搬送装置及成膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种在串联式的成膜装置中使用的搬送装置中，即使在搬送路径中存在方向转换的情况下也能够使搬送体移动用的技术。使用对搬送体进行搬送的搬送装置，其具备对搬送体进行搬送的多个搬送辊、对多个搬送辊进行驱动的驱动机构、设有多个搬送辊和驱动机构的旋转台、以及使旋转台转动以便切换多个搬送辊沿着第一方向排列的状态和多个搬送辊沿着与第一方向交叉的第二方向排列的状态的转动机构，驱动机构配置于在旋转台设置的大气箱的内部。动机构配置于在旋转台设置的大气箱的内部。动机构配置于在旋转台设置的大气箱的内部。

【技术实现步骤摘要】
搬送装置及成膜装置


[0001]本专利技术涉及搬送装置及使用了该搬送装置的成膜装置。

技术介绍

[0002]使用有机EL显示装置、液晶显示装置等平板显示装置。例如有机EL显示装置包含多层结构的有机EL元件，该多层结构的有机EL元件在两个面对的电极之间形成有功能层，该功能层具有引起发光的有机物层即发光层。有机EL元件的功能层、电极层在成膜装置的腔室内，通过使成膜材料经由掩模附着于玻璃等基板而形成。作为成膜装置的一例，存在串联式的成膜装置。串联式的成膜装置是将多个腔室自始至终为真空地连结，基板在腔室间一边移动一边被成膜的装置。通过在串联式的成膜装置设置多个成膜腔室，能够在基板上依次进行成膜，制作多层结构的有机EL元件。
[0003]在专利文献1(日本特开2020
‑
094263号公报)中，公开了具有串联式的结构的成膜装置。专利文献1的装置通过搬送辊来搬送掩模、基板载架等搬送体。
[0004]【现有技术文献】
[0005]【专利文献】
[0006]【专利文献1】日本特开2020
‑
094263号公报

