一种适用于清洗机腔体装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体加工的技术领域，且公开了一种适用于清洗机腔体装置，包括外壳，所述外壳的内部开设有凹槽，所述凹槽的内部活动连接有往复组件，所述外壳的表面开设有卡口，所述卡口的内壁开设有密封槽，所述卡口的内侧滑动连接有门板，所述门板的外部固定连接有弹垫，所述门板的外部固定连接有防漏板；通过弹垫与密封槽接触滑动以及防漏板与外壳接触贴合，保证了门板滑动关闭外壳的密封性，提高了等离子清洗机腔体产生真空性能，提高了等离子清洗机的可靠性。离子清洗机的可靠性。离子清洗机的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于清洗机腔体装置


[0001]本技术涉及半导体加工的
，具体为一种适用于清洗机腔体装置。

技术介绍

[0002]等离子清洗机也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果，等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，在半导体光刻加工工艺中需要对完成光刻后的光刻胶进行清理去胶，现有的等离子清洗机用于产生真空的腔体采用旋转式盖板密封，同时腔体的打开关闭不能实现自动操作，这样降低了等离子清洗机的产生真空性能，同时降低了等离子清洗机的实用性。

技术实现思路

[0003]为解决上述现有的等离子清洗机用于产生真空的腔体采用旋转式盖板密封，同时腔体的打开关闭不能实现自动操作，这样降低了等离子清洗机的产生真空性能，同时降低了等离子清洗机的实用性的问题，实现以上自动滑动开闭、密封性能佳、真空性能佳、实用可靠的目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种适用于清洗机腔体装置，包括外壳，所述外壳的内部开设有凹槽，所述凹槽的内部活动连接有往复组件，所述外壳的表面开设有卡口，所述卡口的内壁开设有密封槽，所述卡口的内侧滑动连接有门板，所述门板的外部固定连接有弹垫，所述门板的外部固定连接有防漏板，所述往复组件包括电机、丝杆、滚块、连杆、衔接板、触点，所述外壳的外部固定连接有电机，所述凹槽的内部活动连接有丝杆，所述丝杆的外部活动连接有滚块，所述滚块的外部活动连接有连杆，所述门板的外部固定连接有衔接板，所述凹槽的内部固定连接有触点，所述外壳的外部固定连接有按钮。<br/>[0004]进一步的，所述凹槽与卡口内部相通连接，所述密封槽对称分布在卡口的内侧，所述弹垫对称分布在门板的外部，所述卡口与门板滑动密封连接，所述弹垫与密封槽滑动密封连接。
[0005]进一步的，所述电机与丝杆通过连接轴固定连接，所述连杆的两端分别活动连接在滚块的外部和衔接板的外部，所述衔接杆与触点的位置相对应，所述触点的数量两个，两个触点分别分布在凹槽的两端，所述防漏板与外壳的位置对应，所述电机与触点电连接，所述触点与按钮电连接，所述触点触发，其内部电路由通路变为断路，进而使得电机停止通电。
[0006]本技术提供了一种适用于清洗机腔体装置。具备以下有益效果：
[0007]1、该适用于清洗机腔体装置，通过丝杆转动使得连杆转动，连杆转动使得门板自动滑动并在触点的控制作用下精确控制外壳的开闭，从而提高了等离子清洗机腔体的操作便捷性和实用性。
[0008]2、该适用于清洗机腔体装置，通过弹垫与密封槽接触滑动以及防漏板与外壳接触贴合，保证了门板滑动关闭外壳的密封性，提高了等离子清洗机腔体产生真空性能，提高了
等离子清洗机的可靠性。
附图说明
[0009]图1为本技术内部局部剖视结构示意图；
[0010]图2为本技术图1中A处结构示意图；
[0011]图3为本技术图1中B处结构示意图；
[0012]图4为本技术内部侧视结构示意图；
[0013]图5为本技术图4中C处结构示意图。
[0014]图中：1、外壳；2、凹槽；3、往复组件；31、电机；32、丝杆；33、滚块；34、连杆；35、衔接板；36、触点；4、卡口；5、密封槽；6、门板；7、弹垫；8、防漏板；9、按钮。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0016]该适用于清洗机腔体装置的实施例如下：
