一种用于钙钛矿电池氧化锡连续镀膜的喷淋系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种用于钙钛矿电池氧化锡连续镀膜的喷淋系统，包括中板、基板、喷淋板和护板，中板上开设有进气孔和设有隔离条，其顶部覆盖有顶板，且顶板两个侧面上设有分气条，且分气条和进气孔相连通，基板上开设有气槽，基板上还开设有和气槽相通的储气槽，且基板顶面和中板底面抵接，并且进气孔和气槽相连通；喷淋板上开设有喷淋孔，且喷淋板顶面和基板底面抵接，并且储气槽和喷淋孔相连通；护板上开设有喷气槽，喷淋板底面和护板顶面抵接，且喷淋孔和喷气槽相连通，可根据需要镀膜的基片调整分气条、基板或中板主气槽、喷淋板气槽，灵活更换拼接和固定喷淋板，从而以玻璃为基片的大面积钙钛矿或相关产品的镀膜要求达到降低成本的效果。低成本的效果。低成本的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于钙钛矿电池氧化锡连续镀膜的喷淋系统


[0001]本技术涉及镀膜喷淋系统领域，尤其涉及一种用于钙钛矿电池氧化锡连续镀膜的喷淋系统。

技术介绍

[0002]超导薄膜需要的Zr，Y，Gd，Ba，Cu等金属有机源，在常温下是固体，需要在源蒸发器里面蒸发成有机源气体，通过源气体传输管道，注入到气体分配器或喷淋器内。在有机源气体到达带材反应前，需要源反应气体和氧气混合均匀，才能在带材表面形成均匀的沉积。常规的方法是，有机源气体和氧气在喷淋器或源管道进行混合，这样能保证有机源气体和氧气充分混合均匀，这对源传输管道和喷淋器的温度控制的精度有很高的要求，因为温度低，有机源气体会在源传输管道和喷淋器内表面凝聚，温度高，有机源气体和氧气就在源管道和喷淋器发生预反应，造成超导薄膜成分难控制，且造成管路和喷淋器堵塞，而且这种方式的镀膜大多是规定尺寸的喷淋器，并且管路气流量也是固定的。所以这种方式的喷淋镀膜，按照基片调整的灵活度弱，导致成本提高的缺陷。
[0003]因此，有必要开发一种用于钙钛矿电池氧化锡连续镀膜的喷淋系统，可随需要镀膜的基片而灵活调整喷淋系统，从而降低制造成本。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种用于钙钛矿电池氧化锡连续镀膜的喷淋系统，解决无法灵活调整喷淋系统，从而导致的基片镀膜成本高的缺陷，
[0005]一种用于钙钛矿电池氧化锡连续镀膜的喷淋系统，包括：中板、基板、喷淋板和护板；所述中板台面上靠近相对的两端位置开设有进气孔，且在所述中板台面中部设置有多组隔离条，所述隔离条顶部覆盖有顶板，且所述顶板相对的两个侧面上设置有分气条，且所述分气条内部和所述进气孔相连通；所述基板顶面上开设有多组基板气槽，所述基板底面上开设有和所述基板气槽相连通的多组储气槽，且所述基板的顶面和所述中板的底面相抵接，并且所述进气孔和所述基板气槽相连通；所述喷淋板由多块单元喷淋板拼接而成，且所述喷淋板上开设有多组喷淋孔，且所述喷淋板顶面和所述基板底面相抵接，并且所述储气槽和所述喷淋孔相连通；所述护板由多块单元护板拼接而成，且所述护板上开设有多组喷气槽，所述喷淋板的底面和所述护板的顶面相抵接，且所述喷淋孔和所述喷气槽相连通。
[0006]本技术的有益效果在于：通过上述技术特征，可根据要镀膜的基片大小灵活调整分气条尺寸和孔数，也可根据要镀膜的基片大小灵活调整基板和中板主气槽尺寸和数量，同样可根据要镀膜的基板尺寸灵活调整喷淋板气槽宽度和深度，调节喷淋板喷气孔数量和大小，可根据均匀性灵活更换、拼接块数和固定喷淋板，从而以玻璃为基片的大面积钙钛矿或相关产品的镀膜要求，达到降低制造成本的有益效果。
[0007]一种可能的实施例中，所述分气条一端上设置有气体分配组件，所述气体分配组件将用于分配喷淋所需的气体给所述分气条。
[0008]另一种可能的实施例中，所述气体分配组件包括气体分配块，以及在所述气体分配块两端相连通设置的进气管，所述气体分配块将用于分配气体给所述进气管，所述进气管将用于分配到的气体传输给所述分气条。
[0009]另一种可能的实施例中，所述气管包括第一气管和第二气管，所述第一气管和所述第二气管将用于传输不同的气体。
[0010]一种可能的实施例中，所述分气条远离所述顶板的一侧面上活动设置有气流调节座，所述气流调节座将用于调节气流量。
[0011]另一种可能的实施例中，所述气流调节座包括第一调节座和第二调节座，所述第一调节座将用于调节其所述第一气管传输的气流量，所述第二调节座将用于调节第二气管传输的气流量。
[0012]一种可能的实施例中所述基板气槽由基板主气槽，以及和所述基板主气槽相连通的多个基板分气槽形成。
[0013]另一种可能的实施例中，所述基板主气槽由基板第一主气槽和基板第二主气槽形成；所述基板第一主气槽将用于传输从所述第一调节座进来的气体，所述基板第二主气槽将用于传输从所述第二调节座进来的气体；所述基板分气槽由第一分气槽和第二分气槽形成；所述第一分气槽将用于传输所述第一主气槽内的气体，所述第二分气槽将用于传输所述基板第二主气槽内的气体。
