一种适用于6英寸硅片背面粗糙化喷砂机制造技术

本实用新型专利技术属于喷砂机技术领域，尤其为一种适用于6英寸硅片背面粗糙化喷砂机，针对常用的喷砂机不便于对万向轮进行收放，导致喷砂机的灵活实用性较差的问题，现提出如下方案，其包括喷砂机本体与支撑箱体，所述支撑箱体固定安装在喷砂机本体的底部，所述支撑箱体的顶部内壁上转动安装有四个丝杆，四个丝杆的外侧螺纹套设有同一个移动板，移动板的底部四角均固定安装也有连接柱，连接柱的底部转动安装有万向轮。本实用新型专利技术结构设计合理，通过丝杆与移动板的螺纹传动以及主动齿轮与从动齿轮的配合，能够实现对万向轮的收放工作，使得喷砂机本体能够在稳定使用与灵活移动之间自由切换，灵活性较高。灵活性较高。灵活性较高。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于6英寸硅片背面粗糙化喷砂机


[0001]本技术涉及喷砂机
，尤其涉及一种适用于6英寸硅片背面粗糙化喷砂机。

技术介绍

[0002]喷砂机是采用压缩空气为动力，以形成高速喷射束将喷料(钢砂、石英砂、金刚砂、玻璃砂、树脂砂)高速喷射到需要处理的工件表面，使工件外表面的机械性能发生变化。由于喷料对工件表面具有冲击和切削作用，使工件的表面获得一定的清洁度和不同的粗糙度，工件表面的机械性能得到改善，因此提高了工件的抗疲劳性能，增加了工件表面和涂层间的附着力，延长了涂膜的耐久性，也有利于涂料的流平和装饰，喷砂处理能把工件表面的杂质、杂色及氧化层清除掉，同时使工件表面粗化，消除工件表面残余应力和提高工件表面硬度。
[0003]常用的喷砂机不便于对万向轮进行收放，导致喷砂机的灵活实用性较差，因此我们提出了一种适用于6英寸硅片背面粗糙化喷砂机用于解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决常用的喷砂机不便于对万向轮进行收放，导致喷砂机的灵活实用性较差的缺点，而提出的一种适用于6英寸硅片背面粗糙化喷砂机。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种适用于6英寸硅片背面粗糙化喷砂机，包括喷砂机本体与支撑箱体，所述支撑箱体固定安装在喷砂机本体的底部，所述支撑箱体的顶部内壁上转动安装有四个丝杆，四个丝杆的外侧螺纹套设有同一个移动板，移动板的底部四角均固定安装也有连接柱，连接柱的底部转动安装有万向轮，所述支撑箱体的顶部前侧内壁与顶部后侧内壁上均转动安装有竖轴，竖轴的外侧固定安装有主动齿轮，四个丝杆的外侧均固定安装有从动齿轮，位于同一水平轴上的主动齿轮与从动齿轮相互啮合。
[0007]优选的，所述竖轴的外侧固定安装有蜗轮，所述支撑箱体的前侧内壁上转动安装有同一个蜗杆，蜗杆与两个蜗轮相互啮合，支撑箱体的后侧内壁上固定安装有电机，电机的输出轴与蜗杆的后端固定连接。
[0008]优选的，所述蜗杆的外侧固定安装有转盘，转盘的外侧开设有多个卡槽，所述支撑箱体的底部开设有矩形通孔。
[0009]优选的，所述矩形通孔的侧壁上固定安装有安装板，安装板的底部固定安装有电动推杆，电动推杆的输出端上固定安装有连接板，连接板的顶部固定安装有卡板，卡板活动卡接在对应的卡槽内。
[0010]优选的，所述支撑箱体的底部内壁上固定安装有两个导向板，移动板滑动套设在导向板上。
[0011]优选的，所述支撑箱体的左右两侧内壁上均开设有滑动槽，所述移动板的左右两
侧均转动安装有滚动轮，滚动轮滚动连接在对应的滑动槽内。
[0012]本技术中，所述的一种适用于英寸硅片背面粗糙化喷砂机，通过启动电动推杆带动卡板向下运动，使得卡板脱离与转盘的卡接，解除对转盘的固定，启动电机，电机带动蜗杆转动，使得两个蜗轮转动，带动两个竖轴转动，在主动齿轮与从动齿轮的配合下，带动四个丝杆同时转动，使得移动板在导向板导向下向下运动，使得万向轮移出支撑箱体的内部，使得万向轮与地面接触，停止电机的工作，启动电动推杆带动卡板向上运动，使得卡板与转盘的内壁卡接，提高万向轮在使用时的稳定性，从而能够灵活的移动整个装置；
[0013]本技术结构设计合理，通过丝杆与移动板的螺纹传动以及主动齿轮与从动齿轮的配合，能够实现对万向轮的收放工作，使得喷砂机本体能够在稳定使用与灵活移动之间自由切换，灵活性较高。
附图说明
[0014]图1为本技术提出的一种适用于6英寸硅片背面粗糙化喷砂机的结构示意图；
[0015]图2为本技术提出的一种适用于6英寸硅片背面粗糙化喷砂机的剖视结构示意图；
[0016]图3为本技术提出的一种适用于6英寸硅片背面粗糙化喷砂机的A部分的结构示意图；
