石英舟缓存架及机械手组件制造技术

本实用新型专利技术提供了一种石英舟缓存架及机械手组件，包括架体和轴对称设于所述架体的第一缓存组件和第二缓存组件，所述第一缓存组件和所述第二缓存组件分别用于放置石英舟；所述架体包括水平连接件和间隔设置的第一竖直连接件和第二竖直连接件，所述水平连接位于所述第一竖直连接件和所述第二竖直连接件之间并与所述第一竖直连接件和所述第二竖直连接件连接；所述第一缓存组件与所述第一竖直连接和所述水平连接件连接，所述第二缓存组件与所述水平连接件和所述第二竖直连接件连接。本实用新型专利技术公开的实施例结构简单牢固，架体在机械手上升和下降工作过程中，避免机械手和架体发生磕碰和干涉等问题，保证了机械手组件运行的可靠性。靠性。靠性。

【技术实现步骤摘要】
石英舟缓存架及机械手组件


[0001]本技术涉及光伏半导体设备领域，尤其涉及一种石英舟缓存架及机械手组件。

技术介绍

[0002]扩散退火炉是生产太阳能电池片的关键工艺设备之一，是一种集合了高可靠性和高精度的自控型炉体，主要用于光伏半导体生产零部件中的氧化、扩散及退火等工艺，促成太阳能电池片中PN结的生成，进而提升电池转换效率。
[0003]其中，带缓存台的升降机械手是扩散退火炉的关键性部件之一，目前扩散退火炉中，机械手组件中的缓存支撑组件大部分和机械手安装在同一组机械手升降模组上，这样的情况下，机械手组件和缓存支撑组件之间的安装空间就变的非常有限，增加了装配难度。另外，为了减少两个机械手之间的跨度，减少机械手运行过程中的变形量，现在炉体机台设备有由单个石英舟向双舟或者多舟发展演变的趋势，这样的情况下，双舟中间部分就会缺少支撑组件，导致结构不稳定。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种石英舟缓存架及机械手组件，结构简单牢固，装配方便。
[0005]为实现上述目的，第一方面，本技术提供了一种石英舟缓存架，包括架体和轴对称设于所述架体的第一缓存组件和第二缓存组件，所述第一缓存组件和所述第二缓存组件分别用于放置石英舟；
[0006]所述架体包括水平连接件和间隔设置的第一竖直连接件和第二竖直连接件，所述水平连接位于所述第一竖直连接件和所述第二竖直连接件之间并与所述第一竖直连接件和所述第二竖直连接件连接；
[0007]所述第一缓存组件与所述第一竖直连接和所述水平连接件连接，所述第二缓存组件与所述水平连接件和所述第二竖直连接件连接。
[0008]在一些实施例中，所述第一缓存组件包括用于支撑石英舟两端的第一支撑组件和第二支撑组件；
[0009]所述第一支撑组件设于所述第一竖直连接件，所述第二支撑组件设于所述水平连接件。
[0010]在一些实施例中，所述第一支撑组件包括第一固定件和第一缓存件；
[0011]所述第一固定件与所述第一竖直连接件连接，所述第一固定件具有间隔设置的限位部和连接部；
[0012]所述第一缓存件可转动的与所述连接部连接，当所述第一缓存件支撑石英舟时，所述第一缓存件靠近所述第一固定件的一端抵接所述限位部。
[0013]在一些实施例中，所述第一支撑组件还包括第一连接件和第一缓冲组件；
[0014]所述第一连接件位于所述第一缓存件的下方与所述第一固定件连接，
[0015]所述第一缓冲组件设于所述第一连接件，当所述第一缓存件支撑石英舟时，所述第一缓冲组件用于抵接所述第一缓存件远离所述第一固定件的一端。
[0016]在一些实施例中，所述第一缓冲组件包括第一支撑件、导向柱和弹簧柱塞；
[0017]所述第一支撑件的一端设于所述第一连接件，所述第一支撑件的另一端设有所述导向柱和所述弹簧柱塞；
[0018]所述第一缓存件远离所述第一固定件的一端设有导向孔，当所述第一缓存件支撑石英舟时，所述导向柱穿过所述导向孔，且所述第一缓存件远离所述第一固定件的一端与所述弹簧柱塞抵接。
[0019]在一些实施例中，所述第一缓冲组件还包括设于所述第一支撑件上的微动开关，当所述第一缓存件支撑石英舟时，所述第一缓存件可与所述微动开关接触。
[0020]在一些实施例中，所述第一支撑组件还包括设于所述第一缓存件侧边的第一导向组件，所述第一导向组件位于远离所述第二支撑组件的侧边用于对石英舟导向。
[0021]在一些实施例中，所述第一导向组件包括导向安装座、第一导向滚轮、导向轴、缓冲套管和第一衬套；
[0022]所述导向轴通过所述导向安装座可转动的设于所述第一缓存件侧边，且所述导向轴的轴向垂直于所述架体；
[0023]所述第一衬套套设于所述导向轴，所述缓冲套管套设于所述第一衬套，所述第一导向滚轮套设于所述缓冲套管。
[0024]在一些实施例中，所述第一导向组件还包括调节块、缓冲块和调节件；
[0025]所述调节件可调节的设于所述导向安装座，所述调节件的一端与所述调节块连接，用于带动所述调节块移动，所述缓冲块设于所述调节块上用于支撑石英舟。
