石英舟槽棒的抛光设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种石英舟槽棒的抛光设备，包括工作台、X轴滑动机构、两个夹装机构、旋转驱动机构、抛光喷枪及槽棒支撑托组，工作台上沿X轴方向安装有两个相对应支撑台和槽棒支撑托组，两个夹装机构分别通过转轴分别安装在两个支撑台上；旋转驱动机构安装在工作台上，旋转驱动机构分别与两个安装夹装机构的转轴连接，所述任意一个转轴连接驱动电机；X轴滑动机构安装在工作台上，喷枪移动机构上安装喷枪支撑结构，抛光喷枪通过手动转盘安装在喷枪支撑结构上，抛光喷枪对应槽棒。本新型夹装机构能驱动夹装机构旋转的旋转驱动机构，达到槽棒旋转的目的，配合X轴滑动机构上的抛光喷枪一次性完成槽棒表面轴向以及圆周面的抛光。次性完成槽棒表面轴向以及圆周面的抛光。次性完成槽棒表面轴向以及圆周面的抛光。

【技术实现步骤摘要】
石英舟槽棒的抛光设备


[0001]本技术涉及石英舟加工
，具体涉及一种石英舟槽棒的抛光设备。

技术介绍

[0002]石英舟是一种含二氧化硅物质，广泛应用于电光源、半导体、光学新技术等方面，槽棒是石英舟产品的重要组成部分，在组装石英舟成品前需要对每一根槽棒进行抛光处理。传统的槽棒抛光技术是人工使用喷枪对槽棒进行不停地翻转抛光，耗费大量人力和时间成本，而目前为避免人工手动抛光弊端，开始利用三轴联动设备或者机械手臂模拟人工对槽棒的抛光轨迹对槽棒进行抛光。由于槽棒抛光是针对槽棒柱体表面360
°
进行抛光，而无论是现有的抛光设备采用的三轴联动设备或者机械手臂安装氢氧火焰枪都无法直接对整个槽棒柱体一次性抛光，抛光范围在180
°
左右，始终无法对槽棒与槽棒支撑面进行抛光，故每次对槽棒半个圆柱面抛光后，对槽棒翻转180
°
再对另一半面进行抛光，然而这种方式两个抛光半面的交界处存在抛光盲点或盲区，抛光度不是非常完美，若对两个板面交界处进行抛光，总是会出现新的两次抛光板面交接盲区，始终无法保证同一个槽棒的抛光度。

