一种全自动去胶机及方法技术

本发明专利技术公开了一种全自动去胶机及方法，涉及到去胶机技术领域，包括机箱，机箱包括反应机体、上料机体，上料机体设置在反应机体一侧，上料机体内设置有上料平台，上料平台的一侧设置有两个花篮放置工位，上料机体的一侧设置有操作面板，上料机体与反应机体之间设置有使晶圆水平移动的横向移动机构，反应机体靠近上料机体的一侧设置有升降组件，升降组件设置有用来放置石英舟的放置架，反应机体内上下并排设置的两个反应组件，反应组件包括反应腔以及通过纵向移动将升降组件上石英舟移动至反应腔内的接片组件；本发明专利技术通过两个反应腔以及横向移动机构、升降组件、接片组件相互配合完成自动上下料的功能，避免人工上下料效率低下，存在安全隐患的问题。在安全隐患的问题。在安全隐患的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种全自动去胶机及方法


[0001]本专利技术涉及去胶机
，具体为一种全自动去胶机及方法。

技术介绍

[0002]等离子去胶机采用等离子去胶法，去胶气体为氧气，其工作原理是将硅片置于真空反应系统中，通入少量氧气，加1500V高压，由高频信号发生器产生高频信号，使石英管内形成强的电磁场，使氧气电离，形成氧离子、活化的氧原子、氧分子和电子等混合物的等离子体的辉光柱。活化氧(活泼的原子态氧)可以迅速地将聚酰亚胺膜氧化成为可挥发性气体，被机械泵抽走，这样就把硅片上的聚酰亚胺膜去除了。
[0003]现有技术中专利号为“202010712952.1”的一种等离子去胶机，包括机箱，所述机箱的内部由下至上依次设置有射频电源、加热板、放置组件和电离组件；所述机箱的左侧壁上设有用于对所述机箱内部进行抽真空的抽真空组件，所述机箱的右侧壁设有用于对所述机箱内产生的热气流进行循环的过滤循环组件，所述机箱的顶部设有用于与所述电离组件内部供气的供气组件，采用上述的结构和设计，一方面解决了加热不均匀会导致去胶效果差，另一方面由于电离过程中产生大量高能活性粒子会造成对圆片表面进行损伤的问题，进而提高了等离子去胶机的实用性，但该去胶机只有一个反应腔，每次能加工的晶圆数很少，并且在使用时需要人工将待去胶产品放入真空去胶室内，去胶完成后再取出，过于依赖人工操作，效率较低，且人工长时间的操作存在安全隐患，因此需要一种全自动去胶机及方法。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的大多数去胶机只有一个反应腔，且每次能加工的晶圆数很少，在使用时需要人工将待去胶产品放入真空去胶室内，去胶完成后再取出，过于依赖人工操作，效率较低，自动化程度底，且人工长时间的操作存在安全隐患的问题，本专利技术以下列技术结构解决此问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
[0006]一种全自动去胶机，包括机箱，所述机箱包括反应机体、上料机体，所述上料机体设置在反应机体一侧；
[0007]所述上料机体内设置有上料平台，所述上料平台的一侧设置有两个花篮放置工位，所述上料机体的一侧设置有操作面板；
[0008]所述上料机体与反应机体之间设置有使晶圆水平移动的横向移动机构，所述反应机体靠近上料机体的一侧设置有升降组件，所述升降组件设置有用来放置石英舟的放置架；
[0009]所述反应机体内上下并排设置的两个反应组件，所述反应组件包括反应腔以及通过纵向移动将升降组件上石英舟移动至反应腔内的接片组件。
[0010]其进一步特征在于，
