本发明专利技术提供一种储片盒传输装置和储片盒固定组件，包括承载板、承载板传输组件和至少两个储片盒固定组件，承载板传输组件与承载板固定连接，用于驱动承载板沿传输方向移动；至少两个储片盒固定组件沿传输方向分布在承载板的两侧，且均与承载板固定连接，每个储片盒固定组件包括伸缩机构和压盒结构，伸缩机构固定设置在承载板的底面上，伸缩机构用于驱动压盒结构靠近或远离承载板，当压盒结构靠近承载板时，压盒结构的压盒接触面与储片盒的底板的上表面接触。在本发明专利技术中，储片盒固定组件能够将储片盒固定在承载板的承载面上，从而在承载板带动储片盒沿传输方向移动时防止储片盒在传输过程中发生晃动，保证晶片的位置精度，提高产品良率。高产品良率。高产品良率。
【技术实现步骤摘要】
储片盒传输装置和储片盒固定组件
[0001]本专利技术涉及半导体设备领域，具体地，涉及一种储片盒传输装置和储片盒固定组件。
技术介绍
[0002]在半导体工艺中，常通过储片盒(Foup盒)装载成批次的晶片进出半导体设备(如，氧化炉)，为便于在清洁环境下对储片盒中的晶片(Wafer)进行取、放操作，半导体设备的前端部通常设置有用于临时放置储片盒的小型仓储(MiniStocker)模块，该小型仓储模块能够自动对其内部放置的储片盒进行运输、定位操作、储片盒舱门的开启、关闭操作以及晶片取放等操作，与人工操作取放晶片相比，其晶片放置精度更高，且能够避免在操作过程中向工艺腔室引入额外的杂质。
[0003]然而，现有半导体设备中的小型仓储模块在储片盒运输过程中，由于储片盒发生晃动，会导致储片盒装载的晶片位置发生变化，进而由于晶片出现位置偏差，向工艺腔室中放置晶片时，废品率较高。因此，如何提供一种能够提高晶片位置的控制精度的储片盒传输装置，成为本领域亟待解决的技术问题。
技术实现思路
[0004]本专利技术旨在提供一种储片盒传输装置和储片盒固定组件，其能够提高晶片在储片盒中的位置精度。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供一种储片盒传输装置，包括承载板、承载板传输组件和至少两个储片盒固定组件，其中，
[0006]所述承载板包括用于承载所述储片盒的承载面；
[0007]所述承载板传输组件与所述承载板固定连接，用于驱动所述承载板沿传输方向移动；
[0008]至少两个所述储片盒固定组件沿所述传输方向分布在所述承载板的两侧，且均与所述承载板固定连接，所述储片盒固定组件包括伸缩机构和压盒结构，所述伸缩机构固定设置在所述承载板的底面上，所述伸缩机构用于驱动所述压盒结构靠近或远离所述承载板，当所述压盒结构靠近所述承载板时，所述压盒结构的压盒接触面与所述储片盒的底板的上表面接触。
[0009]可选的，所述伸缩机构包括伸缩驱动部和辅助固定调节板，所述伸缩驱动部用于驱动所述压盒结构移动，所述伸缩驱动部通过所述辅助固定调节板与所述承载板连接；所述辅助固定调节板在所述承载板上的位置可调。
[0010]可选的，所述储片盒固定组件包括多个第一定位螺钉，所述承载板上形成有多个沿厚度方向贯穿所述承载板的第一定位安装孔，所述辅助固定调节板上形成有多个沿同一直线排布的第一定位螺纹孔，所述第一定位安装孔的横截面为沿所述承载板边缘方向延伸的长条形，多个所述第一定位螺钉依次穿过所述第一定位安装孔和所述第一定位螺纹孔，
所述第一定位螺钉能够在所述第一定位安装孔中沿所述第一定位安装孔的延伸方向滑动，且所述第一定位螺钉拧紧在所述第一定位螺纹孔中时能够将所述承载板与所述辅助固定调节板固定连接。
