本发明专利技术提供一种晶圆盒运输车轨道装置。该晶圆盒运输车轨道装置包括吊装机构和轨道机构。吊装机构包括型钢件、丝杆和调节螺母；型钢件的顶部开设有多个安装孔；丝杆的首端与型钢件可拆卸连接；调节螺母螺纹连接在丝杆的尾端。轨道机构包括弯轨组件、直轨组件和变轨分歧组件；多个直轨组件相邻设置，部分直轨组件侧部设置有连接端；弯轨组件设置在两个相邻的直轨组件的端部，连通相邻的直轨组件；变轨分歧组件设置在直轨组件的连接端上，用以与相邻直轨组件的连接端或端部相连。本发明专利技术采用整体式的轨道，不仅能够满足不同路线的布设需求，而且还保证了各结构间的精度，和分段拼接式轨道相比，强度大，调试安装便捷，运行稳定，维护简便。简便。简便。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆盒运输车轨道装置
[0001]本专利技术涉及轨道系统，具体为一种晶圆盒运输车轨道装置。
技术介绍
[0002]随着信息产业的迅猛发展，半导体的需求量快速增长。一个功能强大且性能稳定的自动化物料搬运系统AHMS应运而生，晶圆盒运输车在其中扮演着重要的运输连接功能，晶圆盒运输车运行需在无尘室天花板安装特定的轨道，以保证运输车可以平稳快速的运送晶圆盒。
[0003]现有轨道系统基本为分段拼接式轨道，在拼接过程中需要不断调试，直至调整至满足晶圆盒运输车顺畅移动的线性度，一边调整线性度一边将轨道安装在无尘室天花板上，增大了安装难度，且受水平线性的影响，组装部分存在不稳定因素，需要定期维护查看结构是否保持稳定，频繁的维护也增大了后期维护工作量。
技术实现思路
[0004]基于此，有必要针对现有分段拼接式轨道存在安装难度大、安装不稳定的问题，提供一种晶圆盒运输车轨道装置。
[0005]为实现上述目的，本专利技术采用了以下技术方案：
[0006]一种晶圆盒运输车轨道装置，包括吊装机构和轨道机构。
[0007]吊装机构包括型钢件、丝杆和调节螺母；型钢件的顶部开设有多个安装孔；丝杆的首端与型钢件可拆卸连接；调节螺母螺纹连接在丝杆的尾端。
[0008]轨道机构包括弯轨组件、直轨组件和变轨分歧组件；多个直轨组件相邻设置，部分直轨组件侧部设置有连接端；弯轨组件设置在两个相邻的直轨组件的端部，并连通相邻的直轨组件；变轨分歧组件设置在直轨组件的连接端上，用以与相邻直轨组件的连接端或端部相连；弯轨组件、直轨组件和变轨分歧组件均通过吊装机构安装连接。
[0009]进一步的，型钢件包括第一型钢、垫块和第二型钢；第一型钢的底面沿其长度方向开有开口；垫块位于第一型钢的开口顶部，垫块的宽度大于开口的宽度；第二型钢包覆在第一型钢的底面外侧；丝杆的首端从第二型钢处延伸至第一型钢内，且与第一型钢可拆卸连接。
[0010]进一步的，安装孔呈腰型。
[0011]进一步的，直轨组件包括直轨主体和方形调节器；直轨主体的两侧连接有方形调节器，丝杆的尾端穿过方形调节器顶面，丝杆的尾端通过调节螺母与方形调节器连接；连接端位于直轨主体的侧壁上。
[0012]进一步的，弯轨组件包括弯轨安装板和弯轨主体；弯轨安装板连接在弯轨主体的顶部，丝杆贯穿弯轨安装板且通过调节螺母与弯轨安装板连接；弯轨主体的底部呈无板开口状。
[0013]进一步的，弯轨主体由多个弧形支轨拼接而成。
[0014]进一步的，变轨分歧组件包括依次连接的第一支轨、第二支轨和第三支轨；第一支轨、第二支轨和第三支轨拼接成弯曲状；第一支轨的端部与直轨主体的连接端连接，第三支轨的端部与相邻的直轨主体的连接端或端部连接。
[0015]进一步的，轨道机构还包括励磁线组件；励磁线组件安装在弯轨组件、直轨组件和变轨分歧组件上，用于晶圆盒运输车无线供电使用。
[0016]进一步的，励磁线组件包括直励磁线安装板和弯曲励磁线安装板；直励磁线安装板安装在直轨主体的底部，弯曲励磁线安装板安装在弯轨主体和变轨分歧组件的底部。
[0017]进一步的，励磁线组件还包括线夹；线夹设置在直轨主体或弯轨主体的外壁。
[0018]与现有技术相比，本专利技术的有益效果包括：
[0019]1、本专利技术采用整体式的轨道，直轨部分为一个整体，仅弯曲部分拼接，不仅能够满足不同路线的布设需求，而且还保证了各结构间的精度，保证运输车平稳、快速的在轨道内移动；和分段拼接式轨道相比，强度大，调试安装便捷，运行稳定，维护简便；
[0020]2、本专利技术采用的吊装机构能够进行水平调节，满足不同安装面的安装需求，安装时对安装面无特殊要求；此外还集成了励磁线安装板，布线及调试简单便捷；
[0021]3、本专利技术在轨道机构上预留了多个螺母安装槽，不仅能够实现多样式、多组合的快速拼装固定；而且还能安装传感器等其它器件，提升了后续升级改造的空间。
附图说明
[0022]参照附图来说明本专利技术的公开内容。应当了解，附图仅仅用于说明目的，而并非意在对本专利技术的保护范围构成限制。其中：
[0023]图1为本专利技术介绍的一种晶圆盒运输车轨道装置的结构示意图；
