一种MEMS麦克风制造技术

本实用新型专利技术提供了一种MEMS麦克风，包括具有基底、设置于基底的一侧的支撑板、以及设置于支撑板的电容系统，电容系统包括固定于支撑板的背板、固定于背板靠近基底的一侧的固定件、以及固定于固定件远离背板的一侧的振膜，固定件位于振膜的中心区域，振膜与背板相对设置，MEMS麦克风还包括固定于支撑板远离基底的一侧的第一焊盘、以及固定连接于振膜的中心区域并与第一焊盘电连接的第一电极，第一电极仅与振膜的中心区域相连。本实用新型专利技术的振膜形成中间固定的悬臂梁结构，且第一电极仅与振膜的中心区域相连，使得第一电极不会对振膜的边缘区域的形变产生干扰，可以实现通过充分释放振膜残余应力的方式，提高麦克风的灵敏度。提高麦克风的灵敏度。提高麦克风的灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS麦克风


[0001]本技术属于麦克风
，尤其涉及一种MEMS麦克风。

技术介绍

[0002]电容式MEMS(Micro
‑
Electro
‑
Mechanical System微电机系统)麦克风芯片主要由电容部分和基底部分构成。芯片结构主要包括具有背腔的基底结构，以及位于基底上部的振膜与固定背板结构，振膜与固定背板组成了电容系统。当声压作用于振膜时，正对背板与背对背板的振膜两面存在压强差，使得振膜做靠近背板或远离背板的运动，从而引起振膜与背板间电容的变化，实现声音信号到电信号的转换。
[0003]麦克风中振膜的固定方式具有多种：以英飞凌为代表的全固定结构，以楼氏为代表的边缘一点固定的悬臂梁结构，以及以AAC为代表的部分固定结构，他们的振膜通过某一段伸出部分来作为引出电极，从而与Asic(Application Specific Integrated Circuit专用集成电路)接通。然而，在相关技术中，对于中间固定的悬臂梁结构的振膜，如果电极通过常规方式来引出，则失去了此结构原有设计中提出的通过充分释放振膜残余应力，提高灵敏度的目的。
[0004]因此，有必要提供一种新的电极引出方式。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种MEMS麦克风，能够解决相关技术中因电极的引出方式导致麦克风的灵敏度降低的问题。
[0006]本技术的技术方案如下：
[0007]一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底、设置于所述基底的一侧且具有收容腔的支撑板、以及设置于所述支撑板的电容系统，所述电容系统包括固定于所述支撑板的背板、固定于所述背板靠近所述基底的一侧的固定件、以及固定于所述固定件远离所述背板的一侧且收容于所述收容腔内的振膜，所述固定件位于所述振膜的中心区域，所述振膜与所述背板相对设置，所述MEMS麦克风还包括固定于所述支撑板远离所述基底的一侧的第一焊盘、以及固定连接于所述振膜的中心区域并与所述第一焊盘电连接的第一电极，所述第一电极仅与所述振膜的中心区域相连。
[0008]可选地，所述振膜开设自所述振膜的边缘延伸至所述振膜的中心区域的第一缺口，所述第一缺口设有与所述第一缺口的开口相对设置的底壁、以及分别连接于所述底壁的两端的两侧壁，所述第一电极的固定连接于所述底壁，且所述第一电极与所述侧壁之间具有间隙。
[0009]可选地，所述第一电极远离所述底壁的一端与所述振膜的边缘相齐平。
[0010]可选地，所述MEMS麦克风还包括贯穿通过所述背板且两端分别固定连接于所述第一电极和所述第一焊盘的导电件，所述导电件连接于所述第一电极远离所述底壁的一端，所述第一电极与所述第一焊盘通过所述导电件电连接。
[0011]可选地，所述MEMS麦克风还包括一端固定于所述基底且另一端抵接于所述第一电极的抵顶件，所述抵顶件位于所述第一缺口的两所述侧壁之间。
[0012]可选地，所述MEMS麦克风还包括嵌入固定于所述收容腔内的第一支撑环，所述第一支撑环的两侧分别抵接于所述振膜和所述基底，所述第一支撑环开设第二缺口，所述第一缺口沿所述振膜的厚度方向投射于所述第一支撑环上的投影与所述第二缺口相重合，所述抵顶件位于所述第二缺口内。
[0013]可选地，所述MEMS麦克风还包括嵌入固定于所述收容腔内的第二支撑环，所述第二支撑环位于所述振膜和所述背板之间，所述导电件贯穿通过所述第二支撑环。
[0014]可选地，所述第二支撑环的厚度与所述固定件的厚度相等。
[0015]可选地，所述背板远离所述基底的一侧突出于所述支撑板远离所述基底的一侧的表面，所述第一焊盘包括固定于所述支撑板的主体部、连接于所述主体部的弯折部、以及连接于所述弯折部远离所述主体部的一端的连接部，所述导电件贯穿通过并固定于所述连接部。
[0016]可选地，所述MEMS麦克风还包括固定于所述支撑板的第二焊盘、以及两端分别固定连接于所述背板和所述第二焊盘的第二电极，所述第一焊盘和所述第二焊盘间隔设置。
