温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种石英舟槽棒的抛光设备，包括工作台、X轴滑动机构、两个夹装机构、旋转驱动机构、抛光喷枪及槽棒支撑托组，工作台上沿X轴方向安装有两个相对应支撑台和槽棒支撑托组，两个夹装机构分别通过转轴分别安装在两个支撑台上；旋转驱动机构安装在...
该专利属于大连晶博半导体材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连晶博半导体材料科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。