本发明专利技术公开了一种光伏二极管用刻蚀装置，包括：转运导板、工台机构、刻蚀机构和垛料传送机构以及若干托料板，托料板的表面设有若干定位槽，转运导板的表面设有用于支撑工台机构的滑轨，刻蚀机构和垛料传送机构固定安装于转运导板的顶面，转运导板的表面设有用于驱动工台机构滑动运动的传送带组件。本发明专利技术中，通过设置新型自动上料结构，由垛料传送机构进行若干托料板的上料和堆垛操作，在传送带组件驱动下通过工台机构的转运将托料板进行加工料垛和完工料垛之间的转运以及刻蚀机构加工工位之间的传递从而配合刻蚀机构进行完整的光伏二极管用刻蚀工序，自动化程度高工作效率显著提升。升。升。
【技术实现步骤摘要】
一种光伏二极管用刻蚀装置
[0001]本专利技术涉及光伏二极管
，具体为一种光伏二极管用刻蚀装置。
技术介绍
[0002]光伏二极管用刻蚀装置通常由专业的制造厂商生产，其主要应用于太阳能电池的生产和研究领域。在太阳能电池的制造过程中，刻蚀是一个非常关键的步骤，它可以控制太阳能电池的结构和性能，从而影响其光电转换效率。因此，光伏二极管用刻蚀装置的精度、稳定性和可靠性非常重要，它们可以直接影响到太阳能电池的质量和性能。
[0003]近年来，随着太阳能电池技术的不断发展和完善，光伏二极管用刻蚀装置也在不断更新和改进。例如，一些新型的刻蚀装置采用更加智能化的控制系统，可以实现自动化生产和精准控制刻蚀深度和速率。同时，自动化上料结构需要具备稳定的结构和运行状态，以确保硅片或其他材料能够准确地被送入反应室进行刻蚀。同时，上料结构必须对待加工的材料进行可靠的固定和保护，以防止其在运输和加工过程中受到损坏，上料结构还需要具备高精度的加工能力，以确保硅片或其他材料能够准确地对准刻蚀区域。而现有的光伏二极管用刻蚀装置在硅片上料阶段仍采用传统的输送带或转盘进行硅片转运，转运运动中，运动结构直接与硅片表面接触易导致硅片表面刮伤划痕，且定位精度较低，影响刻蚀精度，硅片或其他材料在加工过程中发生意外或受到损坏，存在一定缺陷。
[0004]有鉴于此，针对现有的问题予以研究改良，提供一种光伏二极管用刻蚀装置，来解决目前存在的问题，旨在通过该技术，达到解决问题与提高实用价值性的目的。
技术实现思路
[0005]本专利技术旨在解决现有技术或相关技术中存在的技术问题。
[0006]为此，本专利技术所采用的技术方案为：一种光伏二极管用刻蚀装置，包括：转运导板、工台机构、刻蚀机构和垛料传送机构以及若干托料板，所述托料板的表面设有若干定位槽，所述转运导板的表面设有用于支撑工台机构的滑轨，所述刻蚀机构和垛料传送机构固定安装于转运导板的顶面，所述转运导板的表面设有用于驱动工台机构滑动运动的传送带组件；所述工台机构包括滑台座、工装托台和压夹组件，所述滑台座滑动安装于转运导板表面，所述工装托台的表面设有用于驱动工装托台升降运动的电动推杆，所述压夹组件用于将托料板夹持固定于工装托台表面；所述垛料传送机构包括固定于转运导板表面的第一垛台杆、第二垛台杆和分隔杆、撑台座和定位夹台，所述第一垛台杆和第二垛台杆呈对称布置于分隔杆的两侧，所述撑台座的数量为若干且分别布置于第一垛台杆和分隔杆以及第二垛台杆和分隔杆之间，所述撑台座的顶面固定安装有第一夹缸，且所述撑台座的内侧滑动套接有撑杆，所述第一夹缸的输出端与撑杆的一端相连接，所述定位夹台的顶面固定安装有第二夹缸，所述第二夹缸的输出端与夹块的一端固定连接。
[0007]本专利技术在一较佳示例中可以进一步配置为：所述传送带组件包括驱动电机和同步带，所述转运导板的表面设有支撑滚轮，且同步带套接于支撑滚轮的表面，所述同步带的表面设有与工台机构表面相连接的固定块，所述驱动电机为伺服电机结构。
[0008]本专利技术在一较佳示例中可以进一步配置为：所述刻蚀机构包括立杆座、伺服机械臂组和激光刻蚀器，所述伺服机械臂组为多轴伺服电机结构，所述激光刻蚀器固定安装于伺服机械臂组的执行末端，所述伺服机械臂组固定安装于立杆座的顶端。
[0009]本专利技术在一较佳示例中可以进一步配置为：所述激光刻蚀器为GaAs激光器或InGaAs激光器中的一种，所述激光刻蚀器的外侧套接有与定位槽形状相适配的遮光罩。
[0010]本专利技术在一较佳示例中可以进一步配置为：所述定位槽的内侧设有若干SMC液压硅胶吸盘，所述工装托台的表面设有若干气孔，且所述托料板的底面设有与气孔相对应布置的连通孔，所述连通孔与SMC液压硅胶吸盘的端部相连通。
[0011]本专利技术在一较佳示例中可以进一步配置为：所述工装托台与转运导板均呈水平方向布置，所述压夹组件固定安装于滑台座的两侧。
[0012]本专利技术在一较佳示例中可以进一步配置为：所述第一垛台杆和第二垛台杆与分隔杆之间间距相等且等于托料板的边长长度，所述第一垛台杆、第二垛台杆和分隔杆表面设有用于托料板导向的竖向导轨。
[0013]本专利技术在一较佳示例中可以进一步配置为：所述第二夹缸和夹块的数量为两组且对称布置于转运导板顶面的两侧，所述撑台座的数量为八个且均分为两组对称布置于转运导板顶面两端，每组所述撑台座均匀分布于第一垛台杆和分隔杆之间以及第二垛台杆和分隔杆之间。