技术实现思路

[0007]【专利技术要解决的课题】
[0008]然而，在专利文献1中，未公开在搬送路径中发生搬送体的方向转换的情况下如何使搬送体移动的具体例。
[0009]本专利技术鉴于上述课题而作出，其目的在于提供一种在串联式的成膜装置使用的搬送装置中，即使在搬送路径中存在方向转换的情况下也能够使搬送体移动用的技术。
[0010]【用于解决课题的方案】
[0011]本专利技术采用以下的结构。即，
[0012]一种搬送装置，所述搬送装置对搬送体进行搬送，其特征在于，具备：
[0013]多个搬送辊，所述多个搬送辊对搬送体进行搬送；
[0014]驱动机构，所述驱动机构对所述多个搬送辊进行驱动；
[0015]旋转台，所述旋转台设有所述多个搬送辊和所述驱动机构；及
[0016]转动机构，所述转动机构使所述旋转台转动，以切换所述多个搬送辊沿着第一方向排列的状态和所述多个搬送辊沿着与所述第一方向交叉的第二方向排列的状态，
[0017]所述驱动机构配置于在所述旋转台设置的大气箱的内部。
[0018]本专利技术还采用以下的结构。即，
[0019]一种成膜装置，所述成膜装置具备搬送装置和成膜源，该搬送装置对保持基板的基板载架和掩模进行搬送，该成膜源经由所述掩模对所述基板进行成膜，所述成膜装置通过所述搬送装置在多个腔室的内部搬送所述基板载架及所述掩模，其特征在于，
[0020]所述多个腔室包括第一旋转室和第二旋转室，该第一旋转室将载置有向第一方向搬入的所述基板载架的所述掩模向第一旋转方向旋转而搬出，该第二旋转室将载置有从所述第一旋转室搬出的所述基板载架的所述掩模向与所述第一旋转方向相反的第二旋转方向旋转而向与所述第一方向不同的第二方向搬出。
[0021]【专利技术效果】
[0022]根据本专利技术，能够提供一种在串联式的成膜装置使用的搬送装置中，即使在搬送路径中存在方向转换的情况下也能够使搬送体移动用的技术。
附图说明
[0023]图1是表示成膜装置的结构的示意性的俯视图。
[0024]图2是说明基板载架对基板的支承的图。
[0025]图3是说明基板载架和掩模的安装的图。
[0026]图4是表示具有旋转台的腔室的结构的示意性的剖视图。
[0027]图5是表示具有旋转台的腔室的结构的示意性的俯视图。
[0028]图6是表示旋转台的旋转后的腔室的结构的示意性的俯视图。
[0029]图7是说明旋转台的旋转速度控制的坐标图。
[0030]图8是说明搬送体的腔室间的移动及旋转的图。
[0031]图9是说明搬送体的腔室间的移动及旋转的另一图。
[0032]图10是说明基板载架和掩模的搬入搬出的剖视图。
[0033]图11是说明基板载架和掩模的搬入搬出的剖视图的接续。
[0034]图12是说明基板载架和掩模的搬入搬出的剖视图的接续。
[0035]图13是表示大气箱的内部结构的剖视图。
[0036]图14是说明电子器件的结构的图。
[0037]【附图标记说明】
[0038]201：大气箱，210：掩模搬送辊，241：旋转驱动部，245：旋转台，280：驱动机构
具体实施方式
[0039]以下，详细说明本专利技术的实施方式。但是，以下的实施方式只不过例示性地表示本专利技术的优选结构，没有将本专利技术的范围限定为这些结构。而且，以下的说明中的装置的硬件结构及软件结构、处理流程、制造条件、尺寸、材质、形状等只要没有特别特定的记载，就不旨在将本专利技术的范围仅限定于此。
[0040]本专利技术适合于在基板等成膜对象物的表面通过蒸镀或溅射来形成成膜材料的薄膜的成膜装置中，对通过搬送辊搬送的搬送体的方向进行转换或者使搬送体的搬送路径分支时。本专利技术作为搬送装置、搬送方法、搬送装置的控制方法、成膜装置、成膜方法、成膜装置的控制方法而被掌握。本专利技术也可作为电子器件的制造装置或其控制方法、电子器件的制造方法而被掌握。本专利技术还可作为使计算机执行成膜方法或控制方法的程序、保存有该程序的存储介质而被掌握。存储介质可以是能够通过计算机读取的非暂时性的存储介质。
[0041]本专利技术能够优选应用于在作为被成膜对象的基板的表面经由掩模形成所希望的图案的薄膜的成膜装置。作为基板的材料，可以利用玻璃、树脂、金属、硅等任意的材料。作
为成膜材料，可以利用有机材料、无机材料(金属、金属氧化物)等任意的材料。需要说明的是，以下的说明中的“基板”包含在基板材料的表面已经进行了一个以上的成膜的结构。本专利技术的技术典型地应用于电子器件、光学构件的制造装置。特别适合于具备有机EL元件的有机EL显示器、使用了该有机EL显示器的有机EL显示装置等有机电子器件。本专利技术还可以利用于薄膜太阳能电池、有机CMOS影像传感器。但是，本专利技术的应用对象并不局限于此，可以广泛利用于在真空腔室设置大气箱的装置。
[0042][装置结构][0043](成膜装置)
[0044]图1是表示实施例的制造有机EL显示器的串联式的成膜装置500的结构的示意性的俯视图。有机EL显示器通常经由形成电路元件的电路元件形成工序、在基板上形成有机发光元件的有机发光元件形成工序、在形成的有机发光层上形成保护层的密封工序来制造。实施例的成膜装置500主要进行有机发光元件形成工序。
[0045]成膜装置500具备基板搬入室501、载架搬入室502、汇合室503、通路室504、翻转室505、掩模装入室510、对准室511、缓冲室512、成膜室520、缓冲室521、旋转室522、缓冲室523、旋转室524、缓冲室525、成膜室526、缓冲室530、载架分离室531、载架分离室532、掩模搬出室533、掩模搬入室534、掩模交接室535、翻转室540、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种搬送装置，所述搬送装置对搬送体进行搬送，其特征在于，具备：多个搬送辊，所述多个搬送辊对搬送体进行搬送；驱动机构，所述驱动机构对所述多个搬送辊进行驱动；旋转台，所述旋转台设有所述多个搬送辊和所述驱动机构；及转动机构，所述转动机构使所述旋转台转动，以切换所述多个搬送辊沿着第一方向排列的状态和所述多个搬送辊沿着与所述第一方向交叉的第二方向排列的状态，所述驱动机构配置于在所述旋转台设置的大气箱的内部。2.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，在转动开始之后，所述旋转台的旋转速度按照加速阶段、定速阶段、减速阶段的顺序被进行控制。3.根据权利要求2所述的搬送装置，其特征在于，在所述旋转台未载置所述搬送体时的所述定速阶段的旋转速度比在所述旋转台载置有所述搬送体时的所述定速阶段的旋转速度慢。4.根据权利要求1～3中任一项所述的搬送装置，其特征在于，所述搬送装置配置在腔室的内部，所述搬送装置还具有在所述腔室的顶面配置的多个拍摄机构。5.根据权利要求4所述的搬送装置，其特征在于，所述搬送装置还具有控制机构，该控制机构基于通过所述拍摄机构拍摄到的图像，对通过所述转动机构转动了所述旋转台之后的所述搬送体的位置偏离进行控制。6.根据权利要求4所述的搬送装置，其特征在于，在所述腔室的内部设有以所述多个搬送辊成为沿着所述第一方向排列的状态时和成为沿着所述第二方向排列的状态时的至少任一者时配置于所述多个搬送辊的延长线上的方式被固定的辊。7.根据权利要求1～3中任一项所述的搬送装置，其特征在于，所述搬送体是保持基板的基板载架与对所述基板进行成膜时使用的掩模的层叠体。8.根据权利要求7所述的搬送装置，其特征在于，所述搬送装置还具备保持所述基板载架而使所述基板载架从所述掩模分离的基板载架保持机构。9.根据权利要求8所述的搬送装置，其特征在于，所述多个搬送辊搬送所述掩模，所述搬送装置还具备第二搬送辊，该第二搬送辊对通过所述基板载架保持机构从所述掩模分离的所述基板载架进行搬送。10.根据权利要求9所述的搬送装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：住川谦，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：