本申请涉及一种晶圆搬运装置，涉及搬运设备领域，为了解决自动化程度高的工厂对晶圆的搬运精准便捷，且机械手的适应性更高，但与此同时，自动化程度高的设备价格都较高的问题，本申请的方案包括横纵移动机构，所述横纵移动机构上设置有伸缩气缸，所述伸缩气缸的活塞杆上铰接有第一转动板和第二转动板，所述第一转动板和第二转动板之间设置有控制两者角度的角度调节组件；所述第一转动板远离伸缩气缸的一端设置有第一夹持板，所述第二转动板远离伸缩气缸的一端设置有第二夹持板，所述第一夹持板和第二夹持板相对方向的侧壁均设置有柔软垫。本申请具有实现晶圆搬运且适应性高的基础设备的效果。设备的效果。设备的效果。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆搬运装置
[0001]本申请涉及搬运设备领域，尤其是涉及一种晶圆搬运装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，其形状为圆形。
[0003]晶圆工件在加工过程中常常需要将晶圆工件搬运到不同位置，一部分工厂采用夹具对晶圆进行搬运，一部分工厂采用机械手搭配多方位移动吊顶机械装置以对晶圆工件进行搬运；但发现自动化程度高的工厂对晶圆的搬运精准便捷，且机械手的适应性更高，但与此同时，自动化程度高的设备价格都较高；但大部分刚起步的公司需要一个能实现晶圆搬运的基础设备，且此基础设备的适应性也较高。
技术实现思路
[0004]为了做出能实现晶圆搬运且适应性高的基础设备，本申请提供一种晶圆搬运装置。
[0005]本申请提供的一种晶圆搬运装置采用如下的技术方案：
[0006]一种晶圆搬运装置，包括横纵移动机构，所述横纵移动机构上设置有伸缩气缸，所述伸缩气缸的活塞杆上铰接有第一转动板和第二转动板，所述第一转动板和第二转动板之间设置有控制两者角度的角度调节组件；所述第一转动板远离伸缩气缸的一端设置有第一夹持板，所述第二转动板远离伸缩气缸的一端设置有第二夹持板，所述第一夹持板和第二夹持板相对方向的侧壁均设置有柔软垫。
[0007]通过采用上述技术方案，当需要搬运晶圆时，横纵移动机构移动至晶圆工件正上方，伸缩气缸的活塞杆伸出，当第一夹持板和第二夹持板位于晶圆的两侧时，角度调节组件控制第一转动板和第二转动板的角度减小，从而令第一夹持板和第二夹持板之间的距离减少，最终第一夹持板和第二夹持板均抵触在晶圆上，以对晶圆进行夹持，此时保护组件对晶圆进行保护，减少第一夹持板和第二夹持板夹持力较大导致晶圆损坏的事情发生；当晶圆的尺寸发生变化时，利用角度调节组件对第一夹持板和第二夹持板的夹持距离即可，实现晶圆搬运且适应性高的基础设备。
[0008]可选的，所述角度调节组件包括调节气缸、第一调节杆和第二调节杆，所述调节气缸的缸体与伸缩气缸的活塞杆相连，所述第一调节杆和第二调节杆均转动连接在调节气缸的活塞杆上，所述第一调节杆远离调节气缸的一端转动连接在第一转动板，所述第二调节杆远离调节气缸的一端转动连接在第二转动板上。
[0009]通过采用上述技术方案，当调节气缸的活塞杆完全回缩至缸体内时，此时第一调节杆和第二调节杆之间的角度最小，第一夹持板和第二夹持板之间的距离最近；当调节气缸的活塞杆伸出的过程中，第一调节杆和第二调节杆之间的距离增大，第一夹持板和第二夹持板之间的距离增大。因此，通过调节气缸活塞杆的移动，使第一夹持板和第二夹持板之间的距离发生变化，以对工件进行夹持。
[0010]可选的，所述第一夹持板和第二夹持板之间设置有保护组件，所述保护组件包括保护固定板、保护调节板和保护定位件，所述保护固定板的一端与第一夹持板上，所述保护固定板远离第一夹持板的一侧开设有调节槽，所述保护调节板滑移在调节槽内，所述保护定位件设置在保护调节板上，以定位保护调节板和保护固定板之间的距离。
[0011]通过采用上述技术方案，当第一夹持板和第二夹持板靠近时，保护调节板向第二夹持板靠近，当第一夹持板和第二夹持板夹住晶圆时，第二夹持板刚刚抵触在第二夹持板上。通过预先设置保护固定板和保护调节板的总体长度，来控制第一夹持板和第二夹持板的夹持程度，避免第一夹持板和第二夹持板夹持过度。
[0012]可选的，所述保护定位件包括定位连接杆、两个定位转动杆和两个定位限制杆，所述保护固定板的侧壁开设有定位长孔，所述定位长孔与调节槽连通，所述定位连接杆的一端贯穿定位长孔并与保护调节板相连，两个所述定位转动杆均转动连接在定位连接杆远离保护调节板的一端，所述定位限制杆连接在定位转动杆远离定位连接杆的一端，且所述定位限制杆上设置有摩擦软垫，所述摩擦软垫抵紧在保护固定板上。
[0013]通过采用上述技术方案，当保护调节板在调节槽内滑移完成后，转动定位转动杆，令定位限制杆上的摩擦软垫抵触在保护固定板的竖直侧壁上，从而完成保护调节板与保护固定板位置的固定。
[0014]可选的，所述摩擦软垫套设在定位限制杆的外部，所述摩擦软垫的外壁设置为圆弧面。
