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本发明公开一种MEMS麦克风及电子设备，所述MEMS麦克风包括：衬底，所述衬底形成有背孔；背极板，所述背极板通过支撑件安装在所述衬底上；振膜，所述振膜安装在所述支撑件与所述衬底之间，且所述振膜对应所述背孔设置，所述振膜与所述背极板之间形成背...
该专利属于荣成歌尔微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过荣成歌尔微电子有限公司授权不得商用。

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