[0011]所述横向移动机构包括横向移动板、夹持组件和举升晶圆的举升组件，所述横向移动板竖直安装在反应机体和上料平台之间，所述上料机体靠近横向移动板的一侧横向设置有多个滑动轨道，所述横向移动板安装有多个分别与对应滑动轨道适配的滑动卡块，所述上料机体设置有驱动横向移动板横向移动的驱动组件，所述夹持组件安装在横向移动板靠近上料平台一侧的上半部，所述举升组件安装在横向移动板靠近上料平台一侧的下半部。
[0012]所述夹持组件包括夹持仓、两个活动夹板，所述夹持仓41内腔两侧均开设有多个晶圆槽，所述夹持仓安装在横向移动板一侧，两个活动夹板分别设置在夹持仓两侧，所述夹持仓两侧均开设有两个活动槽，所述活动夹板靠近夹持仓一侧的底端设置有两个与活动槽匹配的夹持板，两个所述活动夹板的顶端均设置有转轴，所述转轴与夹持仓转动连接，所述夹持仓远离活动夹板的一侧设置有驱动转轴转动的气缸。
[0013]所述举升组件包括举升平台、举升电机、举升板组件、举升丝杠，所述举升平台的一侧安装在横向移动板上，所述举升板组件活动安装在举升平台内，所述举升板组件两侧与举升平台的两侧板贴合，所述上料平台上开设有适配举升板组件活动的举升孔,两个所述花篮放置工位处均开设有适配举升板组件活动的通孔，所述举升丝杠竖直安装在举升平台上，所述举升丝杠与举升板组件的底板螺纹连接，所述举升电机安装在举升平台底面，所述举升电机输出端与举升丝杠同轴连接。
[0014]所述举升板组件包括两个晶圆举升板，两个所述晶圆举升板平行安装。
[0015]所述驱动组件包括皮带轮组件、驱动电机，所述皮带轮组件横向设置在上料机体一侧，所述驱动电机安装在上料机体上，所述驱动电机驱动皮带轮组件运行，所述横向移动板的底端设置有连接件，所述连接件与皮带轮组件的皮带一处固定连接。
[0016]所述升降组件还包括安装板、升降丝杠、升降电机，所述安装板安装在反应机体一侧，所述安装板开设有安装槽，所述升降丝杠转动安装在安装槽内，所述放置架滑动安装在安装板一侧，所述放置架一侧设置有滑块，所述滑块滑动安装在安装槽内，所述滑块与升降丝杠螺纹连接，所述升降电机安装在安装板上，所述升降电机的输出端与升降丝杠同轴连接，所述放置架一侧设置有两个支撑杆，两个所述支撑杆顶面均开设有与石英舟匹配的放置槽。
[0017]所述接片组件包括支架、L型活动板、接片丝杠、接片电机和连接块，所述支架安装在反应机体内，所述L型活动板通过滑轨滑动安装在支架一侧，所述接片丝杠转动安装在支架上，所述接片电机安装在支架上，所述接片电机驱动接片丝杠转动，所述连接块套设在接片丝杠上并与接片丝杠螺纹连接，所述连接块一侧安装在L型活动板上。
[0018]所述L型活动板一侧设置有腔门，所述腔门与反应腔适配，所述腔门靠近反应腔的一侧设置有与石英舟匹配的石英舟架。
[0019]所述一种全自动去胶机的一种去胶方法，步骤包括：
[0020]S1：所述横向移动机构移动至花篮放置工位处，同时所述升降组件的放置架向下移动至最低端；
[0021]S2：所述横向移动机构将花篮放置工位处晶圆移动至放置架上；
[0022]S3：所述横向移动机构返回至花篮放置工位处，同时放置架携带晶圆向上移动；
[0023]S4：所述接片组件向外移动至放置架正下方；
[0024]S5：所述放置架向下移动，放置架上的晶圆转移至接片组件中；
[0025]S6：所述放置架向上移动离开接片组件；
[0026]S7：所述接片组件复位，晶圆进入反应腔；
[0027]S8：所述反应腔对晶圆进行去胶；
[0028]S9：晶圆去胶完成后，上述步骤逆向进行，将已经去胶的晶圆重新放置到花篮放置工位处的花篮上。
[0029]采用本专利技术上述结构可以达到如下有益效果：