[0014]一种可能的实施例中，所述储气槽由第一储气槽和第二储气槽形成；所述第一分气槽和第一储气槽之间开设有第三进气孔，并相连通；所述第二分气槽和第二储气槽之间开设有第四进气孔，并相连通。
[0015]另一种可能的实施例中，所述喷淋孔由第一喷淋孔和第二喷淋孔形成；所述第一喷淋孔将用于喷射所述第一储气槽传输的气体；所述第二喷淋孔将用于喷射所述第二储气槽传输的气体。
[0016]一种可能的实施例中，所述喷淋板顶面上还开设有密封槽，所述密封槽将用于密封所述第一喷淋孔和所述第一储气槽之间的连接处、所述第二喷淋孔和第二储气槽之间的连接处。
[0017]另一种可能的实施例中，所述基板底部设置有限位板，所述限位板的侧面抵接于所述喷淋板和所述护板的侧面。
[0018]一种可能的实施例中，所述护板、所述喷淋板、所述基板和所述中板上均开设有多组废气槽，且每个板相应的废气槽相连通；并且所述中板上废气槽的顶部开口和多组隔离板之间的间隔相连通形成废气回流区。
附图说明
[0019]图1为一种用于钙钛矿电池氧化锡连续镀膜的喷淋系统的背面轴测图示意图；
[0020]图2为一种用于钙钛矿电池氧化锡连续镀膜的喷淋系统的正面装配图和局部放大图示意图；
[0021]图3为一种用于钙钛矿电池氧化锡连续镀膜的喷淋系统的侧面剖视图示意图；
[0022]图4为一种用于钙钛矿电池氧化锡连续镀膜的喷淋系统的局部放大剖视图示意图；
[0023]图5为一种用于钙钛矿电池氧化锡连续镀膜的喷淋系统的局部放大剖视图示意图；
[0024]图6为分气条的爆炸图示意图；
[0025]图7为中板结构示意图；
[0026]图8为基板结构示意图；
[0027]图9为喷淋板局部放大图示意图；
[0028]图10为护板局部放大图示意图。
[0029]附图说明：1、中板；11、进气孔；111、第一进气孔；112、第二进气孔；12、第一气槽；13、第二气槽；2、隔离条；3、顶板；4、分气条；41、调节座；411、第一调节座；412、第二调节座；5、基板；51、基板气槽；511、基板第一主气槽；512、基板第二主气槽；513、第一分气槽；514、第二分气槽；52、第三进气孔；53、第四进气孔；54、储气槽；541、第一储气槽；542、第二储气槽；55、安装支座；6，喷淋板；61、喷淋孔；611、第一喷淋孔；612、第二喷淋孔；62、密封槽；63、单元喷淋板；7、护板；71、喷气槽；711、第一喷气槽；712、第二喷气槽；73、单元护板；8、气体分配组件；81、分配气块；82、进气管；821、第一进气管；822、第二进气管；9，限位板；10、废气槽。
具体实施方式
[0030]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本实用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于钙钛矿电池氧化锡连续镀膜的喷淋系统，其特征在于，包括：中板、基板、喷淋板和护板；所述中板台面上靠近相对的两端位置开设有进气孔，且在所述中板台面中部设置有多组隔离条，所述隔离条顶部覆盖有顶板，且所述顶板相对的两个侧面上设置有分气条，且所述分气条内部和所述进气孔相连通；所述基板顶面上开设有多组基板气槽，所述基板底面上开设有和所述基板气槽相连通的多组储气槽，且所述基板的顶面和所述中板的底面相抵接，并且所述进气孔和所述基板气槽相连通；所述喷淋板由多块单元喷淋板拼接而成，且所述喷淋板上开设有多组喷淋孔，且所述喷淋板顶面和所述基板底面相抵接，并且所述储气槽和所述喷淋孔相连通；所述护板由多块单元护板拼接而成，且所述护板上开设有多组喷气槽，所述喷淋板的底面和所述护板的顶面相抵接，且所述喷淋孔和所述喷气槽相连通。2.根据权利要求1所述的喷淋系统，其特征在于，所述分气条一端上设置有气体分配组件，所述气体分配组件将用于分配喷淋所需的气体给所述分气条。3.根据权利要求2所述的喷淋系统，其特征在于，所述气体分配组件包括气体分配块，以及在所述气体分配块两端相连通设置的进气管，所述气体分配块将用于分配气体给所述进气管，所述进气管将用于分配到的气体传输给所述分气条。4.根据权利要求3所述的喷淋系统，其特征在于，所述气管包括第一气管和第二气管，所述第一气管和所述第二气管将用于传输不同的气体。5.根据权利要求4所述的喷淋系统，其特征在于，所述分气条远离所述顶板的一侧面上活动设置有气流调节座，所述气流调节座将用于调节气流量。6.根据权利要求5所述的喷淋系统，其特征在于，所述气流调节座包括第一调节座和第二调节座，所述第一调节座将用于调节其所述第一气管传输的气流量，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张开江，陆勇，戴虹，曹阳，奚明，
申请(专利权)人：理想晶延半导体设备浙江有限公司，
类型：新型
国别省市：