[0015]可选的，所述第二夹持板靠近保护调节板的一侧开设有供保护调节板插设的保护定位槽。
[0016]可选的，所述柔软垫上设置有限位柔软片，所述限位柔软片与柔软垫之间设置有限位杆，所述第一夹持板和第二夹持板上均开设有限位孔，所述限位杆插设在限位孔内，所述限位柔软片的直径大于限位孔的孔径。
[0017]可选的，所述限位孔和限位杆的截面均为多角形。
[0018]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0019]1.当需要搬运晶圆时，横纵移动机构移动至晶圆工件正上方，伸缩气缸的活塞杆伸出，当第一夹持板和第二夹持板位于晶圆的两侧时，角度调节组件控制第一转动板和第二转动板的角度减小，从而令第一夹持板和第二夹持板之间的距离减少，最终第一夹持板和第二夹持板均抵触在晶圆上，以对晶圆进行夹持，此时保护组件对晶圆进行保护，减少第一夹持板和第二夹持板夹持力较大导致晶圆损坏的事情发生；当晶圆的尺寸发生变化时，利用角度调节组件对第一夹持板和第二夹持板的夹持距离即可，实现晶圆搬运且适应性高的基础设备；
[0020]2.当第一夹持板和第二夹持板靠近时，保护调节板向第二夹持板靠近，当第一夹持板和第二夹持板夹住晶圆时，第二夹持板刚刚抵触在第二夹持板上。通过预先设置保护固定板和保护调节板的总体长度，来控制第一夹持板和第二夹持板的夹持程度，避免第一夹持板和第二夹持板夹持过度。
附图说明
[0021]图1是本申请实施例中一种晶圆搬运装置的结构示意图。
[0022]图2是图1中A的放大示意图。
[0023]图3是本申请实施例中用于体现定位保护件与保护调节板连接关系的剖面示意图。
[0024]附图标记说明：1、横纵移动机构；2、伸缩气缸；3、第一转动板；31、第一夹持板；311、限位孔；4、第二转动板；41、第二夹持板；411、保护定位槽；5、角度调节组件；51、调节气缸；52、第一调节杆；53、第二调节杆；6、柔软垫；61、限位柔软片；62、限位杆；7、保护组件；71、保护固定板；711、调节槽；712、定位长孔；72、保护调节板；73、保护定位件；731、定位连接杆；732、定位转动杆；733、定位限制杆；734、摩擦软垫。
具体实施方式
[0025]以下结合附图1
‑
3对本申请作进一步详细说明。
[0026]本申请实施例公开一种晶圆搬运装置。参照图1，晶圆搬运装置包括横纵移动机构1，本实施例的横纵移动机构1为可横移、纵移的吊顶轨道；横纵移动机构1上设置有伸缩气缸2，伸缩气缸2的缸体安装在横纵移动机构1上，伸缩气缸2的活塞杆朝下，且铰接有第一转动板3和第二转动板4，第一转动板3和第二转动板4之间设置有控制两者之间角度的角度调节组件5。
[0027]第一转动板3远离伸本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆搬运装置，其特征在于：包括横纵移动机构(1)，所述横纵移动机构(1)上设置有伸缩气缸(2)，所述伸缩气缸(2)的活塞杆上铰接有第一转动板(3)和第二转动板(4)，所述第一转动板(3)和第二转动板(4)之间设置有控制两者角度的角度调节组件(5)；所述第一转动板(3)远离伸缩气缸(2)的一端设置有第一夹持板(31)，所述第二转动板(4)远离伸缩气缸(2)的一端设置有第二夹持板(41)，所述第一夹持板(31)和第二夹持板(41)相对方向的侧壁均设置有柔软垫(6)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运装置，其特征在于：所述角度调节组件(5)包括调节气缸(51)、第一调节杆(52)和第二调节杆(53)，所述调节气缸(51)的缸体与伸缩气缸(2)的活塞杆相连，所述第一调节杆(52)和第二调节杆(53)均转动连接在调节气缸(51)的活塞杆上，所述第一调节杆(52)远离调节气缸(51)的一端转动连接在第一转动板(3)，所述第二调节杆(53)远离调节气缸(51)的一端转动连接在第二转动板(4)上。3.根据权利要求1所述的一种晶圆搬运装置，其特征在于：所述第一夹持板(31)和第二夹持板(41)之间设置有保护组件(7)，所述保护组件(7)包括保护固定板(71)、保护调节板(72)和保护定位件(73)，所述保护固定板(71)的一端与第一夹持板(31)上，所述保护固定板(71)远离第一夹持板(31)的一侧开设有调节槽(711)，所述保护调节板(72)滑移在调节槽(711)内，所述保护定位件(73)设置在保护调节板(72)上，以定位保护调节板(72)和保护固定板(71)之间...
【专利技术属性】
技术研发人员：周小琳，张峰宁，
申请(专利权)人：苏州金琳芯半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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