本发明专利技术提供一种晶圆盒自动搬运流水线装置及控制方法。该流水线装置包括框体、多个传动组件和多个旋转组件。框体包括内流线框架和外流线框架；内流线框架贴合连接在外流线框架内侧且二者的端部平齐。传动组件包括第一驱动件和第一输送皮带；驱动方向相反的第一驱动件分别安装在内流线框架和外流线框架上，第一输送皮带活动安装在内流线框架、外流线框架的两侧内壁且受驱动件驱动。旋转组件包括旋转电机和旋转平台；旋转电机安装在内流线框架、外流线框架的拐角处，旋转平台与旋转电机输出轴连接且与第一输送皮带等高设置。本发明专利技术在占用较少空间的基础上实现晶圆盒运输过程中方向的改变，从而适应各加工机床彼此间的布设，实现晶圆盒的快速搬运。晶圆盒的快速搬运。晶圆盒的快速搬运。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆盒自动搬运流水线装置及控制方法
[0001]本专利技术涉及晶圆盒输送装置，具体为一种晶圆盒自动搬运流水线装置及控制方法。
技术介绍
[0002]工件输送装置是自动线中最重要和最富有代表性的辅助设备，它将被加工工件从一个工位传送到下一工位，为保证自动线按生产节拍连续地工作提供条件，并从结构上把自动线的各台自动机床联系成为一个整体。工件输送装置的形式与自动线工艺设备的类型和布局、被加工工件的结构和尺寸特性以及自动线工艺过程的特性等因素有关，因而其结构形式也是多样的。
[0003]为满足集成电路的大量需求，大部分的半导体制造企业都以提高产能及合格率为优先目标。在半导体制造企业中，晶片通常是采用人工搬运方式，按照工序将晶圆盒搬运到各台加工机床，然而通过人力搬运不仅效率低，也容易发生危险、且搬运过程中存在芯片污染、芯片碰撞破碎等不确定因素。为解决人工搬运所带来的风险及不确定因素，可以采用自动输送线进行输送，但是由于各加工机床彼此之间的布局以及现有的输送线多为线性设置的问题，对接上仍需人力配合。即便输送线具有弯曲输送，占用的空间也较大。在加工空间有限的环境下，这种方式不易普及，因此还是多采用线性输送线，输送后通过人为进行加工机床间的对接，但人工对接仍存在芯片污染、芯片碰撞破碎等不确定因素。
技术实现思路
[0004]基于此，有必要针对现有自动输送线因空间占用问题仍需人工配合对接的问题，提供一种晶圆盒自动搬运流水线装置及控制方法。
[0005]为实现上述目的，本专利技术采用了以下技术方案：<br/>[0006]一种晶圆盒自动搬运流水线装置，包括框体、多个传动组件和多个旋转组件。
[0007]框体包括内流线框架和外流线框架；内流线框架贴合连接在外流线框架内侧且二者的端部平齐；
[0008]传动组件包括第一驱动件和第一输送皮带；驱动方向相反的第一驱动件分别安装在内流线框架和外流线框架上，第一输送皮带活动安装在内流线框架、外流线框架的两侧内壁且受驱动件驱动，所有第一输送皮带等高设置；
[0009]旋转组件包括旋转电机和旋转平台；旋转电机安装在内流线框架、外流线框架的拐角处，旋转平台与旋转电机的输出轴连接且与第一输送皮带等高设置。
[0010]进一步的，旋转平台包括转动支架、第二输送皮带和第二驱动件；转动支架底面中部与旋转电机的输出轴连接，两个第二输送皮带活动设置在转动支架的两侧内壁且呈对称分布，第二输送皮带与第一输送皮带位于同一平面上，第二驱动件安装在转动支架上且驱动第二输送皮带。
[0011]进一步的，内流线框架和外流线框架平齐的一端设置有升降组件，用于纵向搬运
晶圆盒。
