一种高效的UV膜紫外线解胶装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种高效的UV膜紫外线解胶装置，包括：解胶机构；上料机构，所述上料机构固定连接于解胶机构的顶部；安装机构，所述安装机构固定连接于上料机构的顶部，所述安装机构包括固定板，所述固定板的顶部分别固定连接有支撑架和第一气缸，所述支撑架的表面固定连接有限位件，所述第一气缸的活塞杆固定连接有夹具，所述固定板的底部固定连接有第二气缸。本实用具备高效的优点，解决了现有的UV膜紫外线解胶装置在使用的过程中，不便于对需要解胶的晶圆片进行夹持固定，容易导致晶圆片在移动的过程中不稳定，不便于顶出解胶后的晶圆片，影响工作人员快速取出晶圆片，降低了解胶装置工作效率的问题。装置工作效率的问题。装置工作效率的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种高效的UV膜紫外线解胶装置


[0001]本技术涉及半导体芯片生产
，具体为一种高效的UV膜紫外线解胶装置。

技术介绍

[0002]UV解胶机是一种UV膜和切割膜胶带粘性降低和粘性解除的全自动化解胶设备。在半导体芯片生产工艺中，芯片划片之前，要将晶圆片用划片胶膜固定在框架上，在划片工艺完成后，用UV光对固定胶膜进行照射使UV胶膜粘性固化硬化，以降低划片固定膜的粘性，以便后续封装工序的顺利生产。UV胶带具有很强的粘合强度，在晶片研磨工艺或晶片切割工艺期间，胶带牢固地粘住晶片。当紫外线照射时，粘合强度变低。因此，在紫外线照射后晶圆或芯片很容易从粘胶带上面剥离脱落，UV解胶机解决了晶圆、玻璃和陶瓷切割工艺的解胶工序UV解胶机目前不仅局限于半导体封装行业，还适用于光学镜头、LED、IC、半导体、集成电路板、移动硬盘等半导体材料，玻璃滤光片等UV膜脱胶，UV胶带脱胶。
[0003]专利号为CN 213519893 U的一种UV膜解胶装置，通过增加晶圆片与放置板之间的缝隙，来方便工作人员拿出解胶后的晶圆片，增加解胶的效率，但是通过缝隙拿出晶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高效的UV膜紫外线解胶装置，其特征在于，包括：解胶机构(1)；上料机构(2)，所述上料机构(2)固定连接于解胶机构(1)的顶部；安装机构(3)，所述安装机构(3)固定连接于上料机构(2)的顶部，所述安装机构(3)包括固定板(301)，所述固定板(301)的顶部分别固定连接有支撑架(303)和第一气缸(305)，所述支撑架(303)的表面固定连接有限位件(304)，所述第一气缸(305)的活塞杆固定连接有夹具(306)，所述固定板(301)的底部固定连接有第二气缸(307)，所述第二气缸(307)的顶部延伸至固定板(301)的顶部并固定连接有推板(302)。2.根据权利要求1所述的一种高效的UV膜紫外线解胶装置，其特征在于：所述解胶机构(1)包括底座(101)，所述底座(101)的顶部固定连接有壳体(103)，所述壳体(103)的顶部固定连接有控制器(102)，所述壳体(103)内腔的顶部固定连接有紫外线灯(105)。3.根据权利要求2所述的一种高效的UV膜紫外线解...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵玉成，
申请(专利权)人：九奕半导体设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：