【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆盒运输，尤其涉及一种用于晶圆盒搬送的空中暂存站及包含其的系统。
技术介绍
1、在半导体自动化工厂(简称晶圆厂，fab)中，通常会大规模采用amhs(automaticmaterial handling system，自动物料搬送系统)，以基于amhs快速准确地将装有wafer(晶圆)物料的carrier(载具，简称晶圆盒)搬送到目的地，提高fab的生产效率。
2、在amhs中，用于空中运输车行走的行走轨道通常是吊装悬挂在天花板下方，便于oht进行高空搬运作业，但在搬运作业中，目的地装载口会存在堵塞情况，而高空作业运输的方式明显对装载口堵塞搬送调配带来了困难，为此我们提出一种用于晶圆盒搬送的空中暂存站，以保证晶圆盒的短期存放，避免装载口运行堵塞。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是克服现有技术存在的缺陷，本专利技术提出了一种能够实现高中装载口晶圆盒移出调配暂存、避免装载口堵塞的用于晶圆盒搬送的空中暂存站及包含其的系统。
2、为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：一种用于晶圆盒搬送的空中暂存站，包括：托板、并行式的两滑轨以及两下滑轨，所述下滑轨架设在滑轨底部且其轨道向与滑轨垂直，所述下滑轨在对应滑轨的两侧顶部竖直固定有长度可调的连接杆，所述连接杆与所述滑轨底面滑动连接，两所述下滑轨底面沿其轨道向上分别滑动连接有竖板，两所述竖板远离滑轨的末端固定连接有水平式的底梁，所述底梁至少包括两个且并行设置，所述托板至少包括两个且底面固
3、进一步地，所述滑轨顶面等距均布有安装孔，其底面开设有滑槽，所述连接杆顶端滑动连接在所述滑槽内，所述滑轨通过安装孔与外部无尘车间屋顶连接固定。
4、进一步地，所述连接杆为螺杆螺母调节，调节量不小于50mm。
5、进一步地，所述竖板四角还设置有固定角块，所述固定角块分别用以衔接竖板顶部与下滑轨以及竖板底部与底梁。
6、进一步地，对应下滑轨的两所述固定角块外侧分别螺栓固定有拉块，对应底梁的两所述固定角块外侧分别螺栓固定有拉杆，两所述拉块外露固定角块设置且在外露部分螺栓固定所述竖板侧沿，两所述拉杆相对的外端还螺栓固定有与滑轨平行的防摔杆。
7、进一步地，所述拉杆以及所述防摔杆拼接成包围在托板外侧的一体式框型结构，且与所述托板平齐设置，所述反光板两两为一组且每组方光板对应一个晶圆盒，每一所述反光板背面通过板架与所述防摔杆固定连接。
8、进一步地，所述板架倾斜设置且倾斜角度与所述反光板对应，所述托板上置放晶圆盒时，晶圆盒能够阻挡所述反光板发射回路，所述板架依据倾斜角度包括多种，且每种所述板架与晶圆盒尺寸对应。
9、进一步地，所述定位销凸起高度不超过12mm，其顶端为光滑圆台状态，所述晶圆底面开设有与所述定位稍一一对应的卡槽，所述定位销顶端嵌入所述卡槽设置。
10、一种用于晶圆盒搬送的空中暂存系统，包括多个如上述所述的用于晶圆盒搬送的空中暂存站，多个所述空中暂存站相邻并列且对应外部晶圆盒目的地装载口设置。
11、与现有技术相比，本专利技术的有益效果包括：通过天车上预先设定好角度的回归反射传感器发射光线照射反光板时，依据光线能否通过反光板回归光线，让回归反射传感器接收回归光线，从而让天车知道当前位置是否存在晶圆盒，整体站体结构灵活多变，活动可调，可适用于多种尺寸规格晶圆盒的空中暂存作业。
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1.一种用于晶圆盒搬送的空中暂存站，其特征在于，包括：托板、并行式的两滑轨以及两下滑轨，所述下滑轨架设在滑轨底部且其轨道向与滑轨垂直，所述下滑轨在对应滑轨的两侧顶部竖直固定有长度可调的连接杆，所述连接杆与所述滑轨底面滑动连接，两所述下滑轨底面沿其轨道向上分别滑动连接有竖板，两所述竖板远离滑轨的末端固定连接有水平式的底梁，所述底梁至少包括两个且并行设置，所述托板至少包括两个且底面固定连接在所述底梁上，所述底梁并行的两外侧还固定有反光板，所述滑轨并行的两外侧还设置有与反光板对应的回归反射传感器，所述托板至少包括两个且每一托板顶面凸起有三点式的定位销。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒搬送的空中暂存站，其特征在于：所述滑轨顶面等距均布有安装孔，其底面开设有滑槽，所述连接杆顶端滑动连接在所述滑槽内，所述滑轨通过安装孔与外部无尘车间屋顶连接固定。
