本实用新型专利技术提供一种基板移载设备，包括主传送装置、传输装置、多个副传送装置和多个储存装置，主传送装置用于沿主传送方向将多个基板逐个传输至主传送装置对应的主出片工位，传输装置用于取下位于主出片工位的基板，并将基板传输至多个副传送装置对应的副进片工位，副传送装置用于将对应的副进片工位的基板沿副传送方向传输至对应的副出片工位，多个储存装置的位置与多个副出片工位的位置一一对应，储存装置用于取下并存储多个传输至对应的副出片工位的基板。本实用新型专利技术利用多个副传送装置及储存装置共同接收上游基板，提高了基板移载设备接收基板并存储的效率。本实用新型专利技术还提供一种半导体工艺机台。一种半导体工艺机台。一种半导体工艺机台。
【技术实现步骤摘要】
基板移载设备和半导体工艺机台
[0001]本技术涉及半导体
，具体地，涉及一种基板移载设备和一种包括该基板移载设备的半导体工艺机台。
技术介绍
[0002]随着技术的进步，半导体工艺设备的自动化效率越来越高，在显示屏生产工艺中，现有的自动化生产线流水作业的工作模式通常是由上游上料设备将玻璃基板放入基板移载设备，基板移载设备中的传送装置单向传输基板，并将多块基板逐个传输至储存装置，储存装置将玻璃基板升起并存储，待机械手将玻璃基板取走进入下一机台。
[0003]其中，上游上料设备的效率较高，而基板移载设备不能将玻璃基板高效地传送进入下一段工艺设备，需要降低上游上料设备的工作效率来适应整条生产线的节拍时间，自动化流水生产线效率较低。
[0004]因此，如何提供一种能够提高基板传输效率的基板移载设备，成为本领域亟待解决的技术问题。
技术实现思路
[0005]本技术旨在提供一种基板移载设备和一种包括该基板移载设备的半导体工艺机台，该基板移载设备能够提高基板传输效率。
[0006]为实现上述目的，作为本技术的一个方面，提供一种基板移载设备，包括主传送装置、传输装置、多个副传送装置和多个储存装置，所述主传送装置用于沿主传送方向将多个基板逐个传输至所述主传送装置对应的主出片工位，所述传输装置用于取下位于所述主出片工位的所述基板，并将所述基板传输至多个所述副传送装置对应的副进片工位，所述副传送装置用于将对应的所述副进片工位的基板沿副传送方向传输至对应的副出片工位，多个所述储存装置的位置与多个所述副出片工位的位置一一对应，所述储存装置用于取下并存储多个传输至对应的所述副出片工位的基板。
[0007]可选地，所述基板移载设备包括2个所述副传送装置和2个所述储存装置。
[0008]可选地，所述副传送装置包括副驱动组件和多个副传送组件，所述副传送组件用于沿所述副传送方向传输所述基板，多个所述副传送组件沿所述副传送方向间隔设置，所述副驱动组件用于驱动多个所述副传送组件工作，以驱动多个所述副传送组件上承载的所述基板沿所述副传送方向运动。
[0009]可选地，所述副传送组件包括副旋转轴和多个副传送滚轮，所述副旋转轴的轴线沿垂直于所述副传送方向水平延伸，所述副传送滚轮与所述副旋转轴同轴，且多个所述副传送滚轮沿所述副旋转轴的轴线方向间隔设置在所述副旋转轴上；所述副驱动组件用于驱动多个所述副旋转轴同向旋转。
[0010]可选地，所述副传送装置还包括副传送框架，所述副旋转轴的两端均活动设置在所述副传送框架上。
[0011]可选地，所述副驱动组件包括副驱动件和副驱动轴，所述副驱动轴沿所述副传送方向延伸，且所述副驱动轴上设置有多个第一副传动齿轮，所述副旋转轴上设置有第二副传动齿轮，多个所述第一副传动齿轮与多个所述副旋转轴上的所述第二副传动齿轮一一对应啮合，所述副驱动件用于驱动所述副驱动轴转动，以驱动多个所述副驱动轴带动对应的所述副传送滚轮同向旋转。
[0012]可选地，所述副驱动轴的一端与所述副驱动件连接，所述副驱动轴的另一端活动设置在所述副传送框架上。
[0013]可选地，所述副驱动件为旋转电机。
[0014]可选地，所述储存装置包括升降组件、储存支架和多组支撑杆，所述支撑杆固定设置在所述储存支架上且沿垂直于所述副传送方向水平延伸，每组所述支撑杆高度一致且沿所述副传送方向间隔分布，所述升降组件用于驱动所述储存支架带动所述支撑杆升降运动，且所述支撑杆能够在升降过程中穿过多个所述副传送组件之间的空隙。
[0015]可选地，所述储存支架包括底支架和多对侧支架，多对所述侧支架的底部与所述底支架固定连接，多对所述侧支架沿所述副传送方向间隔分布，且每对所述侧支架均分别位于多个所述副传送滚轮沿所述副旋转轴的轴线方向的两侧，每组所述支撑杆均包括固定在多对所述侧支架上的多对所述支撑杆，所述升降组件用于驱动所述底支架带动多对所述侧支架以及多对所述侧支架上固定的所述支撑杆升降运动。
[0016]可选地，所述储存装置包括4组所述支撑杆。
[0017]可选地，所述基板移载设备还包括与所述储存装置位置对应的对位装置；所述对位装置包括对夹组件和一对归正组件，两个所述归正组件位于所述储存装置沿所述副旋转轴的轴线方向的两侧，所述对夹组件用于驱动两个所述副驱动组件沿水平方向同步向对侧靠拢，以使两个所述副驱动组件由两侧推动对应的所述储存装置上承载的多个所述基板，使多个所述基板的边缘对齐。
