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利用硅纳米颗粒制备高纯多晶硅的方法及装置制造方法及图纸

技术编号:3861256 阅读:274 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种利用硅纳米颗粒制备高纯多晶硅的方法,使硅纳米颗粒从原料腔进入熔化腔,加热熔化腔内的硅纳米颗粒使其熔融形成硅熔体,硅熔体从熔化腔流出后冷却凝固成块状多晶硅。本发明专利技术还公开了实施该方法的装置包括带有真空管路接口的壳体,壳体内设有:带有进口和出口的熔化腔,用于对熔化腔内物料加热的加热装置;和位于熔化腔出口下方的收集装置。本发明专利技术技术方案在保证多晶硅料的纯度的情况下,显著降低多晶硅料的制备成本;不仅可以制备多晶硅料,而且可以把传统上分离的多晶硅料制备和多晶硅铸造集成起来,显著地简化工艺,提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体材料制备领域,尤其一种通过硅纳米颗粒制备高纯 多晶硅的方法及装置。
技术介绍
随着全球经济的发展,能源的消耗急剧增长。在当前,绝大多数能源 是通过燃烧化石燃料获得的。化石燃料的巨量使用所导致的大量二氧化碳 等气体排放正在造成日益严重的社会环境问题。因此,各种可再生能源的 开发利用受到了国际社会越来越大的重视。在各种可再生能源中,太阳能 以其取之不尽、用之不竭、无污染、便利等特点成为了重点发展的对象。太阳能的利用主要包括光热和光伏两大类,其中光伏发电以其高效、系统 简洁、长寿命、维护简单而备受青睐,成为了太阳能利用的主流技术。在 各国政府的政策支撑下,全球太阳能光伏产业在过去的十年里保持了高速 增长。太阳能光伏产业已经被认为是继微电子产业之后驱动全球经济发展 最主要的产业之一。太阳能光伏产业中的核心是太阳电池。目前,90%以上的太阳电池是 利用硅材料来制造的。太阳能光伏产业对制造太阳电池的原料-多晶硅的 纯度要求是99.9999% (6N)及以上。必须注意到,多晶硅也是微电子产 业的基础原料。不过,微电子产业对多晶硅的纯度要求更高(至少是 99.9999999% 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种利用硅纳米颗粒制备高纯多晶硅的方法,其特征在于,使硅纳米颗粒从原料腔进入熔化腔,加热熔化腔内的硅纳米颗粒使其熔融形成硅熔体,硅熔体从熔化腔流出后冷却凝固成块状多晶硅。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:皮孝东杨德仁韩庆荣
申请(专利权)人:浙江大学韩庆荣
类型:发明
国别省市:86[中国|杭州]

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