3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒搬送的空中暂存站，其特征在于：所述连接杆为螺杆螺母调节，调节量不小于50mm。
4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒搬送的空中暂存站，其特征在于：所述竖板四角还设置
5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆盒搬送的空中暂存站，其特征在于：对应下滑轨的两所述固定角块外侧分别螺栓固定有拉块，对应底梁的两所述固定角块外侧分别螺栓固定有拉杆，两所述拉块外露固定角块设置且在外露部分螺栓固定所述竖板侧沿，两所述拉杆相对的外端还螺栓固定有与滑轨平行的防摔杆。
6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆盒搬送的空中暂存站，其特征在于：所述拉杆以及所述防摔杆拼接成包围在托板外侧的一体式框型结构，且与所述托板平齐设置，所述反光板两两为一组且每组方光板对应一个晶圆盒，每一所述反光板背面通过板架与所述防摔杆固定连接。
7.根据权利要求6所述的一种用于晶圆盒搬送的空中暂存站，其特征在于：所述板架倾斜设置且倾斜角度与所述反光板对应，所述托板上置放晶圆盒时，晶圆盒能够阻挡所述反光板发射回路，所述板架依据倾斜角度包括多种，且每种所述板架与晶圆盒尺寸对应。
8.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒搬送的空中暂存站，其特征在于：所述定位销凸起高度不超过12mm，其顶端为光滑圆台状态，所述晶圆底面开设有与所述定位稍一一对应的卡槽，所述定位销顶端嵌入所述卡槽设置。
9.一种用于晶圆盒搬送的空中暂存系统，其特征在于，包括多个如权利要求1-8任一所述的用于晶圆盒搬送的空中暂存站，多个所述空中暂存站相邻并列且对应外部晶圆盒目的地装载口设置。
...【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆盒搬送的空中暂存站，其特征在于，包括：托板、并行式的两滑轨以及两下滑轨，所述下滑轨架设在滑轨底部且其轨道向与滑轨垂直，所述下滑轨在对应滑轨的两侧顶部竖直固定有长度可调的连接杆，所述连接杆与所述滑轨底面滑动连接，两所述下滑轨底面沿其轨道向上分别滑动连接有竖板，两所述竖板远离滑轨的末端固定连接有水平式的底梁，所述底梁至少包括两个且并行设置，所述托板至少包括两个且底面固定连接在所述底梁上，所述底梁并行的两外侧还固定有反光板，所述滑轨并行的两外侧还设置有与反光板对应的回归反射传感器，所述托板至少包括两个且每一托板顶面凸起有三点式的定位销。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒搬送的空中暂存站，其特征在于：所述滑轨顶面等距均布有安装孔，其底面开设有滑槽，所述连接杆顶端滑动连接在所述滑槽内，所述滑轨通过安装孔与外部无尘车间屋顶连接固定。
3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒搬送的空中暂存站，其特征在于：所述连接杆为螺杆螺母调节，调节量不小于50mm。
4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒搬送的空中暂存站，其特征在于：所述竖板四角还设置有固定角块，所述固定角块分别用以衔接竖板顶部与下滑轨以及竖板底部与底梁。
5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆盒搬送的空中暂存站...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄贵阳，
申请(专利权)人：江苏睿新库智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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