本发明专利技术涉及在制造工厂中搬送物品的移动机器人的工作方法、移动机器人、以及包括移动机器人的物品搬送系统。根据本发明专利技术的实施例，在制造工厂中搬送物品的移动机器人的工作方法包括：获得三维深度图像的步骤；从所述三维深度图像提取在所述制造工厂的底面相当于所述移动机器人行驶路径的关注区域的步骤；将从所述关注区域检测的客体投射到对应于所述底面的基准平面而生成投射的点云的步骤；生成在所述基准平面填满体素的虚拟的点云的步骤；比较所述虚拟的点云和所述投射的点云而检测存在于所述底面的孔的步骤；避开所述孔而行驶的步骤。步骤。步骤。
【技术实现步骤摘要】
移动机器人的工作方法、移动机器人以及物品搬送系统
[0001]本专利技术涉及移动机器人的工作方法、移动机器人以及物品搬送系统。
技术介绍
[0002]半导体或者显示器的制造工艺是在基板(晶圆或者玻璃)上通过数十以及数百个步骤的处理工艺制造最终产品的工艺，在每个工艺可以通过执行相应工艺的制造设备来执行。若在特定制造设备的工艺结束后，为了进行下一个工艺，物品(基板)可以搬送到下一个制造设备，在一定时段期间内可以保管在保管设备中。
[0003]如上所述，物品搬送系统指代为了制造工艺搬送或保管物品的系统，大体可以区分为搬送物品的搬送系统和存储物品的存储系统。
[0004]在物品搬送系统中，不仅是沿设置于棚顶的轨道行驶的OHT(overhead hoist transport)系统，导入了如自动驾驶车辆那样的沿底面行驶的同时搬送物品的移动机器人(Mobile Robot)。移动机器人在制造工厂的内部空间行驶的同时存在与各种障碍物冲撞的危险，因此介绍有使用相机、雷达(Radar)或者激光雷达(Lidar)而用于避开障碍物的多种技术。
[0005]但是，一般的障碍物检测技术集中在检测位于周边的障碍物客体的方法，半导体制造工厂的情况下由于存在底面形成有孔的情况，因此不仅是障碍物客体，需要用于检测并避开形成在底面的洞(孔)的方法。
技术实现思路
[0006]因此，本专利技术的实施例提供能够检测形成在制造工厂底面的孔的移动机器人的工作方法、移动机器人以及包括移动机器人的物品搬送系统。
[0007]本专利技术的解决课题不限于以上提及的，没有提及的其它解决课题可以通过下面的记载被本领域技术人员明确地理解。
[0008]根据本专利技术的实施例在制造工厂中搬送物品的移动机器人的工作方法包括：获得三维深度图像的步骤；从所述三维深度图像提取在所述制造工厂的地面中相当于所述移动机器人的行驶路径的关注区域的步骤；将从所述关注区域检测的客体投射到对应于所述地面的基准平面，从而生成投射的点云的步骤；生成在所述基准平面填满体素的虚拟的点云的步骤；对所述虚拟的点云和所述投射的点云进行比较而检测存在于所述地面的孔的步骤；以及避开所述孔而行驶的步骤。
[0009]根据本专利技术的实施例，可以是，提取所述关注区域的步骤包括：在所述三维深度图像中的以基准高度为中心的下方地面的感测范围内，将相当于所述移动机器人的行驶路径的区域设定为所述关注区域的步骤。
[0010]根据本专利技术的实施例，可以是，生成所述投射的点云的步骤包括：将所述三维深度图像的所述关注区域的体素投射到所述基准平面的步骤；以及对所述投射的体素适用体素过滤器，从而生成所述投射的点云的步骤。
[0011]根据本专利技术的实施例，可以是，所述体素过滤器减少位于所述基准平面的体素的数量。
[0012]根据本专利技术的实施例，可以是，当在所述基准平面中位于单位区域的体素的数量大于或等于临界值时，所述体素过滤器将位于所述单位区域的体素变换成一个体素，当在所述基准平面中位于单位区域的体素的数量小于临界值时，所述体素过滤器删除位于所述单位区域的体素。