[0017]请参阅图1
‑
图5，一种适用于清洗机腔体装置，包括外壳1，外壳1的内部开设有凹槽2，凹槽2的内部活动连接有往复组件3，外壳1的表面开设有卡口4，卡口4的内壁开设有密封槽5，卡口4的内侧滑动连接有门板6，凹槽2与卡口4内部相通连接，密封槽5对称分布在卡口4的内侧，弹垫7 对称分布在门板6的外部，卡口4与门板6滑动密封连接，弹垫7与密封槽5 滑动密封连接。
[0018]门板6的外部固定连接有弹垫7，门板6的外部固定连接有防漏板8，通过弹垫7与密封槽5接触滑动以及防漏板8与外壳1接触贴合，保证了门板6 滑动关闭外壳1的密封性，提高了等离子清洗机腔体产生真空性能，提高了等离子清洗机的可靠性，往复组件3包括电机31、丝杆32、滚块33、连杆 34、衔接板35、触点36，外壳1的外部固定连接有电机31，凹槽2的内部活动连接有丝杆32，丝杆32的外部活动连接有滚块33，滚块33的外部活动连接有连杆34，门板6的外部固定连接有衔接板35，凹槽2的内部固定连接有触点36，外壳1的外部固定连接有按钮9，电机31与丝杆32通过连接轴固定连接，连杆34的两端分别活动连接在滚块33的外部和衔接板35的外部，衔接杆与触点36的位置相对应，触点36的数量两个，两个触点36分别分布在凹槽2的两端，防漏板8与外壳1的位置对应，电机31与触点36电连接，触点36与按钮9电连接，触点36触发，其内部电路由通路变为断路，进而使得电机31停止通电，通过丝杆32转动使得连杆34转动，连杆34转动使得门板6自动滑动并在触点36的控制作用下精确控制外壳1的开闭，从而提高了等离子清洗机腔体的操作便捷性和实用性，
[0019]工作原理：
[0020]用户将待清理的半导体放入外壳1的内部并按下按钮9，进而使得电机 31通电运行带动丝杆32在凹槽2的内部转动，丝杆32转动滚块33转动，滚块33转动带动连杆34转动，连杆34转动带动衔接板35在卡口4的内侧运动，衔接板35运动带动门板6在卡口4的内侧滑动，门板6滑动带动弹垫7 在密封槽5的内侧滑动，门板6滑动带动防漏板8运动，门板6滑动
直至与卡口4的右侧接触关闭密封外壳1，此时防漏板8与外壳1接触贴合，同时衔接板35运动与凹槽2内部的右侧触点36接触，进而使得电机31停止通电。
[0021]当外壳1内部半导体清理完成，用户按下按钮9，同理门板6沿着卡口4 左侧方向滑动并使得防漏板8与外壳1分离，直至衔接板35运动与凹槽2内部的左侧触点36接触，同理电机31停止通电，此时外壳1打开。
[0022]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于清洗机腔体装置，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)的内部开设有凹槽(2)，所述凹槽(2)的内部活动连接有往复组件(3)，所述外壳(1)的表面开设有卡口(4)，所述卡口(4)的内壁开设有密封槽(5)，所述卡口(4)的内侧滑动连接有门板(6)，所述门板(6)的外部固定连接有弹垫(7)，所述门板(6)的外部固定连接有防漏板(8)。2.根据权利要求1所述的一种适用于清洗机腔体装置，其特征在于：所述往复组件(3)包括电机(31)、丝杆(32)、滚块(33)、连杆(34)、衔接板(35)、触点(36)，所述外壳(1)的外部固定连接有电机(31)，所述凹槽(2)的内部活动连接有丝杆(32)，所述丝杆(32)的外部活动连接有滚块(33)，所述滚块(33)的外部活动连接有连杆(34)，所述门板(6)的外部固定连接有衔接板(35)，所述凹槽(2)的内部固定连接有触点(36)，所述外壳(1)的外部固定连接有按钮(9)。3.根据权利要求1所述的一种适用于清洗机腔体装...

【专利技术属性】
技术研发人员：周小琳，
申请(专利权)人：苏州金琳芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：