一种适用于半导体黄光烘烤光刻胶的烤箱托盘制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体烘烤技术领域，且公开了一种适用于半导体黄光烘烤光刻胶的烤箱托盘，包括盘体，所述盘体的底部卡接有螺杆，所述螺杆的顶部螺纹连接有顶架，所述顶架的顶部固定连接有内顶柱，所述内顶柱的外侧套接有外顶环，所述外顶环的内部开设有插孔，所述插孔的内壁固定连接有电磁铁。该适用于半导体黄光烘烤光刻胶的烤箱托盘，通过控制电磁铁通电，电磁铁通过磁力带动传动杆插接在插孔中，当内顶柱上升时，内顶柱通过传动杆带动外顶环上升，外顶环增加内顶柱的顶起面积，使大规格的半导体托起稳定，通过控制不同数量的外顶环上升数量，从而达到了能适用于不同规格的半导体，适用范围广的效果。适用范围广的效果。适用范围广的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于半导体黄光烘烤光刻胶的烤箱托盘


[0001]本技术涉及半导体烘烤
，具体为一种适用于半导体黄光烘烤光刻胶的烤箱托盘。

技术介绍

[0002]从科技或是经济发展的角度来看，半导体非常重要，半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，其电导率容易受控制，可作为信息处理的元件材料，在半导体制造的过程中，常用烘烤装置对半导体进行加热，以使得半导体表面涂覆的材料固化，例如，在黄光光阻涂布完成后一般会放入烤盘内烘烤，且在对半导体进行加热时，为了使半导体受热更均匀，需要将半导体全部放置到托盘上。
[0003]现有的半导体烤箱托盘，结构简单，半导体边缘直接与托盘接触，半导体边缘涂覆的半固态材料会沾污托盘，影响托盘的后续使用，进而影响烘烤质量。