[0011]可选的，所述储片盒固定组件包括多个第二定位螺钉，所述辅助固定调节板上形成有多个沿厚度方向贯穿所述辅助固定调节板的第二定位安装孔，所述伸缩驱动部具有多个沿同一直线排布的第二定位螺纹孔，所述第二定位安装孔的横截面为沿对应的压盒结构的运动方向延伸的长条形，多个所述第二定位螺钉依次穿过所述第二定位安装孔和所述第二定位螺纹孔，所述第二定位螺钉能够在所述第二定位安装孔中沿所述第二定位安装孔的延伸方向滑动，且所述第二定位螺钉拧紧在所述第二定位螺纹孔中时能够将所述伸缩驱动部与所述辅助固定调节板固定连接。
[0012]可选的，所述承载板的底部形成有调节板安装槽，所述辅助固定调节板匹配设置在所述调节板安装槽中。
[0013]可选的，所述压盒结构包括压盒弯板和压盒安装块，所述压盒弯板包括相互连接的竖直部和弯折部，所述伸缩机构与所述竖直部连接，所述压盒安装块设置在所述弯折部上，所述压盒安装块上设置有所述压盒接触面。
[0014]可选的，所述压盒弯板为L型不锈钢片。
[0015]可选的，所述压盒结构还包括沉头固定螺钉，所述压盒安装块上形成有沿高度方向贯穿所述压盒安装块的沉头孔，所述压盒弯板的弯折部上形成有固定螺纹孔，所述沉头固定螺钉依次穿过所述沉头孔和所述固定螺纹孔中以将所述压盒弯板与压盒安装块固定连接，且所述沉头固定螺钉的头部位于所述沉头孔中。
[0016]可选的，所述压盒安装块的材质包括聚四氟乙烯。
[0017]可选的，所述承载板传输组件包括连接块、支撑板、驱动电缸、滑块、滑轨、驱动电缸安装板、滑轨安装板和底架，其中，所述承载板通过所述连接块固定于所述支撑板上，所述支撑板安装在所述驱动电缸的上部以及所述滑块上，所述滑块能够沿所述滑轨安装板上安装的所述滑轨滑动，所述驱动电缸的下部安装在所述驱动电缸安装板上，所述驱动电缸安装板及所述滑轨安装板均固定在所述底架上；
[0018]所述驱动电缸的上部能够相对于所述驱动电缸的下部运动，且所述驱动电缸的上部带动所述支撑板、所述滑块、所述连接块和所述承载板一同沿所述传输方向移动。
[0019]可选的，所述储片盒固定组件的数量为两个，且两个所述储片盒固定组件固定设置于所述承载板在所述传输方向两侧的边缘的中间位置。
[0020]作为另一个技术方案，本专利技术还提供一种储片盒固定组件,包括伸缩机构和压盒结构，所述伸缩机构固定设置在用于承载储片盒的储片盒传输装置的承载板的底面上，所述伸缩机构用于驱动所述压盒结构靠近或远离所述承载板，当所述压盒结构靠近所述承载板时，所述压盒结构的压盒接触面与所述储片盒的底板的上表面接触。
[0021]可选的，所述伸缩机构包括伸缩驱动部和辅助固定调节板，所述伸缩驱动部用于驱动所述压盒结构移动，所述伸缩驱动部通过所述辅助固定调节板与所述承载板连接；所述辅助固定调节板在所述承载板上的位置可调。
[0022]可选的，所述储片盒固定组件包括多个第一定位螺钉，所述承载板上形成有多个沿厚度方向贯穿所述承载板的第一定位安装孔，所述辅助固定调节板上形成有多个沿同一
直线排布的第一定位螺纹孔，所述第一定位安装孔的横截面为沿所述承载板边缘方向延伸的长条形，多个所述第一定位螺钉依次穿过所述第一定位安装孔和所述第一定位螺纹孔，所述第一定位螺钉能够在所述第一定位安装孔中沿所述第一定位安装孔的延伸方向滑动，且所述第一定位螺钉拧紧在所述第一定位螺纹孔中时能够将所述承载板与所述辅助固定调节板固定连接。
[0023]可选的，所述储片盒固定组件包括多个第二定位螺钉，所述辅助固定调节板上形成有多个沿厚度方向贯穿所述辅助固定调节板的第二定位安装孔，所述伸缩驱动部具有多个沿同一直线排布的第二定位螺纹孔，所述第二定位安装孔的横截面为沿对应的压盒结构的运动方向延伸的长条形，多个所述第二定位螺钉依次穿过所述第二定位安装孔和所述第二定位螺纹孔，所述第二定位螺钉能够在所述第二定位安装孔中沿所述第二定位安装孔的延伸方向滑动，且所述第二定位螺钉拧紧在所述第二定位螺纹孔中时能够将所述伸缩驱动部与所述辅助固定调节板固定连接。