[0017]本技术的有益效果在于：固定件的两侧分别固定连接于背板和振膜，且固定件位于振膜的中心区域，使得振膜形成中间固定的悬臂梁结构，而由于第一电极仅与振膜的中心区域相连，使得第一电极不会对振膜的边缘区域的形变产生干扰，可以实现通过充分释放振膜残余应力的方式，提高麦克风的灵敏度。
【附图说明】
[0018]图1为本技术实施例MEMS麦克风的俯视图；
[0019]图2是图1中A
‑
A向的剖视图；
[0020]图3为本技术实施例MEMS麦克风中振膜、第一电极以及第一焊盘的装配示意图；
[0021]图4为本技术实施例MEMS麦克风的爆炸图。
【具体实施方式】
[0022]下面结合附图和实施方式对本技术作进一步说明。
[0023]请参阅图1至图4，本技术实施例提供了一种MEMS麦克风，包括具有背腔11的基底1、设置于基底1的一侧且具有收容腔21的支撑板2、以及设置于支撑板2的电容系统3，电容系统3包括固定于支撑板2的背板31、固定于背板31靠近基底1的一侧的固定件32、以及固定于固定件32远离背板31的一侧且收容于收容腔21内的振膜33，固定件32位于振膜33的中心区域，振膜33与背板31相对设置，MEMS麦克风还包括固定于支撑板2远离基底1的一侧的第一焊盘4、以及固定连接于振膜33的中心区域并与第一焊盘4电连接的第一电极5，第一电极5仅与振膜33的中心区域相连。
[0024]应当理解，第一电极5为对应于振膜33的引出电极，固定件32的两侧分别固定连接于背板31和振膜33，且固定件32位于振膜33的中心区域，使得振膜33形成中间固定的悬臂梁结构，而由于第一电极5仅与振膜33的中心区域相连，使得第一电极5不会对振膜33的边
缘区域的形变产生干扰，可以实现通过充分释放振膜33残余应力的方式，提高麦克风的灵敏度。
[0025]请参阅图2、图3以及图4，在一些实施例中，固定件32可以为固定板，固定件32的大小适中，既能保证振膜33与背板31之间具有足够的连接强度，也能使振膜33保持足够的振动形变强度；基底1和支撑板2均可以为矩形板，背腔11的纵截面面积小于收容腔21的纵截面面积，电容系统3收容于收容腔21内，即背板31、固定件32以及振膜33均位于收容腔21内；其中，收容腔21连通背腔11，背板31嵌入固定于收容腔21内，背板31的板面开设有若干个声孔，振膜33与背板31正对设置，振膜33、收容腔21的腔壁以及基底1共同围合形成第一振荡声腔，振膜33、收容腔21的腔壁以及背板31共同围合形成第二振荡声腔，当声压穿过背板31的声孔作用于振膜33时，第一振荡声腔和第二振荡声腔之间存在压强差，使得振膜33做靠近背板31或远离背板31的运动，从而引起振膜33与背板31间电容的变化，实现声音信号到电信号的转换。
[0026]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底、设置于所述基底的一侧且具有收容腔的支撑板、以及设置于所述支撑板的电容系统，所述电容系统包括固定于所述支撑板的背板、固定于所述背板靠近所述基底的一侧的固定件、以及固定于所述固定件远离所述背板的一侧且收容于所述收容腔内的振膜，所述固定件位于所述振膜的中心区域，所述振膜与所述背板相对设置，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括固定于所述支撑板远离所述基底的一侧的第一焊盘、以及固定连接于所述振膜的中心区域并与所述第一焊盘电连接的第一电极，所述第一电极仅与所述振膜的中心区域相连。2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述振膜开设自所述振膜的边缘延伸至所述振膜的中心区域的第一缺口，所述第一缺口设有与所述第一缺口的开口相对设置的底壁、以及分别连接于所述底壁的两端的两侧壁，所述第一电极的固定连接于所述底壁，且所述第一电极与所述侧壁之间具有间隙。3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一电极远离所述底壁的一端与所述振膜的边缘相齐平。4.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括贯穿通过所述背板且两端分别固定连接于所述第一电极和所述第一焊盘的导电件，所述导电件连接于所述第一电极远离所述底壁的一端，所述第一电极与所述第一焊盘通过所述导电件电连接。5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵转转，王琳琳，王凯杰，张睿，
申请(专利权)人：瑞声声学科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：