本申请涉及半导体设备技术领域，公开了一种用于晶圆运转的锁止装置，包括支撑主体、设于支撑主体上且与推车架固定连接的承重管和设于支撑主体上且位于承重管一侧的控制电机；支撑主体背离承重管的一侧转接行走轮，行走轮的一侧设有同步齿，承重管内套设有锁止杆，锁止杆穿设过支撑主体且与支撑主体滑动连接，锁止杆面向同步齿轮的一端，以及锁止杆面向控制电机的一侧分别设有锁止齿和控制齿，控制电机的输出端设有与控制齿啮合的动力齿，用于控制锁止杆上/下运动，锁止齿与同步齿啮合或保持有一定距离；承重管内设有至少一个弹性件，弹性件分别与承重管和锁止杆抵接的。本申请便捷快速锁止晶圆运转推车，提高晶圆运转的效率和安全性。安全性。安全性。
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆运转的锁止装置
[0001]本申请涉半导体设备
，具体涉及一种用于晶圆运转的锁止装置。
技术介绍
[0002]在半导体制造工艺中，用于晶圆运转的推车结构一般由推车架和行走轮组成，并通过人工控制驱动，在人松手或不锁定行走轮情况下，推车易失去控制而溜车，造成晶圆损失，存在极大的安全风险。现有技术中的推车行走轮不能自锁，要用脚踩到两个及以上的刹车按钮带动刹车片摩擦轮子才能完全锁住，十分不方便，在生产中时有忘记给行走轮上锁，而导致推车溜车的现象，在这种背景下，如何设计一种针对推车的锁止装置，能够快捷有效的锁止推车，无疑会极大的提高晶圆运转的效率和安全性。
技术实现思路
[0003]本申请提供一种用于晶圆运转的锁止装置，实现便捷快速锁止晶圆运转推车的目的，提高晶圆运转的效率和安全性。
[0004]为实现以上技术目的，采用的技术方案为：
[0005]一种用于晶圆运转的锁止装置，应用于晶圆运转推车，所述晶圆运转推车包括推车架和设于所述推车架上的行走轮，所述锁止装置包括支撑主体、设于所述支撑主体上且与所述推车架固定连接的承重管以及设于所述支撑主体上且位于所述承重管一侧的控制电机；所述支撑主体背离所述承重管的一侧转接所述行走轮，所述行走轮的一侧设有同步齿，所述承重管内套设有锁止杆，所述锁止杆穿设所述支撑主体且与所述支撑主体滑动连接，所述锁止杆面向所述同步齿轮的一端，以及所述锁止杆面向所述控制电机的一侧分别设有锁止齿和控制齿，所述控制电机的输出端设有与所述控制齿啮合的动力齿，用于控制所述锁止杆上/下运动，所述锁止齿与所述同步齿啮合或保持有一定距离；所述承重管内设有至少一个弹性件，所述弹性件分别与所述承重管和所述锁止杆抵接。
[0006]本申请进一步设置为：所述控制电机的一侧设有输出端口，所述输出端口电性连接有设于所述推车架上的控制开关。
[0007]本申请进一步设置为：所述控制开关包括电容式感应开关，所述电容式感应开关电性连接有供电电池。
[0008]本申请进一步设置为：还包括转向轴承，所述转向轴承设于所述支撑主体上并与所述承重管转接，所述锁止杆穿设所述转向轴承并与所述支撑主体滑动连接。
[0009]本申请进一步设置为：所述支撑主体背离所述承重管的一侧对称设有支架，所述支架通过转轴与所述行走轮转接。
[0010]本申请进一步设置为：所述同步齿与所述行走轮固定连接。
[0011]本申请进一步设置为：所述锁止杆背离所述锁止齿的一端设有滑动挡板，所述滑动挡板的外轮廓与所述承重管的内壁相匹配。
[0012]本申请进一步设置为：所述承重管的一端设有与所述推车架固定连接的安装座，
所述弹性件的两端分别与所述滑动挡板和所述安装座抵接。
[0013]本申请进一步设置为：所述支撑主体背离所述承重管的一侧一体连接有引导座，所述引导座与所述锁止杆相匹配。
[0014]本申请进一步设置为：所述锁止杆位于所述行走轮的一侧，且与所述承重管和所述弹性件同轴心设置。