[0024]可选的，所述承载板的底部形成有调节板安装槽，所述辅助固定调节板匹配设置在所述调节板安装槽中。
[0025]本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种储片盒传输装置，其特征在于，包括承载板、承载板传输组件和至少两个储片盒固定组件，其中，所述承载板包括用于承载所述储片盒的承载面；所述承载板传输组件与所述承载板固定连接，用于驱动所述承载板沿传输方向移动；至少两个所述储片盒固定组件沿所述传输方向分布在所述承载板的两侧，且均与所述承载板固定连接，所述储片盒固定组件包括伸缩机构和压盒结构，所述伸缩机构固定设置在所述承载板的底面上，所述伸缩机构用于驱动所述压盒结构靠近或远离所述承载板，当所述压盒结构靠近所述承载板时，所述压盒结构的压盒接触面与所述储片盒的底板的上表面接触。2.根据权利要求1所述的储片盒传输装置，其特征在于，所述伸缩机构包括伸缩驱动部和辅助固定调节板，所述伸缩驱动部用于驱动所述压盒结构移动，所述伸缩驱动部通过所述辅助固定调节板与所述承载板连接；所述辅助固定调节板在所述承载板上的位置可调。3.根据权利要求2所述的储片盒传输装置，其特征在于，所述储片盒固定组件包括多个第一定位螺钉，所述承载板上形成有多个沿厚度方向贯穿所述承载板的第一定位安装孔，所述辅助固定调节板上形成有多个沿同一直线排布的第一定位螺纹孔，所述第一定位安装孔的横截面为沿所述承载板边缘方向延伸的长条形，多个所述第一定位螺钉依次穿过所述第一定位安装孔和所述第一定位螺纹孔，所述第一定位螺钉能够在所述第一定位安装孔中沿所述第一定位安装孔的延伸方向滑动，且所述第一定位螺钉拧紧在所述第一定位螺纹孔中时能够将所述承载板与所述辅助固定调节板固定连接。4.根据权利要求2或3所述的储片盒传输装置，其特征在于，所述储片盒固定组件包括多个第二定位螺钉，所述辅助固定调节板上形成有多个沿厚度方向贯穿所述辅助固定调节板的第二定位安装孔，所述伸缩驱动部具有多个沿同一直线排布的第二定位螺纹孔，所述第二定位安装孔的横截面为沿对应的压盒结构的运动方向延伸的长条形，多个所述第二定位螺钉依次穿过所述第二定位安装孔和所述第二定位螺纹孔，所述第二定位螺钉能够在所述第二定位安装孔中沿所述第二定位安装孔的延伸方向滑动，且所述第二定位螺钉拧紧在所述第二定位螺纹孔中时能够将所述伸缩驱动部与所述辅助固定调节板固定连接。5.根据权利要求4所述的储片盒传输装置，其特征在于，所述承载板的底部形成有调节板安装槽，所述辅助固定调节板匹配设置在所述调节板安装槽中。6.根据权利要求1所述的储片盒传输装置，其特征在于，所述压盒结构包括压盒弯板和压盒安装块，所述压盒弯板包括相互连接的竖直部和弯折部，所述伸缩机构与所述竖直部连接，所述压盒安装块设置在所述弯折部上，所述压盒安装块上设置有所述压盒接触面。7.根据权利要求6所述的储片盒传输装置，其特征在于，所述压盒弯板为L型不锈钢片。8.根据权利要求6所述的储片盒传输装置，其特征在于，所述压盒结构还包括沉头固定螺钉，所述压盒安装块上形成有沿高度方向贯穿所述压盒安装块的沉头孔，所述压盒弯板的弯折部上形成有固定螺纹孔，所述沉头固定螺钉依次穿过所述沉头孔和所述固定螺纹孔中以将所述压盒弯板与压盒安装块固定连接，且所述沉头固定螺...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘忠怀，
申请(专利权)人：北京七星华创集成电路装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。