物品搬送装置制造方法及图纸

物品搬送装置可以包括：行驶部，其构成为沿着轨道部行驶；以及搭载部，其构成为具有悬挂在所述行驶部的下方的结构，并构成为搭载物品，所述轨道部由以下构成：第一直线轨道，其构成为沿着第一方向延伸，并构成为每隔第一间隔地并排配置多个；第二直线轨道，其构成为沿着与所述第一方向垂直的第二方向延伸，并构成为每隔第二间隔地并排配置多个；以及连接轨道，其构成为将彼此垂直地面对的所述第一直线轨道和所述第二直线轨道之间连接，以使得所述行驶部在彼此垂直地面对的所述第一直线轨道和所述第二直线轨道之间行驶。所述第二直线轨道之间行驶。所述第二直线轨道之间行驶。

【技术实现步骤摘要】
物品搬送装置


[0001]本专利技术的示例性的实施例涉及物品搬送装置。更具体地，本专利技术的示例性的实施例涉及用于在半导体元件、显示元件等的集成电路装置中搬送物品的物品搬送装置。
[0002]本申请是主张以下优先权的申请：在2021年12月21日向在韩民国特许厅申请的大韩民国专利申请第2021
‑
0183489号以及在2022年5月12日向在韩民国特许厅申请的大韩民国专利申请第2022
‑
0058129号。

技术介绍

[0003]在半导体装置或显示装置等集成电路装置的制造中，可能会频繁地进行对收纳多块基板的前开式晶圆盒(FOUP)等物品的搬送工序，但最近使用在集成电路装置的制造流水线的顶棚侧构成的OHT(overhead hoist transport，高架起重机运输)等物品搬送装置。
[0004]如所述OHT那样的物品搬送装置可以包括：轨道部，其由直线轨道以及曲线轨道构成；行驶部，其沿着所述轨道部行驶；以及搭载部，其具有悬挂在所述行驶部的下方的结构，并搭载物品。特别是，可以通过所述搭载部在顶棚和地板之间垂直地上升以及下降来实现物品的搬送。
[0005]在所述集成电路装置的制造装置中可以构成有作为搭载以及卸载物品的场所的多个端口(port)，并且在保管物品的储料器中可以构成有作为搭载以及卸载物品的场所的多个搁置架(shelf)。其中，所述OHT等物品搬送装置可以通过搭载部在所述端口以及所述搁置架之间上升以及下降来实现物品的搬送。
[0006]但是，在所述搭载部垂直地上升以及下降的位置与所述端口以及所述搁置架的位置彼此不一致的情况下，可能无法将所述物品准确地加载或卸载到所述端口以及所述搁置架，其结果，在所述物品搬送中有可能发生不良。
[0007]因此，不仅在对集成电路装置的制造流水线进行初始设置时，执行使所述搭载部垂直地上升以及下降的位置与所述端口以及所述搁置架的位置精确地一致的操作，而且还执行随时确认所述搭载部垂直地上升以及下降的位置与所述端口以及所述搁置架的位置并进行调整以使其一致的操作。
[0008]但是，上述使搭载部垂直地上升以及下降的位置与所述端口以及所述搁置架的位置一致的操作具有需要确保除工序执行以外的另外的时间的缺点。另外，在对用于所述集成电路装置的制造装置以及储料器进行更换时，不仅可能会改变现有的用于集成电路装置的制造装置以及储料器的尺寸，甚至还可能会改变所述端口以及所述搁置架的位置。在这种情况下，由于所述搭载部的行驶路径可能会偏离所述端口以及所述搁置架的正下方，因此可能会发生需要进行调整，以使得所述搭载部的行驶路径位于所述端口以及所述搁置架的正下方，或使得所述端口以及所述搁置架位于所述搭载部的行驶路径的下方的情况。

