【技术实现步骤摘要】
本技术涉及取料机构，具体为一种芯片光刻机的光刻版取料机构。
技术介绍
1、光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等，是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到光刻版上；
2、申请人经过检索发现中国专利公开了“一种用于芯片制造的光刻机光刻版取料装”，其公开(公告)号为“cn214827074u”，该专利主要通过第一弹簧和放置移动板可将硅片固定，放置移动板和放置固定板可避免硅片的底端与刻制座相贴合，从而保证了硅片的正常使用，但是该装置需要人工手动取出光刻版，从而导致光刻版受到二次触碰，使其影响产品质量，为此，我们提出一种芯片光刻机的光刻版取料机构。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种芯片光刻机的光刻版取料机构。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：该芯片光刻机的光刻版取料机构，包括放置板，所述放置板的表面固定安装有光刻机本体、取料组件以及转动组件，所述取料组件包含真空泵、吸管以及吸盘，所述真空泵的底部固...
【技术保护点】
1.一种芯片光刻机的光刻版取料机构，包括放置板(1)，其特征在于：所述放置板(1)的表面固定安装有光刻机本体(2)、取料组件(3)以及转动组件(4)，所述取料组件(3)包含真空泵(31)、吸管(32)以及吸盘(33)，所述真空泵(31)的底部固定连接有支撑块(34)，所述吸管(32)的一端贯通连接于真空泵(31)的输入端，所述吸管(32)的另一端贯通连接于吸盘(33)的顶部。
2.根据权利要求1所述的一种芯片光刻机的光刻版取料机构，其特征在于：所述转动组件(4)包含伺服电机(41)、传动杆(42)以及转杆(43)，所述伺服电机(41)固定安装于机仓(44)
【技术特征摘要】
1.一种芯片光刻机的光刻版取料机构，包括放置板(1)，其特征在于：所述放置板(1)的表面固定安装有光刻机本体(2)、取料组件(3)以及转动组件(4)，所述取料组件(3)包含真空泵(31)、吸管(32)以及吸盘(33)，所述真空泵(31)的底部固定连接有支撑块(34)，所述吸管(32)的一端贯通连接于真空泵(31)的输入端，所述吸管(32)的另一端贯通连接于吸盘(33)的顶部。
2.根据权利要求1所述的一种芯片光刻机的光刻版取料机构，其特征在于：所述转动组件(4)包含伺服电机(41)、传动杆(42)以及转杆(43)，所述伺服电机(41)固定安装于机仓(44)的内部。
3.根据权利要求2所述的一种芯片光刻机的光刻版取料机构，其特征在于：所述伺服电机(41)的输出端花键连接于传动杆(42)的一端，所述传动杆(4...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵玉成，
申请(专利权)人：九奕半导体设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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