MEMS麦克风及电子设备制造技术

本发明专利技术公开一种MEMS麦克风及电子设备，所述MEMS麦克风包括：衬底，所述衬底形成有背孔；背极板，所述背极板通过支撑件安装在所述衬底上；振膜，所述振膜安装在所述支撑件与所述衬底之间，且所述振膜对应所述背孔设置，所述振膜与所述背极板之间形成背腔，所述背极板开设有连通所述背腔的通孔；柔性导电薄膜，所述柔性导电薄膜铺设于所述振膜朝向所述背腔的一侧。该MEMS麦克风在振膜朝向背腔的一侧铺设柔性导电薄膜，柔性导电薄膜具有导电性，提高振膜的导电性。柔性导电薄膜增强了振膜的强度，并在振膜振动的过程中可随着振膜振动，提高了振膜的弯曲变形能力，实现振膜顺性的提高，延长其使用寿命，同时提高了MEMS麦克风的灵敏度，满足用户使用需求。满足用户使用需求。满足用户使用需求。

【技术实现步骤摘要】
MEMS麦克风及电子设备


[0001]本专利技术涉及麦克风
，特别涉及一种MEMS麦克风及电子设备。

技术介绍

[0002]近年来，智能手机、智能手表以及可穿戴产品等电子设备在人们日常生活中的应用越来越广泛，并且随着科技的发展，对电子设备的性能要求也在逐步提高。MEMS麦克风作为电子产品中的声学器件，其性能为衡量电子产品质量的一大重要因素。目前，一些MEMS麦克风中采用的振膜结构单一，导电性及顺性较差，导致MEMS麦克风的灵敏度差，不能满足用户的使用需求。

技术实现思路

[0003]本专利技术的主要目的是提供一种MEMS麦克风及电子设备，旨在解决现有MEMS麦克风中振膜的导电性及顺性较差的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供一种MEMS麦克风，所述MEMS麦克风包括：
[0005]衬底，所述衬底形成有背孔；
[0006]背极板，所述背极板通过支撑件安装在所述衬底上；
[0007]振膜，所述振膜安装在所述支撑件与所述衬底之间，且所述振膜对应所述背孔设置，所述振膜与所述背极板之间形本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风包括：衬底，所述衬底形成有背孔；背极板，所述背极板通过支撑件安装在所述衬底上；振膜，所述振膜安装在所述支撑件与所述衬底之间，且所述振膜对应所述背孔设置，所述振膜与所述背极板之间形成背腔，所述背极板开设有连通所述背腔的通孔；柔性导电薄膜，所述柔性导电薄膜铺设于所述振膜朝向所述背腔的一侧。2.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述柔性导电薄膜为沉积于所述振膜上的氮掺杂还原氧化石墨烯。3.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述柔性导电薄膜的厚度小于所述振膜的厚度；和/或，所述柔性导电薄膜的厚度为10nm～20nm。4.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述振膜开设有泄气孔，所述泄气孔贯穿所述柔性导电薄膜将所述背腔与所述背孔连通。5.如权利要求4所述的MEMS麦克风，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：曲承玲，
申请(专利权)人：荣成歌尔微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：