板通过支架与控制电路板相连接，光源基板背向电路控制组件的一面排布设置有发光二极管，光源基板上设置有电路接口，发光二极管通过电路接口与功率控制元件电性连接。
[0008]进一步地，若干加热模组接合形成平面图案化排布，且多个冷却组件的冷却管道接合形成冷却网络。
[0009]进一步地，冷却管道为呈均匀放射状的多通管。
[0010]进一步地，快速导热件紧密包覆冷却管道，并且与光源基板紧密贴合。
[0011]进一步地，光源基板开设有安装槽，快速导热件嵌入设置在安装槽中。
[0012]进一步地，支架及电路接口设置于光源基板的边缘位置、与冷却组件相间隔。
[0013]进一步地，发光二极管为嵌入设置于光源基板的封装成球状的发光二极管，且均匀地布满光源基板的一面。
[0014]进一步地，多个加热模组的电路控制组件由控制电路串联控制、并联控制或者独立控制。
[0015]进一步地，加热模组呈正多边形。
[0016]进一步地，加热模组呈正三角形、正四边形或正六边形。
[0017]与现有技术相比，本专利技术的有益技术效果如下：
[0018]1、本专利技术的模块化固态光源加热装置具备更小的装置体积、结构轻薄，易于加工、拆卸以及后期维修，加热模组接合形成的区域化冷却网络通过调节管路连接器内径可调节不同区域的散热效率，满足不同工况下散热需要，且辐射加热的图案化排布更加灵活，从而能够获得更加均匀的加热效果。
[0019]2、本专利技术的模块化固态光源加热装置采用发光二极管阵列替代现有的卤素加热灯管，提高加热效率，并提高光源功率的可控性。
[0020]3、本专利技术的模块化固态光源加热装置采用扁平化夹层状的加热模组，使得加热装置进一步轻量化；模块化设计使得制造、装卸、维护更加简易，提高了通用性。同时得益于夹层结构中的空隙(本结构可根据需要选择是否留有空隙)，利用了空气(或者其他气体)作为热的不良导体的特性，对电路板、控制电路元件等不耐热器件进行有效的热隔离。以及，各层板之间、各加热模组之间的间隙可以为加装热监控装置预留安装空间。
[0021]4、本专利技术的模块化固态光源加热装置集成了冷却组件，通过接合形成的冷却网络更加轻量化，利用液冷和固体传热的冷却方式，效率更高。
[0022]5、本专利技术的模块化固态光源加热装置能够根据不同的腔体形状要求或者处理基板所需加热区域的形状要求，自由接合形成特有的加热装置，进一步提高了该加热装置的通用性。
附图说明
[0023]图1是本专利技术一实施例的加热模组各部件的结构示意图。
[0024]图2是图1所示加热模组的整体结构示意图。
[0025]图3是图1所示加热模组的仰视示意图。
[0026]图4是图1所示加热模组拼合而成的加热装置的结构示意图。
[0027]图5是图4所示加热装置中冷却网络的结构示意图。
[0028]图6是图3所示加热装置的一种工作状态的示意图。
[0029]图7是图3所示加热装置的另一种工作状态的示意图。
[0030]图8是本专利技术另一实施例的加热模组的结构示意图。
[0031]图9是本专利技术一实施例的管路连接器的结构示意图。
[0032]图10、图11是图9所示管路连接器两种工作状态的结构示意图。
[0033]附图中的附图标记说明：
[0034]1、加热模组；
[0035]2、电路控制组件；
[0036]21、控制电路板；
[0037]22、功率控制元件；
[0038]3、冷却组件；
[0039]31、快速导热件；
[0040]32、冷却管道；
[0041]33、管路连接器；
[0042]4、固态光源组件；
[0043]41、光源基板；
[0044]42、支架；
[0045]43、发光二极管；
[0046]44、电路接口；
[0047]45、安装槽。
具体实施方式
[0048]为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术中的附图，对本专利技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0049]另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与有关专利技术相关的部分。在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0050]需要注意，本专利技术中提及的“第一”、“第二”等概念仅用于对不同的装置、模块或单元进行区分，并非用于限定这些装置、模块或单元所执行的功能的顺序或者相互依存关系。
[0051]需要注意，本专利技术中提及的“一个”、“多个”的修饰是示意性而非限制性的，本领域技术人员应当理解，除非在上下文另有明确指出，否则应该理解为“一个或多个”。
[0052]本专利技术涉及一种模块化固态光源加热装置，属于半导体设备
，包括依次层叠设置的电路控制组件、冷却组件和固态光源组件；电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种模块化固态光源加热装置，其特征在于，包括加热模组(1)，所述加热模组(1)包括依次层叠设置的电路控制组件(2)、冷却组件(3)和固态光源组件(4)；所述电路控制组件(2)包括有控制电路板(21)，所述控制电路板(21)上具有控制电路，所述控制电路中包括有功率控制元件(22)；所述冷却组件(3)包括有冷却管道(32)，所述冷却管道(32)的末端设有管路连接器(33)，所述冷却管道(32)的周围设有快速导热件(31)；所述固态光源组件(4)包括有光源基板(41)，所述光源基板(41)通过支架(42)与所述控制电路板(21)相连接，所述光源基板(41)背向电路控制组件(2)的一面排布设置有发光二极管(43)，所述光源基板(41)上设置有电路接口(44)，所述发光二极管(43)通过所述电路接口(44)与所述功率控制元件(22)电性连接。2.如权利要求1所述的模块化固态光源加热装置，其特征在于，若干所述加热模组(1)接合形成平面图案化排布，且多个所述冷却组件(3)的所述冷却管道(32)接合形成冷却网络。3.如权利要求1所述的模块化固态光源加热装置，其特征在于，所述冷却管道(32)为呈均匀放射状的多通管。4.如权利要求1所述的模块化固态光源加热装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：余先炜，
申请(专利权)人：盛吉盛半导体科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：