下载模块化固态光源加热装置的技术资料

文档序号:38728706

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本发明涉及一种模块化固态光源加热装置,属于半导体设备技术领域,包括依次层叠设置的电路控制组件、冷却组件和固态光源组件;电路控制组件包括有控制电路板,控制电路中包括有功率控制元件;冷却组件包括有冷却管道,冷却管道的末端设有管路连接器,冷却管道...
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