冷却设备和冷却系统技术方案

本实用新型专利技术提供冷却设备和冷却系统。冷却设备包括：壳体，形成有真空腔体；冷却目标放置台，设置在真空腔体内、且连接壳体，冷却目标放置台具有用于放置冷却目标的放置面；第一冷却装置，设置在真空腔体内，第一冷却装置连接壳体，第一冷却装置具有第一冷却面，第一冷却面与放置面相对设置；当放置面上放置有冷却目标时，第一冷却面与冷却目标之间具有间距；以及第二冷却装置，设置在真空腔体内，第二冷却装置连接壳体，第二冷却装置具有第二冷却面，第二冷却面与放置面相背设置；当放置面上放置有冷却目标时，第二冷却面与冷却目标之间具有间距；其中，第一冷却装置包括冷却板，冷却板包括基板层和喷砂层，喷砂层设置在基板层的表面。喷砂层设置在基板层的表面。喷砂层设置在基板层的表面。

【技术实现步骤摘要】
冷却设备和冷却系统


[0001]本技术涉及半导体生产
，尤其涉及一种冷却设备和一种冷却系统。

技术介绍

[0002]有机发光二极管(Organic Light
‑
Emitting Diode，OLED)显示技术较之当前主流的液晶显示技术，近年来逐渐在智能手机和平板电脑等移动设备、智能手表等柔性可穿戴设备、大尺寸曲面电视、白光照明设备等领域普及，发展势头强劲。OLED等产品在生产过程中需要对其进行冷却降温，在真空环境下，现有冷却技术通常使用冷却板与冷却目标接触贴合的方式进行冷却，在贴合过程中冷却板容易损伤和污染产品，在冷却板与冷却目标的贴合、分离过程中，冷却板和冷却目标之间会产生静电以及静电吸附力，大量静电会击穿产品电路，导致产品报废。此外，由于冷却设备体积有限，导致了冷却板的冷却面积受到限制，因而影响了冷却设备的冷却效果。

技术实现思路

[0003]为了改善以上的至少部分缺点或不足，本技术的实施例提供一种冷却设备和一种冷却系统。
[0004]具体地，一方面，本技术实施例提供的一种冷却设备，包括：壳体，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种冷却设备(100)，其特征在于，包括：壳体(10)，形成有真空腔体(101)；冷却目标放置台(20)，设置在所述真空腔体(101)内、且连接所述壳体(10)，所述冷却目标放置台(20)具有用于放置冷却目标(22)的放置面(21)；第一冷却装置(30)，设置在所述真空腔体(101)内，所述第一冷却装置(30)连接所述壳体(10)，所述第一冷却装置(30)具有第一冷却面(31)，所述第一冷却面(31)与所述放置面(21)相对设置；当所述放置面(21)上放置有所述冷却目标(22)时，所述第一冷却面(31)与所述冷却目标(22)之间具有间距(a)；以及第二冷却装置(30a)，设置在所述真空腔体(101)内，所述第二冷却装置(30a)连接所述壳体(10)，所述第二冷却装置(30a)具有第二冷却面(31a)，所述第二冷却面(31a)与所述放置面(21)相背设置；当所述放置面(21)上放置有所述冷却目标(22)时，所述第二冷却面(31a)与所述冷却目标(22)之间具有间距(a)；其中，所述第一冷却装置(30)包括冷却板(32)，所述冷却板(32)包括基板层和喷砂层，所述喷砂层设置在所述基板层的表面。2.如权利要求1所述的冷却设备(100)，其特征在于，所述间距(a)的范围为100毫米～150毫米。3.如权利要求1所述的冷却设备(100)，其特征在于，还包括：进管接口(41)和出管接口(42)，所述进管接口(41)和所述出管接口(42)设置在所述壳体(10)远离所述真空腔体(101)的一侧；所述冷却板(32)内设置有管道，所述管道用于通过冷却介质，所述管道设置有进口(321)和出口(322)，所述进口(321)与所述进管接口(41)连接，所述出口(322)与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张正龙，姚向阳，
申请(专利权)人：马鞍山市安马电子设备实业有限公司，
类型：新型
国别省市：