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本发明提出了一种用于晶圆盒搬送的空中暂存站及包含其的系统，解决了高空晶圆盒运输作业中，装载口易堵塞，晶圆盒难调配暂存等问题，其方案包括托板、并行式的两滑轨以及两下滑轨，所述下滑轨架设在滑轨底部且其轨道向与滑轨垂直，所述下滑轨在对应滑轨的两侧...
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