[0026]在一些实施例中，所述第一支撑组件还包括设于所述第一缓存件上的第二导向组件，所述第二导向组件位于所述第一导向组件的两侧。
[0027]在一些实施例中，所述第二导向组件包括连接轴、第二衬套、密封圈和第二导向滚轮；
[0028]所述连接轴可转动的设于所述第一缓存件的侧边，且所述连接轴的轴向垂直于所述第一缓存件，所述第二衬套和所述密封圈均套设于所述连接轴，且所述密封圈位于所述第二衬套的两端，所述第二导向滚轮套设于所述第二衬套。
[0029]在一些实施例中，所述第二支撑组件包括第二固定件，所述第二固定件和所述架体的连接结构与所述第一固定件和所述架体的连接结构不同，所述第一支撑组件和所述第二支撑组件除所述第一固定件和所述第二固定件外的其他结构均对称设置。
[0030]第二方面，本技术提供了一种机械手组件，包括机械手、升降框架和所述的石英舟缓存架，所述架体设于所述升降框架的内侧；
[0031]所述升降框架的两侧设有升降模组，所述机械手设于所述升降模组，所述升降模组用于带动所述机械手升降，所述机械手用于抓取石英舟。
[0032]本技术提供的石英舟缓存架及机械手组件的有益效果在于：提供一种适用于大管径双石英舟的缓存架，架体通过水平连接件和间隔设置的第一竖直连接件和第二竖直连接件连接形成，结构简单牢固。另外，架体在机械手上升和下降工作过程中，避免机械手
和架体发生磕碰和干涉等问题，保证了机械手组件运行的可靠性。
附图说明
[0033]图1为本技术提供的实施例石英舟缓存架的结构示意图；
[0034]图2为本技术提供的实施例第一支撑组件的结构示意图；
[0035]图3为本技术提供的实施例第一缓冲组件的俯视图；
[0036]图4为图3中A
‑
A处的截面图；
[0037]图5为本技术提供的实施例第一导向组件的结构示意图；
[0038]图6为图5中B
‑
B处的截面图；
[0039]图7为本技术提供的实施例第二导向组件的结构示意图；
[0040]图8为图7中C
‑
C处的截面图；
[0041]图9为本技术提供的实施例第二支撑组件的结构示意图；
[0042]图10为本技术提供的实施例机械手组件的结构示意图。
[0043]附图标记：
[0044]1、架体；11、水平连接件；12、第一竖直连接件；13、第二竖直连接件；2、第一缓存组件；21、第一支撑组件；211、第一固定件；2111、限位部；2112、连接部；2113、旋转轴；212、第一缓存件；213、第一连接件；214、第一缓冲组件；2141、第一支撑件；21本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英舟缓存架，其特征在于，包括架体和轴对称设于所述架体的第一缓存组件和第二缓存组件，所述第一缓存组件和所述第二缓存组件分别用于放置石英舟；所述架体包括水平连接件和间隔设置的第一竖直连接件和第二竖直连接件，所述水平连接位于所述第一竖直连接件和所述第二竖直连接件之间并与所述第一竖直连接件和所述第二竖直连接件连接；所述第一缓存组件与所述第一竖直连接和所述水平连接件连接，所述第二缓存组件与所述水平连接件和所述第二竖直连接件连接。2.根据权利要求1所述的石英舟缓存架，其特征在于，所述第一缓存组件包括用于支撑石英舟两端的第一支撑组件和第二支撑组件；所述第一支撑组件设于所述第一竖直连接件，所述第二支撑组件设于所述水平连接件。3.根据权利要求2所述的石英舟缓存架，其特征在于，所述第一支撑组件包括第一固定件和第一缓存件；所述第一固定件与所述第一竖直连接件连接，所述第一固定件具有间隔设置的限位部和连接部；所述第一缓存件可转动的与所述连接部连接，当所述第一缓存件支撑石英舟时，所述第一缓存件靠近所述第一固定件的一端抵接所述限位部。4.根据权利要求3所述的石英舟缓存架，其特征在于，所述第一支撑组件还包括第一连接件和第一缓冲组件；所述第一连接件位于所述第一缓存件的下方与所述第一固定件连接；所述第一缓冲组件设于所述第一连接件，当所述第一缓存件支撑石英舟时，所述第一缓冲组件用于抵接所述第一缓存件远离所述第一固定件的一端。5.根据权利要求4所述的石英舟缓存架，其特征在于，所述第一缓冲组件包括第一支撑件、导向柱和弹簧柱塞；所述第一支撑件的一端设于所述第一连接件，所述第一支撑件的另一端设有所述导向柱和所述弹簧柱塞；所述第一缓存件远离所述第一固定件的一端设有导向孔，当所述第一缓存件支撑石英舟时，所述导向柱穿过所述导向孔，且所述第一缓存件远离所述第一固定件的一端与所述弹簧柱塞抵接。6.根据权利要求5所述的石英舟缓存架，其特征在于，所述第一缓冲组件还包括设于所述第一支撑件上的微动开关，当所述第一缓存件支撑石英舟时，所述第一缓存件可与所述微...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫允鲁，邹君阳，游骅，朱瑞环，
申请(专利权)人：理想晶延半导体设备浙江有限公司，
类型：新型
国别省市：