技术实现思路

[0009]专利技术所要解决的课题
[0010]本专利技术的课题为，提供即使省略使搭载部垂直地上升以及下降的位置与端口以及搁置架的位置精确地一致的操作，也能够使所述搭载部垂直地上升以及下降的位置与所述端口以及所述搁置架的位置一致的物品搬送装置。
[0011]课题的解决手段
[0012]为了达成上述的本专利技术的课题，根据示例性的实施例的物品搬送装置可以包括：行驶部，其构成为沿着轨道部行驶；以及搭载部，其构成为具有悬挂在所述行驶部的下方的结构，并构成为搭载物品。特别是，所述轨道部由以下构成：第一直线轨道，其构成为沿着第一方向延伸，并构成为多个每隔第一间隔地并排配置；第二直线轨道，其构成为沿着与所述第一方向垂直的第二方向延伸，并构成为每隔第二间隔地并排配置多个；以及连接轨道，构成为将彼此垂直地面对的所述第一直线轨道和所述第二直线轨道之间连接，以使得所述行驶部在彼此垂直地面对的所述第一直线轨道与所述第二直线轨道之间行驶。
[0013]在示例性的实施例中，当所述连接轨道构成为具有经过彼此垂直地面对的所述第一直线轨道上部和所述第二直线轨道上部的路径时，所述行驶部由沿着所述第一直线轨道以及沿着所述第二直线轨道行驶的行驶轮以及沿着所述连接轨道行驶的转向轮构成，所述转向轮构成为通过上升来与所述连接轨道连接，并且通过左侧以及右侧移动来沿着期望的方向的所述连接轨道行驶。
[0014]在示例性的实施例中，所述连接轨道由从彼此垂直地面对的所述第一直线轨道分支并延伸至所述第二直线轨道或从彼此垂直地面对的所述第二直线轨道分支并延伸至所述第一直线轨道、以及配置在从所述第一直线轨道分支的分支区域或从所述第二直线轨道分支的分支区域以使得所述行驶部从所述第一直线轨道向所述分支轨道进入或从所述第二直线轨道向所述分支轨道进入地的转向轨道构成时，所述行驶部可以由沿着所述第一直线轨道、所述第二直线轨道以及所述分支轨道行驶的行驶轮构成。
[0015]在示例性的实施例中，当所述转向轨道构成为配置在所述分支轨道上部时，所述转向轮可以构成为通过上升来与所述转向轨道连接，并且通过左侧以及右侧移动来沿着期望的方向的所述轨道行驶。
[0016]在示例性的实施例中，所述连接轨道可以构成为将彼此垂直相邻的所述第一直线轨道与所述第二直线轨道之间连接。
[0017]在示例性的实施例中，所述连接轨道可以构成为将成为彼此垂直地相邻的所述第一直线轨道之间的1/2长度的地点与成为所述第二直线轨道之间的1/2长度的地点之间连接。
[0018]在示例性的实施例中，所述搭载部构成为具有能够通过配置在所述行驶部下方的引导部移动地悬挂的结构。
[0019]在示例性的实施例中，所述引导部由构成为与所述行驶部连接并在所述搭载部侧具有引导槽的引导板、以及构成为与所述搭载部连接并沿着所述引导槽移动的引导杆构成。
[0020]在示例性的实施例中，可以是，所述引导槽构成为具有从所述引导板的中心向所述引导板的两侧端部侧延伸的结构，并且构成为具有至少两个从所述引导板的中心向所述引导板的两侧端部侧延伸的结构。
[0021]在示例性的实施例中，可以构成为所述第一间隔和所述第二间隔具有彼此相同的
间隔。
[0022]为了达成上述的本专利技术的课题，根据一些示例性的实施例的物品搬送装置可以包括：行驶部，其构成为沿着轨道部行驶；以及搭载部，其构成为具有悬挂在所述行驶部的下方的结构，并构成为搭载物品。特别是，所述轨道部由以下构成：第一直线轨道，其构成为沿着第一方向延伸，并构成为每隔第一间隔地并排配置多个；第二直线轨道，其构成为沿着与所述第一方向垂直的第二方向延伸，并构成为每隔第二间隔地并排配置多个；以及连接轨道，构成为能够以具有曲线路径的方式将彼此垂直地面对的所述第一直线轨道和所述第二直线轨道之间连接，以使得所述行驶部能够在彼此垂直地面对的所述第一直线轨道和所述第二直线轨道之间行驶。