技术实现思路

[0004]为实现以上能减少托盘污染，烘烤质量高，能适用于不同规格的半导体，适用范围广的目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种适用于半导体黄光烘烤光刻胶的烤箱托盘，包括盘体，所述盘体的底部安装有主动轮，所述盘体的底部卡接有螺杆，所述螺杆的底部固定连接有从动轮，所述螺杆的顶部螺纹连接有顶架，所述顶架的顶部固定连接有内顶柱，所述内顶柱的内部滑动连接有传动杆，所述传动杆通过拉力弹簧与所述内顶柱的内壁相连接，所述内顶柱的外侧套接有外顶环，所述外顶环的内部开设有插孔，所述插孔的内壁固定连接有电磁铁。
[0005]进一步的，所述螺杆、从动轮、顶架与内顶柱不少于八组且均匀分布在盘体四周，使托盘能存放多组半导体。
[0006]进一步的，所述从动轮中的其中一组通过链条与所述主动轮传动连接，其与从动轮均通过链条相互传动连接，传动稳定，使多组内顶柱能同步升降。
[0007]进一步的，所述顶架滑动连接在盘体的底部，使顶架不会随着螺杆转动。
[0008]进一步的，所述外顶环不少于两组，且多组外顶环依次套接，便于调节托起范围。
[0009]进一步的，所述插孔的轴线与所述传动杆的轴线处于同一水平线，且插孔的半径略大于传动杆的半径，便于传动杆插接。
[0010]进一步的，所述外顶环的底部连接有复位弹簧，且复位弹簧的另一端与所述盘体相连接，使外顶环不会因为摩擦力上升。
[0011]与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：
[0012]1、该适用于半导体黄光烘烤光刻胶的烤箱托盘，通过控制主动轮转动，主动轮带动从动轮转动，从动轮带动螺杆转动，螺杆带动顶架上升，顶架带动内顶柱上升，内顶柱与盘体上表面形成高度差，使内顶柱上的半导体边缘不与盘体接触，从而达到了能减少托盘污染，烘烤质量高的效果。
[0013]2、该适用于半导体黄光烘烤光刻胶的烤箱托盘，通过控制电磁铁通电，电磁铁通过磁力带动传动杆插接在插孔中，当内顶柱上升时，内顶柱通过传动杆带动外顶环上升，外顶环增加内顶柱的顶起面积，使大规格的半导体托起稳定，通过控制不同数量的外顶环上升数量，从而达到了能适用于不同规格的半导体，适用范围广的效果。
附图说明
[0014]图1为本技术结构整体俯视示意图；
[0015]图2为本技术结构整体仰视示意图；
[0016]图3为本技术结构整体正视剖视示意图；
[0017]图4为本技术结构图3中A部分放大示意图。
[0018]图中：1、盘体；2、主动轮；3、螺杆；4、从动轮；5、顶架；6、内顶柱；7、传动杆；8、拉力弹簧；9、外顶环；10、插孔；11、电磁铁。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]该适用于半导体黄光烘烤光刻胶的烤箱托盘的实施例如下：
[0021]请参阅图1
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图4，一种适用于半导体黄光烘烤光刻胶的烤箱托盘，包括盘体1，盘体1的底部安装有主动轮2，主动轮2通过电机驱动，盘体1的底部卡接有螺杆3，螺杆3、从动轮4、顶架5与内顶柱6不少于八组且均匀分布在盘体1四周，使托盘能存放多组半导体，螺杆3的底部固定连接有从动轮4，从动轮4中的其中一组通过链条与主动轮2传动连接，其与从动轮4均通过链条相互传动连接，传动稳定，使多组内顶柱6能同步升降，螺杆3的顶部螺纹连接有顶架5，顶架5滑动连接在盘体1的底部，使顶架5不会随着螺杆3转动，顶架5的顶部固定连接有内顶柱6。
[0022]电机带动主动轮2转动，主动轮2通过链条带动从动轮4转动，从动轮4带动螺杆3转动，螺杆3带动顶架5上升，顶架5带动内顶柱6上升，内顶柱6通过传动杆7带动外顶环9上升，同时多组从动轮4在链条的作用下同步转动，多组内顶柱6同步上升，然后将半导体分别放置在内顶柱6上，不会造成盘体1污染。
[0023]内顶柱6的内部滑动连接有传动杆7，传动杆7通过拉力弹簧8与内顶柱6的内壁相连接，内顶柱6的外侧套接有外顶环9，外顶环9不少于两组，且多组外顶环9依次套接，便于调节托起范围，外顶环9的底部连接有复位弹簧，且复位弹簧的另一端与盘体1相连接，使外顶环9不会因为摩擦力上升，外顶环9的内部开设有插孔10，插孔10的轴线与传动杆7的轴线处于同一水平线，且插孔10的半径略大于传动杆7的半径，便于传动杆7插接，插孔10的内壁固定连接有电磁铁11。
[0024]控制外顶环9内部的电磁铁11通电，电磁铁11通电产生磁力，电磁铁11带动传动杆7插接在插孔10中，通过控制不同外顶环9与传动杆7连接数量，使托盘能适用于不同型号的半导体。
[0025]工作原理：根据半导体型号大小，控制相应的外顶环9内部的电磁铁11通电，电磁铁11通电产生磁力，电磁铁11带动传动杆7插接在插孔10中，然后控制电机转动，电机带动主动轮2转动，主动轮2通过链条带动从动轮4转动，从动轮4带动螺杆3转动，螺杆3带动顶架5上升，顶架5带动内顶柱6上升，内顶柱6通过传动杆7带动外顶环9上升，同时多组从动轮4在链条的作用下同步转动，多组内顶柱6同步上升，然后将半导体分别放置在内顶柱6上，不会造成盘体1污染。
[0026]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于半导体黄光烘烤光刻胶的烤箱托盘，包括盘体(1)，其特征在于：所述盘体(1)的底部安装有主动轮(2)，所述盘体(1)的底部卡接有螺杆(3)，所述螺杆(3)的底部固定连接有从动轮(4)，所述螺杆(3)的顶部螺纹连接有顶架(5)，所述顶架(5)的顶部固定连接有内顶柱(6)，所述内顶柱(6)的内部滑动连接有传动杆(7)，所述传动杆(7)通过拉力弹簧(8)与所述内顶柱(6)的内壁相连接，所述内顶柱(6)的外侧套接有外顶环(9)，所述外顶环(9)的内部开设有插孔(10)，所述插孔(10)的内壁固定连接有电磁铁(11)。2.根据权利要求1所述的一种适用于半导体黄光烘烤光刻胶的烤箱托盘，其特征在于：所述螺杆(3)、从动轮(4)、顶架(5)与内顶柱(6)不少于八组且均匀分布在盘体(1)四周。3.根据权利要求2所述的一种适用于半导体黄光烘烤...

【专利技术属性】
技术研发人员：周小琳，
申请(专利权)人：苏州金琳芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：