[0012]进一步的，升降组件包括电缸、升降台、第三输送皮带和第三驱动件；电缸竖直安装在框体的其中一端部；升降台设置在电缸的活动端，两个第三输送皮带活动设置在升降台的顶部两侧内壁且呈对称分布，第三输送皮带的输送方向与第一输送皮带的输送方向一致；第三驱动件安装在升降台上且驱动第三输送皮带。
[0013]进一步的，内流线框架和外流线框架的顶部连接有用于吊装的悬挂组件。
[0014]进一步的，悬挂组件包括丝杆、第一型钢、第二型钢和螺母；丝杆的一端从第一型钢的顶端进入，另一端从第二型钢的底端进入，且丝杆的两端均通过螺母限位，第一型钢与内流线框架和外流线框架连接。
[0015]进一步的，第二型钢的顶端开有多个用于安装的腰型孔。
[0016]进一步的，第一驱动件、第二驱动件和第三驱动件的结构相同，均包括驱动电机、传动带轮、传动带和转轴；两个对称的第一输送皮带、第二输送皮带或第三输送皮带之间共接一个转轴，驱动电机的输出轴和转轴外表面均固设有传动带轮，传动带设置在传动带轮的外表面。
[0017]进一步的，内流线框架和外流线框架均设置用于安装线槽的凸起。
[0018]本专利技术还涉及一种晶圆盒自动搬运流水线的控制方法，其应用于如前述的晶圆盒自动搬运流水线装置，该晶圆盒自动搬运流水线的控制方法包括以下步骤：
[0019]实时采集传动组件的有效信号一ai、旋转组件的有效信号二bm、升降组件的有效信号三cn和压力信号dn；其中，i为传动组件编号，m为旋转组件编号，n为升降组件编号；
[0020]根据有效信号一ai、有效信号二bm或有效信号三cn和压力信号dn确定晶圆盒所在位置的组件，进而确定沿输送方向与晶圆盒所在组件的相邻组件，并进行如下决策：
[0021]a)若晶圆盒位于传动组件并相邻组件为传动组件，则同步启动两个传动组件的第一输送皮带；
[0022]b)若晶圆盒位于传动组件并相邻组件为旋转组件，则同步启动传动组件的第一输送皮带和旋转组件的第二输送皮带，直至晶圆盒完全位于旋转组件上，根据预设的转动角度启动旋转组件；
[0023]c)若晶圆盒位于传动组件并相邻组件为升降组件，则同步启动传动组件的第一和升降组件的第三输送皮带，直至晶圆盒完全位于升降组件上，根据预设的升降长度启动升降组件；
[0024]d)若晶圆盒位于旋转组件并相邻组件为传动组件，则根据旋转组件的第二输送皮带的角度确定是否与传动组件适配；是则同步启动旋转组件的第二输送皮带和传动组件的第一输送皮带；否则调节旋转组件的第二输送皮带角度直至与传动组件适配，再同步启动旋转组件的第二输送皮带和传动组件的第一输送皮带；
[0025]e)若晶圆盒位于升降组件并相邻组件为传动组件，则根据压力信号dn判断晶圆盒的高度是否与传动组件适配；是则同步启动升降组件的第三输送皮带和传动组件的第一输送皮带；否则控制升降组件直至晶圆盒的高度与传动组件适配，再同步启动升降组件的第三输送皮带和传动组件的第一输送皮带；
[0026]获取晶圆盒所在的当前组件预设的理想输送时间，判断晶圆盒在理想输送时间内是否离开该组件，并做出如下决策：
[0027]Ⅰ)在理想输送时间内未离开该组件，则判定晶圆盒当前所在的组件工作异常，并进行异常提醒；
[0028]Ⅱ)在理想输送时间内已离开该组件，则判定晶圆盒当前所在的组件工作正常。
[0029]与现有技术相比，本专利技术的有益效果包括：
[0030]1、本专利技术通过多个线性的传动组件以及角度调整的旋转组件能够在占用较少空间的基础上实现晶圆盒运输过程中方向的改变，从而适应各加工机床彼此间的布设；内外输送方向相反的两条线能够满足晶圆盒的往返移动，由于两条线的两端分别设置在不同的加工机床进出口上，无需人为搬运，实现晶圆盒的快速搬运；
