本发明提出了一种用于晶圆盒搬送的空中暂存站及包含其的系统，解决了高空晶圆盒运输作业中，装载口易堵塞，晶圆盒难调配暂存等问题，其方案包括托板、并行式的两滑轨以及两下滑轨，所述下滑轨架设在滑轨底部且其轨道向与滑轨垂直，所述下滑轨在对应滑轨的...

本发明提出了一种机械手传动手臂装置，解决了常规人工取放晶圆的方式费事费力，且容易损坏晶圆等问题，其方案包括：内部镂空的机座、置于机座内的第一驱动件以及第二驱动件、相互独立的第一基板以及第二基板，机座开口顶端一侧通过固爪板封口，所述固爪板...

本实用新型提供一种晶圆盒移栽装置。该装置包括托盘、旋转机构、底板、升降机构和水平移动机构。旋转机构包括第一驱动件和支架；支架与第一驱动件固接，第一驱动件的活动端与托盘连接。底板位于旋转机构的下方且滑动安装在晶圆盒存储设备上。升降机构包括...

本实用新型提供一种自走型可变向装置、晶圆盒搬运装置。该自走型可变向装置包括连接部件、驱动部件和变向部件。连接部件的尾端与一个晶圆盒运输车相连。驱动部件包括驱动件和行走轮。驱动件的底部与连接部件的首端相连，驱动件水平两侧的输出轴连接有行走...

本实用新型提供一种晶圆盒自动搬运流水线装置。该流水线装置包括框体、多个传动组件和多个旋转组件。框体包括内流线框架和外流线框架；内流线框架贴合连接在外流线框架内侧且二者的端部平齐。传动组件包括第一驱动件和第一输送皮带；驱动方向相反的第一驱...

本发明提供一种晶圆盒移栽装置。该装置包括托盘、旋转机构、底板、升降机构和水平移动机构。旋转机构包括第一驱动件和支架；支架与第一驱动件固接，第一驱动件的活动端与托盘连接。底板位于旋转机构的下方且滑动安装在晶圆盒存储设备上。升降机构包括第二...

本实用新型提供一种晶圆盒运输车轨道装置。该晶圆盒运输车轨道装置包括吊装机构和轨道机构。吊装机构包括型钢件、丝杆和调节螺母；型钢件的顶部开设有多个安装孔；丝杆的首端与型钢件可拆卸连接；调节螺母螺纹连接在丝杆的尾端。轨道机构包括弯轨组件、直...

本发明提供一种晶圆盒自动搬运流水线装置及控制方法。该流水线装置包括框体、多个传动组件和多个旋转组件。框体包括内流线框架和外流线框架；内流线框架贴合连接在外流线框架内侧且二者的端部平齐。传动组件包括第一驱动件和第一输送皮带；驱动方向相反的...

本发明提供一种自走型可变向装置、晶圆盒搬运装置及搬运方法。该自走型可变向装置包括连接部件、驱动部件和变向部件。连接部件的尾端与一个晶圆盒运输车相连。驱动部件包括驱动件和行走轮。驱动件的底部与连接部件的首端相连，驱动件水平两侧的输出轴连接...

本发明提供一种晶圆盒运输车轨道装置。该晶圆盒运输车轨道装置包括吊装机构和轨道机构。吊装机构包括型钢件、丝杆和调节螺母；型钢件的顶部开设有多个安装孔；丝杆的首端与型钢件可拆卸连接；调节螺母螺纹连接在丝杆的尾端。轨道机构包括弯轨组件、直轨组...

本实用新型公开了一种用于晶圆盒智能搬运设备的机械手，包括第一动力驱动装置、第二动力驱动装置、第一机械臂、第二机械臂以及第三机械臂，第三机械臂安装在第二机械臂内部，第一动力驱动装置与用于驱动第一机械臂转动的动力传输装置相连，第二动力驱动装...