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本实用新型提供了一种MEMS麦克风，包括具有基底、设置于基底的一侧的支撑板、以及设置于支撑板的电容系统，电容系统包括固定于支撑板的背板、固定于背板靠近基底的一侧的固定件、以及固定于固定件远离背板的一侧的振膜，固定件位于振膜的中心区域，振膜与...
该专利属于瑞声声学科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声声学科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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