[0017]图4为本技术提出的一种适用于6英寸硅片背面粗糙化喷砂机的B部分的结构示意图；
[0018]图5为本技术提出的一种适用于6英寸硅片背面粗糙化喷砂机的C部分的结构示意图。
[0019]图中：1、喷砂机本体；2、支撑箱体；3、丝杆；4、移动板；5、导向板；6、万向轮；7、连接柱；8、滚动轮；9、竖轴；10、主动齿轮；11、从动齿轮；12、蜗轮；13、蜗杆；14、电机；15、转盘；16、卡槽；17、安装板；18、电动推杆；19、连接板；20、卡板。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0021]参照图1
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5，一种适用于6英寸硅片背面粗糙化喷砂机，包括喷砂机本体1与支撑箱体2，支撑箱体2固定安装在喷砂机本体1的底部，支撑箱体2的顶部内壁上转动安装有四个丝杆3，四个丝杆3的外侧螺纹套设有同一个移动板4，移动板4的底部四角均固定安装也有连接柱7，连接柱7的底部转动安装有万向轮6，支撑箱体2的顶部前侧内壁与顶部后侧内壁上均转动安装有竖轴9，竖轴9的外侧固定安装有主动齿轮10，四个丝杆3的外侧均固定安装有从动齿轮11，位于同一水平轴上的主动齿轮10与从动齿轮11相互啮合。
[0022]本技术中，竖轴9的外侧固定安装有蜗轮12，支撑箱体2的前侧内壁上转动安装有同一个蜗杆13，蜗杆13与两个蜗轮12相互啮合，支撑箱体2的后侧内壁上固定安装有电机14，电机14的输出轴与蜗杆13的后端固定连接，电机14的工作能够带动万向轮6进行竖直运动，实现对万向轮6的收放工作，能够灵活的移动整个装置。
[0023]本技术中，蜗杆13的外侧固定安装有转盘15，转盘15的外侧开设有多个卡槽16，支撑箱体2的底部开设有矩形通孔，卡槽16的设置为卡板20提供卡设位置，能够限制转盘15的转动，能够提高万向轮6在使用时的稳定性。
[0024]本技术中，矩形通孔的侧壁上固定安装有安装板17，安装板17的底部固定安装有电动推杆18，电动推杆18的输出端上固定安装有连接板19，连接板19的顶部固定安装有卡板20，卡板20活动卡接在对应的卡槽16内，卡板20的设置能够限制转盘15的转动，能够提高万向轮6在使用时的稳定性。
[0025]本技术中，支撑箱体2的底部内壁上固定安装有两个导向板5，移动板4滑动套设在导向板5上，导向板5的设置为移动板4的竖直运动起到导向作用。
[0026]本技术中，支撑箱体2的左右两侧内壁上均开设有滑动槽，移动板4的左右两侧均转动安装有滚动轮8，滚动轮8滚动连接在对应的滑动槽内，滚动轮8的设置能够减少移动板4与支撑箱体2侧壁的摩擦力，能够便于移动板的竖直运动。
[0027]本技术中，在使用时，通过支撑箱体2的底部放置在地面上，提高装置的稳定性，从而能够便于使用喷砂机本体1，当需要移动喷砂机本体1的时候，启动电动推杆18带动卡板20向下运动，使得卡板20脱离与转盘15的卡接，解除对转盘15的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于6英寸硅片背面粗糙化喷砂机，包括喷砂机本体(1)与支撑箱体(2)，其特征在于，所述支撑箱体(2)固定安装在喷砂机本体(1)的底部，所述支撑箱体(2)的顶部内壁上转动安装有四个丝杆(3)，四个丝杆(3)的外侧螺纹套设有同一个移动板(4)，移动板(4)的底部四角均固定安装也有连接柱(7)，连接柱(7)的底部转动安装有万向轮(6)，所述支撑箱体(2)的顶部前侧内壁与顶部后侧内壁上均转动安装有竖轴(9)，竖轴(9)的外侧固定安装有主动齿轮(10)，四个丝杆(3)的外侧均固定安装有从动齿轮(11)，位于同一水平轴上的主动齿轮(10)与从动齿轮(11)相互啮合。2.根据权利要求1所述的一种适用于6英寸硅片背面粗糙化喷砂机，其特征在于，所述竖轴(9)的外侧固定安装有蜗轮(12)，所述支撑箱体(2)的前侧内壁上转动安装有同一个蜗杆(13)，蜗杆(13)与两个蜗轮(12)相互啮合，支撑箱体(2)的后侧内壁上固定安装有电机(14)，电机(14)的输出轴与蜗杆(13)的后端固定连接。3.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：马东，李晓玲，
申请(专利权)人：无锡小迪电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：