[0013]根据本专利技术的实施例，可以是，生成所述虚拟的点云的步骤包括：生成在所述基准平面的所述体素过滤器的单位区域填满体素的虚拟的点云的步骤。
[0014]根据本专利技术的实施例，可以是，检测存在于所述地面的孔的步骤包括：在所述虚拟的点云中去除与所述投射的点云重叠的体素，从而生成剩余点云的步骤；以及在所述基准平面中将存在所述剩余点云的体素的区域检测为孔区域的步骤。
[0015]根据本专利技术的实施例，可以是，避开所述孔而行驶的步骤包括：在所述基准平面中对存在所述剩余点云的体素的区域适用翻转，从而在所述三维深度图像中将所述孔区域的体素变换成障碍物客体的步骤；以及以避开所述障碍物客体向目标位置行驶的方式设定移动路径的步骤。
[0016]根据本专利技术的实施例的在制造工厂中搬送物品的移动机器人包括：机器人主体，在所述制造工厂的内部空间行驶；深度相机，设置于所述机器人主体；以及处理器，控制所述机器人主体的行驶，所述处理器从所述深度相机获得三维深度图像，从所述三维深度图像提取在所述制造工厂的地面中相当于所述移动机器人的行驶路径的关注区域，将从所述关注区域检测的客体投射到对应于所述地面的基准平面而生成投射的点云，生成在所述基准平面填满体素的虚拟的点云，对所述虚拟的点云和所述投射的点云进行比较而检测存在于所述地面的孔，以避开所述孔而行驶的方式控制所述机器人主体。
[0017]根据本专利技术的实施例，可以是，所述处理器在所述三维深度图像中的基准高度的下方地面的感测范围内，将相当于所述移动机器人的行驶路径的区域设定为关注区域。
[0018]根据本专利技术的实施例，可以是，所述处理器将所述三维深度图像的所述关注区域的体素投射到所述基准平面，并对所述投射的体素适用体素过滤器，从而生成所述投射的点云。
[0019]根据本专利技术的实施例，可以是，所述体素过滤器减少位于所述基准平面的体素的数量。
[0020]根据本专利技术的实施例，可以是，当在所述基准平面中位于单位区域的体素的数量大于或等于临界值时，所述体素过滤器将位于所述单位区域的体素变换成一个体素，当在所述基准平面中位于单位区域的体素的数量小于临界值时，所述体素过滤器删除位于所述单位区域的体素。
[0021]根据本专利技术的实施例，可以是，所述处理器生成在所述基准平面的所述体素过滤器的单位区域填满体素的虚拟的点云。
[0022]根据本专利技术的实施例，可以是，所述处理器在所述虚拟的点云中去除与所述投射的点云重叠的体素，从而生成剩余点云，并在所述基准平面中将存在所述剩余点云的体素的区域检测为孔区域。
[0023]根据本专利技术的实施例，可以是，所述处理器在所述基准平面中对存在所述剩余点
云的体素的区域适用翻转，从而在所述三维深度图像中将所述孔区域的体素变换成障碍物客体，并以避开所述障碍物客体向目标位置行驶的方式设定移动路径。
[0024]根据本专利技术的实施例的在制造工厂中的物品搬送系统包括：系统控制器，传送用于在所述制造工厂中搬送物品的指令；以及移动机器人，按照所述指令搬送所述物品。所述移动机器人包括：机器人主体，在所述制造工厂的内部空间行驶；深度相机，设置于所述机器人主体而生成三维深度图像；处理器，控制所述机器人主体的行驶，并在所述三维深度图像的上部关注区域中检测位于所述移动机器人的行驶路径的障碍物，并且在所述三维深度图像的下部关注区域中检测位于所述制造工厂的地面的孔，所述处理器通过从所述下部关注区域中检测的客体投射到对应于所述地面的基准平面而生成投射的点云，生成在所述基准平面填满体素的虚拟的点云，对所述虚拟的点云和所述投射的点云进行比较而检测存在于所述地面的孔，以避开所述孔而行驶的方式控制所述机器人主体。