[0024]图2为基于图1的吊装机构的结构示意图；
[0025]图3为基于图1的轨道机构的结构示意图；
[0026]图4为基于图1的弯轨组件的结构示意图；
[0027]图5为基于图1的一种晶圆盒运输车轨道装置的侧视图。
[0028]图中标注说明：1、吊装机构；11、型钢件；111、第一型钢；112、垫块；113、第二型钢；12、丝杆；13、调节螺母；2、轨道机构；21、弯轨组件；211、弯轨安装板；212、弯轨主体；22、直轨组件；221、直轨主体；222、方形调节器；23、变轨分歧组件；231、第一支轨；232、第二支轨；233、第三支轨；3、励磁线组件；31、直励磁线安装板；32、弯曲励磁线安装板；33、线夹。
具体实施方式
[0029]容易理解，根据本专利技术的技术方案，在不变更本专利技术实质精神下，本领域的一般技术人员可以提出可相互替换的多种结构方式以及实现方式。因此，以下具体实施方式以及附图仅是对本专利技术的技术方案的示例性说明，而不应当视为本专利技术的全部或者视为对本专利技术技术方案的限定或限制。
[0030]实施例1
[0031]请参阅图1，本实施例介绍了一种晶圆盒运输车轨道装置，其包括吊装机构1和轨道机构2。
[0032]轨道机构2的整体形状由晶圆生产线的布局确定。晶圆盒搬运运输车通过在轨道
机构2内移动到相应的加工位置实现晶圆的搬运，而整个轨道机构2均通过吊装机构1安装在无尘室天花板上，以实现运输车运行在无尘室天花板上，不占用无尘室下方的空间。
[0033]首先，对吊装机构1进行详细介绍。请参阅图2，吊装机构1主要包含型钢件11、丝杆12和调节螺母13。型钢件11既可以是整体式的，也可以是分段式的，根据轨道机构2的形状选择适配的型钢件11。型钢件11采用具有开口的第一型钢111和第二型钢113，第一型钢111和第二型钢113可以均采用C型钢，但二者的细节结构上存在区别。第一型钢111的开口处需向内侧延伸，以便支撑垫板，但第一型钢111的开口需大于丝杆12的直径，令丝杆12能够穿过第一型钢111的开口。第二型钢113的开口处无需向内延伸，第一型钢111和第二型钢113的开口相向设置并拼合，能够拼接成一个矩形框。第一型钢111和第二型钢113表面沿其高度方向均开有安装孔，方便第一型钢111与无尘室天花板吊装，也方便第二型钢113与丝杆12连接。由于第一型钢111的长度远大于第二型钢113，因此第一型钢111具有多个安装孔。
[0034]第二型钢113的长度小于第一型钢111的长度，第二型钢113的数量与丝杆12的数量一致。第二型钢113的内壁与第一型钢111开口处外壁卡合，一方面协助丝杆12的安装，另一方面减少连接本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒运输车轨道装置，其特征在于，其包括：吊装机构(1)，其包括型钢件(11)、丝杆(12)和调节螺母(13)；型钢件(11)的顶部开设有多个安装孔；丝杆(12)的首端与型钢件(11)可拆卸连接；调节螺母(13)螺纹连接在丝杆(12)的尾端；轨道机构(2)，其包括弯轨组件(21)、直轨组件(22)和变轨分歧组件(223)；多个直轨组件(22)相邻设置，部分直轨组件(22)侧部设置有连接端；弯轨组件(21)设置在两个相邻的直轨组件(22)的端部，并连通相邻的直轨组件(22)；变轨分歧组件(223)设置在直轨组件(22)的连接端上，用以与相邻直轨组件(22)的连接端或端部相连；弯轨组件(21)、直轨组件(22)和变轨分歧组件(223)均通过吊装机构(1)安装连接。2.根据权利要求1所述的晶圆盒运输车轨道装置，其特征在于，型钢件(11)包括第一型钢(111)、垫块(112)和第二型钢(113)；第一型钢(111)的底面沿其长度方向开有开口；垫块(112)位于第一型钢(111)的开口顶部，垫块(112)的宽度大于所述开口的宽度；第二型钢(113)包覆在第一型钢(111)的底面外侧；丝杆(12)的首端从第二型钢(113)处延伸至第一型钢(111)内，且与第一型钢(111)可拆卸连接。3.根据权利要求1所述的晶圆盒运输车轨道装置，其特征在于，所述安装孔呈腰型。4.根据权利要求1所述的晶圆盒运输车轨道装置，其特征在于，直轨组件(22)包括直轨主体(221)和方形调节器(222)；直轨主体(221)的两侧连接有方形调节器(222)；丝杆(12)的尾端穿过方形调节器(222)顶面，并通过所述调节螺母(13)与方形调节器(222)...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋国庆，
申请(专利权)人：江苏睿新库智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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