[0030](1)本装置在去胶时，只需将装满晶圆的花篮放置在花篮放置工位上，通过横向移动机构将一个花篮内的全部晶圆横向移动至反应腔处，然后经过升降组件将横向移动机构上的晶圆转移至放置架上的石英舟上，最后通过纵向移动的接片组件将升降组件上装有晶圆的石英舟移动至反应腔内，此时石英舟上的晶圆在该反应腔内进行去胶，当去胶完成后，接片组件向外侧移动，将石英舟以及去胶后的晶圆移动至反应腔外侧，再通过升降组件以及横向移动组件将去胶后的晶圆放置回原来的花篮内，通过横向移动机构、升降组件以及接片组件三轴运动的配合自动完成晶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种全自动去胶机，包括机箱(1)，其特征在于，所述机箱(1)包括反应机体(11)、上料机体(12)，所述上料机体(12)设置在反应机体(11)一侧；所述上料机体(12)内设置有上料平台(3)，所述上料平台(3)的一侧设置有两个花篮放置工位(31)，所述上料机体(12)的一侧设置有操作面板(2)；所述上料机体(12)与反应机体(11)之间设置有使晶圆水平移动的横向移动机构，所述反应机体(11)靠近上料机体(12)的一侧设置有升降组件(6)，所述升降组件(6)设置有用来放置石英舟的放置架(61)；所述反应机体(11)内上下并排设置的两个反应组件(7)，所述反应组件(7)包括反应腔(72)以及通过纵向移动将升降组件(6)上石英舟移动至反应腔(72)内的接片组件(71)。2.根据权利要求1所述的一种全自动去胶机，其特征在于：所述横向移动机构包括横向移动板(8)、夹持组件(4)和举升晶圆的举升组件(5)，所述横向移动板(8)竖直安装在反应机体(11)和上料平台(3)之间，所述上料机体(12)靠近横向移动板(8)的一侧横向设置有多个滑动轨道(121)，所述横向移动板(8)安装有多个分别与对应滑动轨道(121)适配的滑动卡块(81)，所述上料机体(12)设置有驱动横向移动板(8)横向移动的驱动组件(9)，所述夹持组件(4)安装在横向移动板(8)靠近上料平台(3)一侧的上半部，所述举升组件(5)安装在横向移动板(8)靠近上料平台(3)一侧的下半部。3.根据权利要求2所述的一种全自动去胶机，其特征在于：所述夹持组件(4)包括夹持仓(41)、两个活动夹板(42)，所述夹持仓(41)内腔两侧均开设有多个晶圆槽，所述夹持仓(41)安装在横向移动板(8)一侧，两个活动夹板(42)分别设置在夹持仓(41)两侧，所述夹持仓(41)两侧均开设有两个活动槽(411)，所述活动夹板(42)靠近夹持仓(41)一侧的底端设置有两个与活动槽(411)匹配的夹持板(421)，两个所述活动夹板(42)的顶端均设置有转轴(423)，所述转轴(423)与夹持仓(41)转动连接，所述夹持仓(41)远离活动夹板(42)的一侧设置有驱动转轴(423)转动的气缸(422)。4.根据权利要求2所述的一种全自动去胶机，其特征在于：所述举升组件(5)包括举升平台(51)、举升电机(52)、举升板组件(53)、举升丝杠(54)，所述举升平台(51)的一侧安装在横向移动板(8)上，所述举升板组件(53)活动安装在举升平台(51)内，所述举升板组件(53)两侧与举升平台(51)的两侧板贴合，所述上料平台(3)上开设有适配举升板组件(53)活动的举升孔(32),两个所述花篮放置工位(31)处均开设有适配举升板组件(53)活动的通孔，所述举升丝杠(54)竖直安装在举升平台(51)上，所述举升丝杠(54)与举升板组件(53)的底板螺纹连接，所述举升电机(52)安装在举升平台(51)底面，所述举升电机(52)输出端与举升丝杠(54)同轴连接。5.根据权利要求4所述的一种全自动去胶机，其特征在于：所述举升板组件(53)包括两个晶圆举升板(531)，两个所述晶圆举升板(531...

【专利技术属性】
技术研发人员：马东，李晓玲，
申请(专利权)人：无锡小迪电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：