[0025]根据本专利技术的实施例，可以是，所述移动机器人将所述孔的位置信息传送到所述系统控制器，所述系统控制器存储所述孔的信息位置并向其它移动机器本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种移动机器人的工作方法，在制造工厂中搬送物品，其中，所述移动机器人的工作方法包括：获得三维深度图像的步骤；从所述三维深度图像提取在所述制造工厂的地面中相当于所述移动机器人的行驶路径的关注区域的步骤；将从所述关注区域检测的客体投射到对应于所述地面的基准平面，从而生成投射的点云的步骤；生成在所述基准平面填满体素的虚拟的点云的步骤；对所述虚拟的点云和所述投射的点云进行比较而检测存在于所述地面的孔的步骤；以及避开所述孔而行驶的步骤。2.根据权利要求1所述的移动机器人的工作方法，其中，提取所述关注区域的步骤包括：在所述三维深度图像中的以基准高度为中心的下方地面的感测范围内，将相当于所述移动机器人的行驶路径的区域设定为所述关注区域的步骤。3.根据权利要求1所述的移动机器人的工作方法，其中，生成所述投射的点云的步骤包括：将所述三维深度图像的所述关注区域的体素投射到所述基准平面的步骤；以及对所述投射的体素适用体素过滤器，从而生成所述投射的点云的步骤。4.根据权利要求3所述的移动机器人的工作方法，其中，所述体素过滤器减少位于所述基准平面的体素的数量。5.根据权利要求4所述的移动机器人的工作方法，其中，当在所述基准平面中位于单位区域的体素的数量大于或等于临界值时，所述体素过滤器将位于所述单位区域的体素变换成一个体素，当在所述基准平面中位于单位区域的体素的数量小于临界值时，所述体素过滤器删除位于所述单位区域的体素。6.根据权利要求5所述的移动机器人的工作方法，其中，生成所述虚拟的点云的步骤包括：生成在所述基准平面的所述体素过滤器的单位区域填满体素的虚拟的点云的步骤。7.根据权利要求6所述的移动机器人的工作方法，其中，检测存在于所述地面的孔的步骤包括：在所述虚拟的点云中去除与所述投射的点云重叠的体素，从而生成剩余点云的步骤；以及在所述基准平面中将存在所述剩余点云的体素的区域检测为孔区域的步骤。8.根据权利要求7所述的移动机器人的工作方法，其中，避开所述孔而行驶的步骤包括：在所述基准平面中对存在所述剩余点云的体素的区域适用翻转，从而在所述三维深度图像中将所述孔区域的体素变换成障碍物客体的步骤；以及以避开所述障碍物客体向目标位置行驶的方式设定移动路径的步骤。
9.一种移动机器人，在制造工厂中搬送物品，其中，所述移动机器人包括：机器人主体，在所述制造工厂的内部空间行驶；深度相机，设置于所述机器人主体；以及处理器，控制所述机器人主体的行驶，所述处理器从所述深度相机获得三维深度图像，从所述三维深度图像提取在所述制造工厂的地面中相当于所述移动机器人的行驶路径的关注区域，将从所述关注区域检测的客体投射到对应于所述地面的基准平面而生成投射的点云，生成在所述基准平面填满体素的虚拟的点云，对所述虚拟的点云和所述投射的点云进行比较而检测存在于所述地面的孔，以避开所述孔而行驶的方式控制所述机器人主体。10.根据权利要求9所述的移动机器人，其中，所述处理器在所述三维深度图像中的基准高度的下方地面的感测范围内，将相当于所述移动机器人的行驶路径的区域设定为关注区域。11.根据权利要求9所述的移动机器人，其中，所述处理器将所述三维深度图像的所述关注区域的体素投射...
【专利技术属性】
技术研发人员：河昇硕，崔仁诚，李承俊，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：
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