[0015]综上所述，与现有技术相比，本申请公开了一种用于晶圆运转的锁止装置，应用于晶圆运转推车，包括支撑主体、承重管和控制电机，通过支撑主体承载锁止装置的各零部件并转接推车的行走轮，其中，行走轮的一侧设有同步齿，承重管内套设有锁止杆，锁止杆穿设过支撑主体且通过控制齿与控制电机的输出端的动力齿啮合，在弹性件分别与承重管和锁止杆抵接的前提下，控制电机驱动锁止杆上/下运动，进而使得锁止齿与同步齿啮合或保持有一定距离，以此实现便捷快速锁止晶圆运转推车的目的，提高晶圆运转的效率和安全性。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1是本实施例的用于晶圆运转的锁止装置的第一种结构示意图；
[0018]图2是本实施例的用于晶圆运转的锁止装置的第二种结构示意图；
[0019]图3是本实施例的用于晶圆运转的锁止装置的电连接示意图。
[0020]1、支撑主体；11、支架；12、转轴；13、引导座；2、承重管；21、锁止杆；22、锁止齿；23、控制齿；24、滑动挡板；25、安装座；3、控制电机；31、动力齿；32、输出端口；4、同步齿；5、弹性件；6、转向轴承；101、推车架；102、行走轮；103、控制开关。
具体实施方式
[0021]这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本申请相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本申请的一些方面相一致的装置和方法的例子。
[0022]需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素，此外，本申请不同实施例中具有同样命名的部件、特征、要素可能具有相同含义，也可能具有不同含义，其具体含义需以其在该具体实施例中的解释或者进一步结合该具体实施例中上下文进行确定。
[0023]应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0024]在后续的描述中，使用用于表示元件的诸如“模块”、“部件”或者“单元”的后缀仅
为了有利于本申请的说明，其本身没有特定的意义。因此，“模块”、“部件”或者“单元”可以混合地使用。
[0025]在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0026]以下将通过具体实施例对本申请所示的技术方案进行详细说明。需要说明的是，以下实施例的描述顺序不作为对实施例优先顺序的限定。
[0027]一种用于晶圆运转的锁止装置，请参考图1和图2，锁止装置应用于晶圆运转推车，本实施例的晶圆运转推车包括推车架101和设于推车架101上的行走轮102，其中锁止装置固定在推车架101上并与行走轮102转接，具体的，锁止装置包括支撑主体1、设于支撑主体1上且与推车架101固定连接的承重管2和设于支撑主体本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆运转的锁止装置，应用于晶圆运转推车，所述晶圆运转推车包括推车架和设于所述推车架上的行走轮，其特征在于：所述锁止装置包括支撑主体、设于所述支撑主体上且与所述推车架固定连接的承重管以及设于所述支撑主体上且位于所述承重管一侧的控制电机；所述支撑主体背离所述承重管的一侧转接所述行走轮，所述行走轮的一侧设有同步齿，所述承重管内套设有锁止杆，所述锁止杆穿设所述支撑主体且与所述支撑主体滑动连接，所述锁止杆面向所述同步齿的一端，以及所述锁止杆面向所述控制电机的一侧分别设有锁止齿和控制齿，所述控制电机的输出端设有与所述控制齿啮合的动力齿，用于控制所述锁止杆上/下运动，所述锁止齿与所述同步齿啮合或保持有一定距离；所述承重管内设有至少一个弹性件，所述弹性件分别与所述承重管和所述锁止杆抵接。2.如权利要求1所述的用于晶圆运转的锁止装置，其特征在于，所述控制电机的一侧设有输出端口，所述输出端口电性连接有设于所述推车架上的控制开关。3.如权利要求2所述的用于晶圆运转的锁止装置，其特征在于，所述控制开关包括电容式感应开关，所述电容式感应开关电性连接有供电电池。4.如权利要求1所述的用于晶圆运转的...
【专利技术属性】
技术研发人员：李洪锐，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。