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本申请涉及半导体设备技术领域，公开了一种用于晶圆运转的锁止装置，包括支撑主体、设于支撑主体上且与推车架固定连接的承重管和设于支撑主体上且位于承重管一侧的控制电机；支撑主体背离承重管的一侧转接行走轮，行走轮的一侧设有同步齿，承重管内套设有锁止...
该专利属于粤芯半导体技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过粤芯半导体技术股份有限公司授权不得商用。

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