技术实现思路

[0003]针对上述问题，本技术提出一种石英舟槽棒的抛光设备，采用喷枪相对固定，槽棒翻转方式，对石英舟槽棒一次性进行全方位无死角的抛光。
[0004]为实现以上目的，采用以下技术方案：石英舟槽棒的抛光设备，包括工作台、X轴滑动机构、两个夹装机构、旋转驱动机构、抛光喷枪及槽棒支撑托组，所述的工作台上沿X轴方向安装有两个相对应的支撑台，并且还安装有槽棒支撑托组，所述的槽棒支撑托组位于两个支撑台之间，所述的两个夹装机构分别通过转轴分别安装在两个支撑台上，且两个夹装机构相对应；所述的旋转驱动机构安装在工作台上，旋转驱动机构分别与两个安装夹装机构的转轴连接，所述的任意一个转轴连接驱动电机；所述的X轴滑动机构安装在工作台上，喷枪移动机构上安装喷枪支撑结构，所述的抛光喷枪通过手动转盘安装在喷枪支撑结构上，所述的抛光喷枪对应两个夹装机构的中心连线。
[0005]进一步地，夹装机构为气动三爪卡盘。
[0006]进一步地，槽棒支撑托组由若干个槽棒支撑托组成，以减少槽棒与槽棒支撑托的接触面，所述的若干个槽棒支撑托沿X轴方向均匀地安装在工作台上，所述的两个夹装机构的中心高于所述工件的中心0.5
‑
1mm，用于夹装机构夹装槽棒时，槽棒与槽棒支撑托的接触面有间隙。
[0007]进一步地，槽棒支撑托的托面为V型槽面。
[0008]进一步地，喷枪支撑结构包括支撑柱和支撑梁，所述的抛光喷枪通过手动转盘安装在支撑梁上，保证抛光喷枪位于槽棒的抛光位置，手动转盘用于调整抛光喷枪的抛光角度。
[0009]进一步地，抛光喷枪的喷射方向垂直于两个夹装机构的中心连线，保证抛光喷枪
的火焰对槽棒均匀地抛光。
[0010]进一步地，支撑柱上安装Z轴滑动机构，所述的支撑梁安装在Z轴滑动机构上，用于调整抛光喷枪的高度。
[0011]进一步地，旋转驱动机构包括传动轴和传动组件，所述的传动轴沿X轴方向通过轴承座安装在工作台上，所述的传动轴分别通过两组传动组件与两个安装夹装机构的转轴连接。
[0012]进一步地，传动组件包括传动皮带和皮带轮，所述的传动轴和两个安装夹装机构的转轴都安装皮带轮，传动轴和两个安装夹装机构的转轴通过传动皮带和皮带轮连接。
[0013]本技术有益效果：本技术在槽棒支撑托两侧设计一组对于槽棒的夹装机构，并且设计能驱动夹装机构旋转的旋转驱动机构，达到槽棒旋转的目的，配合X轴滑动机构上的抛光喷枪一次性完成槽棒表面轴向以及圆周面的抛光。而且设计手动转盘用于对抛光喷射角度调整，以及在高度方向上设计Z轴滑动机构用于调节抛光喷枪的高度，达到控制抛光精度目的。
附图说明
[0014]图1为本技术的结构示意图；
[0015]图2为本技术的另一视角的结构示意图。
[0016]如图所示：1、工作台；2、X轴滑动机构；3、Z轴滑动机构；4、夹装机构；5、抛光喷枪；6、传动轴；7、传动皮带；8、皮带轮；9、支撑柱；10、支撑梁；11、槽棒支撑托；12、支撑台；13、轴承座；14、手动转盘；15、槽棒。
具体实施方式
[0017]实施例1
[0018]下面结合附图进一步说明，图1
‑
2为本例的示意图，如图所示的一种石英舟槽棒的抛光设备，包括工作台1、X轴滑动机构2、Z轴滑动机构3、两个夹装机构4、旋转驱动机构、抛光喷枪5、喷枪支撑结构及槽棒支撑托组,
[0019]X轴滑动机构2和Z轴滑动机构3都采用电动直线导轨装置；
[0020]夹装机构4采用气动三爪卡盘；
[0021]旋转驱动机构由传动轴6和传动组件实现对夹装机构4的旋转驱动，传动组件采用传动皮带7和皮带轮8组合传动方式；
[0022]抛光喷枪5采用氢氧火焰喷枪；
[0023]喷枪支撑结构由支撑柱9和支撑梁10组成；
[0024]槽棒支撑托组采用若干个托面为V型槽面的槽棒支撑托11组成；
[0025]工作台1上沿X轴方向安装有两个相对应支撑台12和槽棒支撑托组，槽棒支撑托组位于两个支撑台12之间，槽棒支撑托组的若干个槽棒支撑托11沿X轴方向均匀地安装在工作台1上。两个夹装机构4分别通过转轴分别安装在两个支撑台12上，且两个夹装机构4相对应，两个夹装机构4的中心高于槽棒15的中心0.5
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1mm。旋转驱动机构安装在工作台1上，其中传动轴6沿X轴方向通过轴承座13安装在工作台1上，传动轴6和两个安装夹装机构4的转轴都安装皮带轮8，传动轴6和两个安装夹装机构4的转轴通过传动皮带7和皮带轮8连接，任
意一个转轴连接驱动电机，本例驱动电机和转轴都在支撑台12内部，故视图中1
‑
2中并未给出驱动电机和转轴以及安装在转轴上的皮带轮的标注。
[0026]X轴滑动机构2安装在工作台1上，支撑结构的支撑柱9安装在X轴滑动机构2上，支撑柱9上安装Z轴滑动机构3，支撑梁10安装在Z轴滑动机构3上，抛光喷枪5通过手动转盘14安装在支撑梁10上，抛光喷枪5的喷射方向垂直于两个夹装机构4的中心连线即槽棒15的位置。
[0027]实施例2
[0028]基于实施例1的石英舟槽棒的抛光设备，驱动电机采用伺服电机，X轴滑动机构2和Z轴滑动机构3均采用电动直线滑台，夹装机构4采用气动三爪卡盘，抛光喷枪5采用氢氧火焰喷枪并在氢氧火焰喷枪上集成Burner模块，伺服电机、气动三爪卡盘、电动直线滑台及Burner模块均连接到控制中心，实现数控化控制，抛光前提前录入抛光参数。
[0029]工作原理：将槽棒15放置在槽棒支撑托11上，夹装机构4收到控制系统指令将槽棒15两端夹紧，由于夹装机构4的与槽棒15有0.5
‑
1mm高度差，槽棒15会与槽棒支撑托11的托面有间隙，X轴滑动机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.石英舟槽棒的抛光设备，包括工作台(1)、X轴滑动机构(2)、两个夹装机构(4)、旋转驱动机构、抛光喷枪(5)及槽棒支撑托组，其特征在于，所述的工作台(1)上沿X轴方向安装有两个相对应的支撑台(12)，并且还安装有槽棒支撑托组，所述的槽棒支撑托组位于两个支撑台(12)之间，所述的两个夹装机构(4)分别通过转轴分别安装在两个支撑台(12)上，且两个夹装机构(4)相对应；所述的旋转驱动机构安装在工作台(1)上，旋转驱动机构分别与两个安装夹装机构(4)的转轴连接，所述的任意一个转轴连接驱动电机；所述的X轴滑动机构(2)安装在工作台(1)上，喷枪移动机构上安装喷枪支撑结构，所述的抛光喷枪(5)通过手动转盘(14)安装在喷枪支撑结构上，所述的抛光喷枪(5)对应两个夹装机构(4)的中心连线。2.根据权利要求1所述的石英舟槽棒的抛光设备，其特征在于，所述的夹装机构(4)为气动三爪卡盘。3.根据权利要求1所述的石英舟槽棒的抛光设备，其特征在于，所述的槽棒支撑托组由若干个槽棒支撑托(11)组成，用于撑托槽棒(15)，若干个槽棒支撑托(11)沿X轴方向均匀地安装在工作台(1)上，所述的两个夹装机构(4)的中心高于所述槽棒(15)的中心0.5
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【专利技术属性】
技术研发人员：张君卿，高闯，
申请(专利权)人：大连晶博半导体材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：