一种晶圆进出料模组制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆进出料模组，包括储料装置、移料装置，储料装置配置为提供工件，或，对工件进行码垛；移料装置位于储料装置的一侧，配置为对工件进行移动。储料装置包括储料机构、叉盘机构，叉盘机构设于储料机构的一侧，储料机构设有存料架，存料架上设置有若干用于放置工件的插槽，叉盘机构的驱动端能够能够嵌入或远离插槽。本实用新型专利技术提供一种能够对晶元进行进料或出料处理的模组，本模组主要由储料装置、移料装置组成。储料装置能够提供工件，或者回收工件，移料装置能够对工件行移动处理。动处理。动处理。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆进出料模组


[0001]本技术涉及晶圆加工设备
，特别涉及一种晶圆进出料模组。

技术介绍

[0002]现有的晶圆加工逐步走向全自动化。但是，现有的晶圆进出料部分的设备还不够完善，一现有的进出料装置输送过程的步骤多，效率低；而且，由于晶圆本身较薄，容易造成晶圆表面刮花，甚至破裂。

技术实现思路

[0003]根据本技术的一个方面，提供了一种晶圆进出料模组，包括
[0004]储料装置，配置为提供工件，或，对工件进行码垛；
[0005]移料装置，位于储料装置的一侧，配置为对工件进行移动，
[0006]储料装置包括储料机构、叉盘机构，叉盘机构设于储料机构的一侧，储料机构设有存料架，存料架上设置有若干用于放置工件的插槽，叉盘机构的驱动端能够嵌入或远离插槽。
[0007]本技术提供一种能够对晶元进行进料或出料处理的模组，本模组主要由储料装置、移料装置组成。储料装置能够提供工件，或者回收工件，移料装置能够对工件行移动处理。
[0008]在一些实施方式中，存料架上设置有若干用于放置工件的插槽；叉盘机构包括第二驱动组件、叉盘组件，叉盘组件设于第二驱动组件的驱动端，通过第二驱动组件的驱动，叉盘组件能够嵌入或远离插槽。
[0009]由此，储料装置用作供料时：第二驱动组件驱动叉盘组件的工作端(即叉盘)插入存料架的插槽中；第二驱动组件反驱动，叉盘组件将工件插槽中取出，工件位于叉盘组件上，完成取料。
[0010]储料装置用作码垛时：工件位于叉盘组件上，第二驱动组件驱动叉盘组件的工作端(即叉盘)插入存料架的插槽中，放下工件；第二驱动组件反驱动，叉盘组件离开插槽，完成码垛。
[0011]在一些实施方式中，储料机构还包括第一驱动组件；存料架设于第一驱动组件的驱动端，第一驱动组件能够驱动存料架升降移动。
[0012]由此，第一驱动组件能够驱动存料架竖直运动，从而使得下一个插槽内工件进入叉盘机构的工作端。
[0013]在一些实施方式中，插槽竖向阵列分布，若干插槽均设置有插入工件的槽口。
[0014]由此，通过槽口取出工件；或，通过槽口插入工件。
[0015]在一些实施方式中，储料机构还包括升降板，存料架通过升降板设于第一驱动组件驱动端，存料架可拆卸地设于升降板上。
[0016]由此，通过拆卸存料架能够取出整体取出工件。
[0017]在一些实施方式中，存料架设有若干个，升降板亦设有若干个；若干存料架竖直分布。
[0018]由此，提高储料机构的容量。
[0019]在一些实施方式中，叉盘组件包括安装板、叉盘，叉盘设于安装板上，安装板设于第二驱动组件的驱动端。
[0020]由此，叉盘通过上述安装。
[0021]在一些实施方式中，叉盘组件还包括第一视觉组件，第一视觉组件设于安装板上，第一视觉组件聚焦于插槽。
[0022]由此，第一视觉组件全程开启，能够精确定位取件位置，避免工件破损。
[0023]在一些实施方式中，叉盘组件还包括负压组件，负压组件设于安装板上，叉盘的端面上设有负压孔，负压组件与负压孔连通。
[0024]由此，叉盘上负压组件启动从而对工件进行吸附，从而方便取件。
[0025]在一些实施方式中，移料装置包括第三驱动组件、第四驱动组件以及吸盘机构，第四驱动组件设于第三驱动组件的驱动端，吸盘机构设于第四驱动组件的驱动端；
[0026]第三驱动组件的驱动方向为水平方向，第四驱动组件的驱动方向为竖直方向。
[0027]由此，第三驱动组件负责横向输送，第四驱动组件负责竖直方向靠近与远离。
附图说明
[0028]图1为本专利技术一实施方式的全自动晶圆紫外激光开槽设备的的立体结构示意图。
[0029]图2为图1所示全自动晶圆紫外激光开槽设备的俯视结构示意图。
[0030]图3为图1所示全自动晶圆紫外激光开槽设备中供料装置的立体结构示意图。
[0031]图4为图1所示全自动晶圆紫外激光开槽设备中进料装置的立体结构示意图。
