本发明专利技术提供一种自走型可变向装置、晶圆盒搬运装置及搬运方法。该自走型可变向装置包括连接部件、驱动部件和变向部件。连接部件的尾端与一个晶圆盒运输车相连。驱动部件包括驱动件和行走轮。驱动件的底部与连接部件的首端相连，驱动件水平两侧的输出轴连接有行走轮，行走轮与一个搬运轨道相接触。变向部件包括控制件和导向轮一。控制件设置在驱动件上，以驱动导向轮一线性往返移动。导向轮一与控制件活动连接且位于驱动件的上方，导向轮一的线性移动方向与行走轮的轴线方向相平行。本发明专利技术将取电模块、变向部件及驱动部件集为一体，简化结构的同时缩小了体积，动作流程简便，节省空间；满足运行需求的同时也保障了运行的精准度及稳定性。定性。定性。
【技术实现步骤摘要】
一种自走型可变向装置、晶圆盒搬运装置及搬运方法
[0001]本专利技术涉及半导体搬运加工设备
，具体为一种自走型可变向装置、基于自走型可变向装置的晶圆盒搬运装置以及用于晶圆盒搬运装置的搬运方法。
技术介绍
[0002]晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，在制造过程中利用晶圆盒来搬运和储存晶圆。对于晶圆盒的搬运，有的采用搬运机器人，该方式虽也实现自动化，但是对于生产规模大的厂家而言，该搬运方式效率低，影响生产效率。若是采用过多搬运机器人，易出现机器人运行轨道重叠，影响到正常搬运。因而为满足高产能的需求，自动化物料搬运系统AMHS应运而生。
[0003]该系统架设在工厂车间天花板的下方，生产设备的上方，可以使得晶圆的搬送过程不会影响到地面上人员的走动。AMHS系统由软硬件共同组成，对于硬件部分，主要有存储部分和搬运部分构成。存储部分通过机械手、存储架等组成。搬运部分通过空中运输车、空中轨道等构成。因此，运输车是实现系统搬运不可或缺的一部分。
[0004]空中运输车的支撑依赖于支撑转向架，现有的支撑转向架通过行走轮和导向轮在轨道上行走以及导向来引导运输车，对于运输车运行的驱动以及驱动电源，需依赖其它结构，这便造成该运输车结构繁多，且由于不同的机构位于运输车不同的位置，驱动过程动作流程大，也因结构繁多，运输车整体的体积也大，在过多结构的干扰下影响整个运输车的运行稳定性，也影响后续的维护维修操作。
技术实现思路
[0005]基于此，有必要针对现有运输车结构复杂导致的动作流程多、运行不稳定的问题，提供一种自走型可变向装置、基于自走型可变向装置的晶圆盒搬运装置以及用于晶圆盒搬运装置的搬运方法。
[0006]为实现上述目的，本专利技术采用了以下技术方案：
[0007]一种自走型可变向装置，其包括连接部件、驱动部件和变向部件。
[0008]连接部件的尾端与一个晶圆盒运输车相连。
[0009]驱动部件包括驱动件和行走轮。驱动件的底部与连接部件的首端相连，驱动件水平两侧的输出轴连接有行走轮，行走轮与一个搬运轨道相接触。
[0010]变向部件包括控制件和导向轮一。控制件设置在驱动件上，以驱动导向轮一线性往返移动。导向轮一与控制件活动连接且位于驱动件的上方，导向轮一的线性移动方向与行走轮的轴线方向相平行。
[0011]进一步的，控制件包括直线导轨、凸轮随动机构和位检测传感器。直线导轨的活动端与导向轮一的中轴通过轴承连接，直线导轨活动端的一侧部设置有凸起。凸轮随动机构设置在驱动件靠向凸起的一侧且与凸起相接触，以推动凸起线性往返移动。位检测传感器位于直线导轨靠向凸起的侧部两端，用以检测导向轮一的位置情况。
[0012]进一步的，控制件还包括限位块和缓冲块。直线导轨的两端设置有限位块。缓冲块安装在限位块的内侧。
[0013]进一步的，驱动件包括伺服电机、行星减速器和联轴器。伺服电机的输出轴与行星减速器相连，行星减速器水平两侧输出轴朝向行走轮，行走轮的中轴与行星减速器的输出轴通过联轴器相连。
[0014]进一步的，行星减速器的顶部连接有支撑板，直线导轨和位检测传感器分别安装在支撑板的顶壁和侧壁。
[0015]进一步的，行走轮中轴外周面设有稳固块，稳固块与行走轮中轴通过轴承连接，稳固块的顶端与支撑板连接。
[0016]进一步的，连接部件包括底部轴承、连接转轴、支架和取电模块。底部轴承设置在连接转轴的尾端外壁，连接转轴的首端与行星减速器相连。支架安装在连接转轴的外周面，支架侧壁且靠向其中一个行走轮处安装有取电模块。
[0017]进一步的，连接转轴的外周面连接有固定板，固定板的四角与导向轮二转动连接，导向轮二的轮外侧与搬运轨道的侧壁相接触。
[0018]本专利技术还涉及一种晶圆盒搬运装置，包括搬运轨道和运输部件。
[0019]运输部件包括运输车和自走型可变向机构。自走型可变向机构的底端与运输车活动连接。自走型可变向机构位于搬运轨道内且与搬运轨道相接触。其中，自走型可变向机构为前述自走型可变向装置。
[0020]本专利技术还涉及一种晶圆盒搬运装置的搬运方法，晶圆盒搬运装置为前述晶圆盒搬运装置，搬运方法包括以下步骤：
[0021]获取搬运轨道的地图信息，根据运输车的目标位置驱动伺服电机，进而使自走型可变向机构携运输车向目标位置前行。
