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本技术公开了一种芯片光刻机的光刻版取料机构，本技术涉及取料机构技术领域，包括放置板，放置板的表面固定安装有光刻机本体、取料组件以及转动组件，取料组件包含真空泵、吸管以及吸盘，真空泵的底部固定连接有支撑块，吸管的一端贯通连接于真空泵的输入端，...
该专利属于九奕半导体设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过九奕半导体设备（上海）有限公司授权不得商用。

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