[0018]可选地，所述对夹组件包括水平导轨、驱动模块和一对移动平台，两个所述移动平台活动设置在所述水平导轨上，两个所述移动平台一一对应地与两个所述归正组件固定连接，所述驱动模块用于驱动两个所述移动平台沿所述水平导轨运动并相互靠拢或相互远离，以驱动两个所述归正组件收拢或打开。
[0019]可选地，所述驱动模块为伺服电机。
[0020]可选地，所述传输装置包括运输组件和吸盘组件，所述运输组件包括第一水平模组、第二水平模组和升降模组，所述第一水平模组用于沿所述主传送方向驱动所述第二水平模组运动，所述第二水平模组用于沿垂直于所述主传送方向的水平方向驱动所述升降模组运动，所述升降模组用于驱动所述吸盘组件升降运动，所述吸盘组件用于在所述运输组件将所述吸盘组件驱动至所述主出片工位时吸附所述基板，以取下位于所述主出片工位的所述基板，以及在所述运输组件将所述吸盘组件驱动至所述副进片工位时放开所述基板，以将所述基板放置在所述副进片工位。
[0021]可选地，所述第一水平模组包括一对第一导轨和一对第一滑块，所述第二水平模组包括第二导轨和第二滑块，所述升降模组包括第三导轨和第三滑块，两个所述第一导轨均沿所述主传送方向延伸，且沿垂直于所述主传送方向的水平方向间隔设置，两个所述第一滑块一一对应地活动设置在两个所述第一导轨上；所述第二导轨的两端分别与两个所述
第一滑块固定连接；所述第三导轨与所述第二滑块固定连接；所述吸盘组件与所述第三滑块固定连接。
[0022]可选地，所述传输装置还包括吸盘安装支架，所述吸盘安装支架包括竖板、横板和连接条，所述竖板竖直设置，所述横板水平设置，所述竖板的底部与所述横板固定连接，所述连接条与所述竖板所在的平面以及所述横板所在的平面均相交，且所述连接条连接在所述竖板与所述横板之间；所述竖板与所述第三滑块固定连接，所述横板与所述吸盘组件固定连接。
[0023]可选地，所述主传送装置包括主驱动组件和多个主传送组件，所述主传送组件用于沿所述主传送方向传输所述基板，多个所述主传送组件沿所述主传送方向间隔设置，所述主驱动组件用于驱动多个所述主传送组件工作，以驱动多个所述主传送组件上承载的所述基板沿所述主传送方向运动。
[0024]可选地，所述主传送组件包括主旋转轴和多个主传送滚轮，所述主旋转轴的轴线沿垂直于所述主传送方向水平延伸，所述主传送滚轮与所述主旋转轴同轴，且多个所述主传送滚轮沿所述主旋转轴的轴线方向间隔设置在所述主旋转轴上；所述主驱动本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基板移载设备，其特征在于，包括主传送装置、传输装置、多个副传送装置和多个储存装置；所述主传送装置用于沿主传送方向将多个基板逐个传输至所述主传送装置对应的主出片工位；所述传输装置用于取下位于所述主出片工位的所述基板，并将所述基板传输至多个所述副传送装置对应的副进片工位；所述副传送装置用于将对应的所述副进片工位的基板沿副传送方向传输至对应的副出片工位；多个所述储存装置的位置与多个所述副出片工位的位置一一对应，所述储存装置用于取下并存储多个传输至对应的所述副出片工位的基板。2.根据权利要求1所述的基板移载设备，其特征在于，所述副传送装置包括副驱动组件和多个副传送组件，所述副传送组件用于沿所述副传送方向传输所述基板，多个所述副传送组件沿所述副传送方向间隔设置；所述副驱动组件用于驱动多个所述副传送组件工作，以驱动多个所述副传送组件上承载的所述基板沿所述副传送方向运动。3.根据权利要求2所述的基板移载设备，其特征在于，所述副传送组件包括副旋转轴和多个副传送滚轮，所述副旋转轴的轴线沿垂直于所述副传送方向水平延伸，所述副传送滚轮与所述副旋转轴同轴，且多个所述副传送滚轮沿所述副旋转轴的轴线方向间隔设置在所述副旋转轴上；所述副驱动组件用于驱动多个所述副旋转轴同向旋转。4.根据权利要求3所述的基板移载设备，其特征在于，所述储存装置包括升降组件、储存支架和多组支撑杆；所述支撑杆固定设置在所述储存支架上且沿垂直于所述副传送方向水平延伸，每组所述支撑杆高度一致且沿所述副传送方向间隔分布，所述升降组件用于驱动所述储存支架带动所述支撑杆升降运动，且所述支撑杆能够在升降过程中穿过多个所述副传送组件之间的空隙。5.根据权利要求4所述的基板移载设备，其特征在于，所述储存支架包括底支架和多对侧支架，多对所述侧支架的底部与所述底支架固定连接，多对所述侧支架沿所述副传送方向间隔分布，且每对所述侧支架均分别位于多个所述副传送滚轮沿所述副旋转轴的轴线方向的两侧，每组所述支撑杆均包括固定在多对所述侧支架上的多对所述支撑杆，所述升降组件用于驱动所述底支架带动多对所述侧支架以及多对所述侧支架上固定的所述支撑杆升降运动。6.根据权利要求4所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：李明悦，蔡勇，
申请(专利权)人：北京七星华创集成电路装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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