[0022]实时获取运输车在搬运轨道上的位置，根据地图信息获取运输车前方预设距离的行车轨道，进而判断运输车前方是否需弯曲变向。
[0023]是则获取导向轮一的位置信号，根据位置信号确定导向轮一的位置，并在运输车驶入弯曲变向的行车轨道时驱动控制件，令导向轮一向指定位置线性移动，变更运输车前行方向。
[0024]否则维持导向轮一的位置状态，直至运输车前行至目标位置。
[0025]与现有技术相比，本专利技术的有益效果包括：
[0026]1、本专利技术设计的自走型可变向装置将取电模块、变向部件及驱动部件集为一体，简化结构的同时缩小了整体体积，动作流程简便，转弯半径小，节省空间；导向轮一和导向轮二能够实现导向功能的同时导向轮一的线性移动还可满足变向的需求，进而在满足运行需求的同时也保障了运行的精准度及稳定性，提高整条产线的生产效率及良品率；
[0027]2、本专利技术通过取电模块与相应的励磁线配合，实现非接触模式取电，保证不产生灰尘的同时，可以做到长期持续运行免维护保养，节约保养停机造成的时间浪费及人工成本；
[0028]2、本专利技术通过自走型可变向装置配合运输车进行圆晶的搬运输送，结构简单，便于安装维护及调试；此外，由于整个装置基本上采用标准件，无需额外定制非标件，维护成本小。
附图说明
[0029]参照附图来说明本专利技术的公开内容。应当了解，附图仅仅用于说明目的，而并非意在对本专利技术的保护范围构成限制。其中：
[0030]图1为本专利技术介绍的一种自走型可变向装置的结构示意图；
[0031]图2为基于图1的沿行走轮径向方向视角的自走型可变向装置的结构示意图；
[0032]图3为基于图1的自走型可变向装置立体示意图；
[0033]图4为基于图1的自走型可变向装置与搬运轨道的连接示意图；
[0034]图5为基于图1的沿行走轮轴向视角的自走型可变向装置的机构示意图；
[0035]图6为基于图1的自走型可变向装置的俯视图。
[0036]图中标注说明：1、连接部件；11、底部轴承；12、连接转轴；13、支架；14、取电模块；15、固定板；16、导向轮二；2、驱动部件；21、驱动件；211、伺服电机；212、行星减速器；213、联轴器；214、支撑板；215、稳固块；22、行走轮；3、变向部件；31、控制件；311、直线导轨；312、凸轮随动机构；313、位检测传感器；314、限位块；315、缓冲块；32、导向轮一。
具体实施方式
[0037]容易理解，根据本发本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种自走型可变向装置，其用于晶圆盒的搬运，其特征在于，其包括：连接部件(1)，其尾端与一个晶圆盒运输车相连；驱动部件(2)，其包括驱动件(21)和行走轮(22)；驱动件(21)的底部与连接部件(1)的首端相连，驱动件(21)水平两侧的输出轴连接有行走轮(22)，行走轮(22)与一个搬运轨道相接触；变向部件(3)，其包括控制件(31)和导向轮一(32)；控制件(31)设置在驱动件(21)上，以驱动导向轮一(32)线性往返移动；导向轮一(32)与控制件(31)活动连接且位于驱动件(21)的上方，导向轮一(32)的线性移动方向与行走轮(22)的轴线方向相平行。2.根据权利要求1所述的自走型可变向装置，其特征在于，控制件(31)包括直线导轨(311)、凸轮随动机构(312)和位检测传感器(313)；直线导轨(311)的活动端与导向轮一(32)的中轴通过轴承连接，直线导轨(311)活动端的一侧部设置有凸起；凸轮随动机构(312)设置在驱动件(21)靠向所述凸起的一侧且与所述凸起相接触，以推动所述凸起线性往返移动；位检测传感器(313)位于直线导轨(311)靠向所述凸起的侧部两端，用以检测导向轮一(32)的位置情况。3.根据权利要求2所述的自走型可变向装置，其特征在于，控制件(31)还包括限位块(314)和缓冲块(315)；直线导轨(311)的两端设置有限位块(314)；缓冲块(315)安装在限位块(314)的内侧。4.根据权利要求1所述的自走型可变向装置，其特征在于，驱动件(21)包括伺服电机(211)、行星减速器(212)和联轴器(213)；伺服电机(211)的输出轴与行星减速器(212)相连，行星减速器(212)水平两侧输出轴朝向所述行走轮(22)，行走轮(22)的中轴与所述行星减速器(212)的输出轴通过联轴器(213)相连。5.根据权利要求4所述的自走型可变向装置，其特征在于，所述行星减速器(212)的顶部连接有支撑板(214)，直线导轨(311)和位检测传感器(313)分别安装在支撑板(21...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋国庆，
申请(专利权)人：江苏睿新库智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。