[0032]图5为图1所示全自动晶圆紫外激光开槽设备中加工部分装置的立体结构示意图。
[0033]图6为图1所示全自动晶圆紫外激光开槽设备中加工平台装置及检测装置的平面结构示意图。
[0034]图7为图6的A－A方向的剖面结构示意图。
[0035]图8为为图1所示全自动晶圆紫外激光开槽设备中出料部分装置的立体结构示意图。
[0036]图9为为图1所示全自动晶圆紫外激光开槽设备中工作过程的结构示意图。
[0037]图中标号：000、机台；100、供料装置；110、储料机构；111、第一驱动组件；112、存料架；1121、插槽；113、升降板；120、叉盘机构；121、第二驱动组件；122、叉盘组件；1221、安装板；1222、叉盘；1223、第一视觉组件；200、进料装置；210、第三驱动组件；220、第四驱动组件；230、吸盘机构；240、第二视觉组件；250、第一旋转驱动组件；300、作业平台装置；310、载盘组件；311、盘体；320、第五驱动组件；330、第一滑动板；340、第六驱动组件；350、第二滑动板；360、第二旋转驱动组件；301、避空部；400、激光装置；410、激光器；420、第一光路组件；430、伸缩光路组件；440、第二光路组件；450、二维振镜扫描装置；460、第七驱动组件；470、吸尘组件；471、吸尘罩；480、远心场镜；500、第一CCD装置；510、第一光源；520、第一相机；600、第二CCD装置；610、第二光源；620、第二相机；700、出料装置；800、码垛装置；900、抛废装置；910、废料盘；920、第八驱动组件；1000、毛刷清理装置；1010、第九驱动组件；1020、刷
杆。
具体实施方式
[0038]下面结合附图对本技术作进一步详细的说明。本晶圆进出料模组具有两种用途。当储料装置用作供料时称为供料装置100，当储料装置用作码垛时，称为码垛装置800。当移料装置用作进料时称为进料装置200，当移料装置用作出料时称为出料装置200。下面将储料装置、移料装置应用在晶圆加工设备中，对中储料装置、移料装置的具体结构进行详细说明。
[0039]图1－2示意性地显示了根据本技术的一种实施方式的全自动晶圆紫外激光开槽设备。
[0040]如图所示，该装置包括机台000、供料装置100、作业平台装置300、进料装置200、激光装置400、第一CCD装置500、第二CCD装置600、出料装置700、码垛装置800以及抛废装置900，供料装置100、作业平台装置300、进料装置200、激光装置400、第一CCD装置500、第二CCD装置600、出料装置700、码垛装置800以及抛废装置900均设于机台000上。
[0041]结合图1－2，为更好地对本实施例中的各个部件进行说明，采用X、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆进出料模组，其特征在于，包括储料装置，配置为提供工件；或，对工件进行码垛；移料装置，位于储料装置的一侧，配置为对工件进行移动，所述储料装置包括储料机构(110)、叉盘机构(120)，所述叉盘机构(120)设于储料机构(110)的一侧，所述储料机构(110)设有存料架(112)，所述存料架(112)上设置有若干用于放置工件的插槽(1121)，所述叉盘机构(120)的驱动端能够嵌入或远离插槽(1121)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆进出料模组，其特征在于，所述存料架(112)上设置有若干用于放置工件的插槽(1121)；所述叉盘机构(120)包括第二驱动组件(121)、叉盘组件(122)，所述叉盘组件(122)设于第二驱动组件(121)的驱动端，通过所述第二驱动组件(121)的驱动，所述叉盘组件(122)能够嵌入或远离插槽(1121)。3.根据权利要求2所述的一种晶圆进出料模组，其特征在于，所述储料机构(110)还包括第一驱动组件(111)；所述存料架(112)设于第一驱动组件(111)的驱动端，所述第一驱动组件(111)能够驱动存料架(112)升降移动。4.根据权利要求3所述的一种晶圆进出料模组，其特征在于，所述插槽(1121)竖向阵列分布，若干所述插槽(1121)均设置有插入工件的槽口。5.根据权利要求3所述的一种晶圆进出料模组，其特征在于，所述储料机构(110)还包括升降板(113)，所述存料架(112)通过升降板(113)设...

【专利技术属性】
技术研发人员：张林，葛国鹏，金朝龙，
申请(专利权)人：苏州天弘激光股份有限公司，
类型：新型
国别省市：