[0014]本专利技术所取得的有益效果为：1.本专利技术中，通过设置新型自动上料结构，由垛料传送机构进行若干托料板的上料和堆垛操作，在传送带组件驱动下通过工台机构的转运将托料板进行加工料垛和完工料垛之间的转运以及刻蚀机构加工工位之间的传递从而配合刻蚀机构进行完整的光伏二极管用刻蚀工序，自动化程度高工作效率显著提升。
[0015]2.本专利技术中，通过设置新型托料盘结构，利用托料板进行硅片定位工装，将硅片布置于定位槽内部并进行自动化输送，由工台机构移动控制并转运单一托料板移动至刻蚀机构工位，进行硅片的自动化上料进行刻蚀操作，操作过程自动化程度高且对硅片防护效果好，避免硅片表面受损。
[0016]3.本专利技术中，通过设置定位槽结构，利用内部若干SMC液压硅胶吸盘结构当气压或液压通过吸盘内部的控制接口进入吸盘时，会导致吸盘内部的膜形变，从而与工件表面产生密封，并形成真空吸附效果，吸附定位效果好且操作简单，提高定位精准性进而提高刻蚀精度。
附图说明
[0017]图1为本专利技术一个实施例的整体结构示意图；图2为本专利技术一个实施例的垛料传送机构安装结构示意图；图3为本专利技术一个实施例的刻蚀机构结构示意图；图4为本专利技术一个实施例的工台机构和垛料传送机构安装结构示意图；
图5为本专利技术一个实施例的工台机构分解结构示意图；图6为本专利技术一个实施例的垛料传送机构结构示意图；图7为本专利技术一个实施例的撑台座表面结构示意图；图8为本专利技术一个实施例的定位夹台结构示意图。
[0018]附图标记：100、转运导板；110、传送带组件；200、工台机构；210、滑台座；220、工装托台；230、压夹组件；300、刻蚀机构；310、立杆座；320、伺服机械臂组；330、激光刻蚀器；400、垛料传送机构；410、第一垛台杆；420、第二垛台杆；430、分隔杆；440、撑台座；450、定位夹台；441、第一夹缸；442、撑杆；451、第二夹缸；452、夹块；500、托料板；510、定位槽。
具体实施方式
[0019]为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本专利技术进一步详细说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0020]下面结合附图描述本专利技术的一些实施例提供的一种光伏二极管用刻蚀装置。
[0021]结合图1
‑
8所示，本专利技术提供的一种光伏二极管用刻蚀装置，包括：转运导板100、工台机构200、刻蚀机构300和垛料传送机本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光伏二极管用刻蚀装置，其特征在于，包括：转运导板（100）、工台机构（200）、刻蚀机构（300）和垛料传送机构（400）以及若干托料板（500），所述托料板（500）的表面设有若干定位槽（510），所述转运导板（100）的表面设有用于支撑工台机构（200）的滑轨，所述刻蚀机构（300）和垛料传送机构（400）固定安装于转运导板（100）的顶面，所述转运导板（100）的表面设有用于驱动工台机构（200）滑动运动的传送带组件（110）；所述工台机构（200）包括滑台座（210）、工装托台（220）和压夹组件（230），所述滑台座（210）滑动安装于转运导板（100）表面，所述工装托台（220）的表面设有用于驱动工装托台（220）升降运动的电动推杆，所述压夹组件（230）用于将托料板（500）夹持固定于工装托台（220）表面；所述垛料传送机构（400）包括固定于转运导板（100）表面的第一垛台杆（410）、第二垛台杆（420）和分隔杆（430）、撑台座（440）和定位夹台（450），所述第一垛台杆（410）和第二垛台杆（420）呈对称布置于分隔杆（430）的两侧，所述撑台座（440）的数量为若干且分别布置于第一垛台杆（410）和分隔杆（430）以及第二垛台杆（420）和分隔杆（430）之间，所述撑台座（440）的顶面固定安装有第一夹缸（441），且所述撑台座（440）的内侧滑动套接有撑杆（442），所述第一夹缸（441）的输出端与撑杆（442）的一端相连接，所述定位夹台（450）的顶面固定安装有第二夹缸（451），所述第二夹缸（451）的输出端与夹块（452）的一端固定连接。2.根据权利要求1所述的一种光伏二极管用刻蚀装置，其特征在于，所述传送带组件（110）包括驱动电机和同步带，所述转运导板（100）的表面设有支撑滚轮，且同步带套接于支撑滚轮的表面，所述同步带的表面设有与工台机构（200）表面相连接的固定块，所述驱动电机...
【专利技术属性】
技术研发人员：顾健，顾剑辉，
申请(专利权)人：苏州双远电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。