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利用硅纳米颗粒制备高纯多晶硅的方法及装置制造方法及图纸
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文档序号:3861256
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本发明公开了一种利用硅纳米颗粒制备高纯多晶硅的方法,使硅纳米颗粒从原料腔进入熔化腔,加热熔化腔内的硅纳米颗粒使其熔融形成硅熔体,硅熔体从熔化腔流出后冷却凝固成块状多晶硅。本发明还公开了实施该方法的装置包括带有真空管路接口的壳体,壳体内设有:...
该专利属于浙江大学;韩庆荣所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学;韩庆荣授权不得商用。
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