[0031]2、本专利技术通过多个传动组件和旋转组件组成一个搬运流水线，和传统的整条输送带相比，能够满足流水线上的晶圆盒分隔输送，且在其中一个组件损坏时无需检查整条输送带，在检修过程中也无需将整条线上的晶圆盒取下，减少对晶圆盒搬运的可能；
[0032]3、本专利技术通过升降组件满足加工机床与搬运流水线的高度差，令吊装的搬运流水线和放置在地面上的加工机床能够实现对接，同时也能够适应进出口不位于同一高度的加工机床，进一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒自动搬运流水线装置，其特征在于，其包括：框体(1)，其包括内流线框架(11)和外流线框架(12)；内流线框架(11)贴合连接在外流线框架(12)内侧且二者的端部平齐；多个传动组件(2)，其包括第一驱动件(21)和第一输送皮带(22)；驱动方向相反的第一驱动件(21)分别安装在内流线框架(11)和外流线框架(12)上，第一输送皮带(22)活动安装在内流线框架(11)、外流线框架(12)的两侧内壁且受驱动件驱动，所有第一输送皮带(22)等高设置；多个旋转组件(3)，其包括旋转电机(31)和旋转平台(32)；旋转电机(31)安装在内流线框架(11)、外流线框架(12)的拐角处，旋转平台(32)与旋转电机(31)的输出轴连接且与第一输送皮带(22)等高设置。2.根据权利要求1所述的晶圆盒自动搬运流水线装置，其特征在于，旋转平台(32)包括转动支架(321)、第二输送皮带(322)和第二驱动件(323)；转动支架(321)底面中部与旋转电机(31)的输出轴连接，两个第二输送皮带(322)活动设置在转动支架(321)的两侧内壁且呈对称分布，第二输送皮带(322)与第一输送皮带(22)位于同一平面上，第二驱动件(323)安装在转动支架(321)上且驱动第二输送皮带(322)。3.根据权利要求2所述的晶圆盒自动搬运流水线装置，其特征在于，内流线框架(11)和外流线框架(12)平齐的一端设置有升降组件(4)，用于纵向搬运晶圆盒。4.根据权利要求3所述的晶圆盒自动搬运流水线装置，其特征在于，升降组件(4)包括电缸(41)、升降台(42)、第三输送皮带(43)和第三驱动件(44)；电缸(41)竖直安装在框体(1)的其中一端部；升降台(42)设置在电缸(41)的活动端，两个第三输送皮带(43)活动设置在升降台(42)的顶部两侧内壁且呈对称分布，第三输送皮带(43)的输送方向与第一输送皮带(22)的输送方向一致；第三驱动件(44)安装在升降台(42)上且驱动第三输送皮带(43)。5.根据权利要求1所述的晶圆盒自动搬运流水线装置，其特征在于，内流线框架(11)和外流线框架(12)的顶部连接有用于吊装的悬挂组件(5)。6.根据权利要求5所述的晶圆盒自动搬运流水线装置，其特征在于，悬挂组件(5)包括丝杆(51)、第一型钢(52)、第二型钢(53)和螺母(54)；丝杆(51)的一端从第一型钢(52)的顶端进入，另一端从第二型钢(53)的底端进入，且丝杆(51)的两端均通过螺母(54)限位，第一型钢(52)与内流线框架(11)和外流线框架(12)连接。7.根据权利要求6所述的晶圆盒自动搬运流水线装置，其特征在于，第二型钢(53)的顶端开有多个用于安装的腰型孔。8.根据权利要求4所述的晶圆盒自动搬运流水线装置，其特征在于，第一驱动件(21)、第二驱动件(323)和第三驱动件(44)的结构相同，均包括驱动电机(10)、传动带轮(20)、传动带(30)和转轴(40)...
【专利技术属性】
技术研发人员：熊猛，
申请(专利权)人：江苏睿新库智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。