[0023]在示例性的实施例中，当所述连接轨道构成为能够以具有曲线路径连接的方式将经过彼此垂直地面对的所述第一直线轨道的上部和所述第二直线轨道的上部连接时，所述行驶部由沿着所述第一直线轨道以及所述第二直线轨道行驶的行驶轮以及沿着所述连接轨道行驶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种物品搬送装置，其特征在于，包括：行驶部，其构成为沿着轨道部行驶；以及搭载部，其构成为具有悬挂在所述行驶部的下方的结构，并构成为搭载物品，所述轨道部由以下构成：第一直线轨道，其构成为沿着第一方向延伸，并构成为每隔第一间隔地并排配置多个；第二直线轨道，其构成为沿着与所述第一方向垂直的第二方向延伸，并构成为每隔第二间隔地并排配置多个；以及连接轨道，其构成为将彼此垂直地面对的所述第一直线轨道和所述第二直线轨道之间连接，以使得所述行驶部在彼此垂直地面对的所述第一直线轨道和所述第二直线轨道之间行驶。2.根据权利要求1所述的物品搬送装置，其特征在于，当所述连接轨道构成为具有经过彼此垂直地面对的所述第一直线轨道的上部和所述第二直线轨道的上部的路径时，所述行驶部由沿着所述第一直线轨道以及所述第二直线轨道行驶的行驶轮以及沿着所述连接轨道行驶的转向轮构成，所述转向轮构成为通过上升来与所述连接轨道连接，并且通过左侧以及右侧移动来沿着期望的方向的所述连接轨道行驶。3.根据权利要求1所述的物品搬送装置，其特征在于，当所述连接轨道由从彼此垂直地面对的所述第一直线轨道分支并延伸至所述第二直线轨道或从彼此垂直地面对的所述第二直线轨道分支并延伸至所述第一直线轨道的分支轨道、以及配置在从所述第一直线轨道分支的分支区域或从所述第二直线轨道分支的分支区域以使得所述行驶部从所述第一直线轨道向所述分支轨道进入或从所述第二直线轨道向所述分支轨道进入的转向轨道构成时，所述行驶部由沿着所述第一直线轨道、所述第二直线轨道以及所述分支轨道行驶的行驶轮以及沿着所述转向轨道行驶的转向轮构成。4.根据权利要求3所述的物品搬送装置，其特征在于，当所述转向轨道构成为被配置在所述分支轨道的上部时，所述转向轮构成为通过上升来与所述转向轨道连接，并且通过左侧以及右侧移动来沿着期望的方向的所述转向轨道行驶。5.根据权利要求1所述的物品搬送装置，其特征在于，所述连接轨道构成为将彼此垂直相邻的所述第一直线轨道与所述第二直线轨道之间连接。6.根据权利要求5所述的物品搬送装置，其特征在于，所述连接轨道构成为将彼此垂直相邻的所述第一直线轨道之间的1/2长度的地点与所述第二直线轨道之间的1/2长度的地点之间连接。7.根据权利要求1所述的物品搬送装置，其特征在于，所述搭载部构成为具有以能够通过配置在所述行驶部的下方的引导部来移动的方式悬挂的结构。8.根据权利要求7所述的物品搬送装置，其特征在于，所述引导部由构成为连接至所述行驶部并在所述搭载部侧具有引导槽的引导板、以及构成为与所述搭载部连接并沿着所述引导槽移动的引导杆构成。9.根据权利要求8所述的物品搬送装置，其特征在于，
所述引导槽构成为具有从所述引导板的中心向所述引导板的两侧端部侧延伸的结构，并且构成为具有至少两个从所述引导板的中心向所述引导板的两侧端部侧延伸的结构。10.根据权利要求1所述的物品搬送装置，其特征在于，所述第一间隔和所述第二间隔具有彼此相同的间隔。11.一种物品搬送装置，其特征在于，包括：行驶部，其构成为沿着轨道部行驶；以及搭载部，其构成为具有悬挂在所述行驶部的下方的结构，并构成为搭载物品，所述轨道部由以下构成：第一直线轨道，其构成为沿着第一方向延伸，并构成为每隔第一间隔地并排配置多个；第二直线轨道，其构成为沿着与所述第一方向垂直的第二方向延伸，并构成为每隔第二间隔地并排配置多个；以及连接轨道，其构成为以具有曲线路径的方式将彼此垂直地面对的所述第一直线轨道和所述第二直线轨道之间连接，以使得所述行驶部在彼此垂直地面对的所述第一直线轨道和所述第二直线轨道之间行驶。12.根据权利要求11所述的物品搬送装置，其特征在于，当所述连接轨道构成为以具有经过彼此垂直地面对的所述第一直线轨道的上部和所述第二直线轨道的上部的曲线路径的方式连接时，所述行驶部由沿着所述第一直线轨道以及所述第二直线轨道行驶的行驶轮以及沿着所述连接轨道行驶的转向轮构成，所述转向轮构成为通过上升来与所述连接轨道连接，并且通过左侧以及右侧移动来沿着期望的方向的所述连接轨道行驶。13.根据权利要求11所述的物品搬送装置，其特征在于，当所述连接轨道由从彼此垂直地面对的所述第一直线轨道分支并延伸至所述第二直线轨道或从...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴鲁宰，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：